[發明專利]蛙腿型移載裝置

無效

• 申請號: 201010108111.6
• 申請日: 2010-01-29
• 公開（公告）號: CN101804903A
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 田中博
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G49/07;B65G49/06;H01L21/677;G02F1/1333
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;舒艷君

技術領域

本發明涉及移載裝置，特別是涉及使工件在同一水平面內直線移動而進行移載的蛙腿型移載裝置。

背景技術

在制造半導體基板或液晶顯示板等的工廠，對成為其素材的平板狀素材(半導體晶片或玻璃板)在無塵室內實施各種處理。收容有平板狀素材的托盤通過搬送車在各處理裝置之間搬送。在搬送車上搭載有蛙腿型移載裝置。蛙腿型移載裝置具有由多關節的臂構成的SCALAR機械臂(Selective?Compliance?Assembly?Robot?Arm)，使托盤在同一水平面內直線移動。通過使用SCALAR機械臂，能夠減少在無塵室內產生顆粒。

另一方面，作為工件的平板狀素材，近年來越發大型化，重量也增加。因此，也要求移載裝置能夠與此對應。

因此，采用如下的蛙腿型移載裝置，其中包括使SCALAR機械臂的一對自由臂的移載臂共用化，使各自由臂鏡像同步驅動那樣的雙聯直結類型的自由臂。

但是，在雙聯直結類型的自由臂中，在各自的臂內組裝有進行同步旋轉驅動、差動連動機構，由于各自的一點點偏差，而產生移載臂橫擺的現象。

因此，為了解決這樣的問題，已知有利用同步機構將在固定于一對自由臂的前端側的連結軸相互之間連結的移載裝置(例如參照專利文獻1)。

【專利文獻1】日本特開2008-74550號公報

在專利文獻所記載的移載裝置中，利用同步機構能夠大幅度降低一對自由臂的橫擺。但是，由于在同步機構中使用齒輪，所以無法充分抑制顆粒的產生。

此外，優選為了防止橫擺而將左右臂的間隔設置得較大。但是，如果像專利文獻1所記載的SCALAR機械臂那樣在使用齒輪的同步裝置中擴大左右臂的間隔，則存在齒輪個數增加這樣的問題。

發明內容

本發明的課題是在使工件在同一水平面內直線移動而進行移載的蛙腿型移載裝置中，抑制橫擺，并且減少顆粒的產生。

本發明涉及的蛙腿型移載裝置，具備基臺、兩個臂、載置部和橫擺抑制機構。兩個臂的一端經由第一轉動機構安裝于基臺。載置部是經由第二轉動機構與兩個臂的另一端連結、用于載置物品的部件。橫擺抑制機構是用于連結兩個臂彼此而抑制橫擺的機構。橫擺抑制機構具有平臺、轉動部件和兩個桿部件。平臺在載置部的移動方向上被滑動自如地支承。轉動部件被轉動自如地支承于平臺。兩個桿部件具有被軸支承于第一轉動機構或第二轉動機構的轉動軸的第一端，和被軸支承于轉動部件的第二端。

在該移載裝置中，利用橫擺抑制機構能夠抑制兩個臂的橫擺。具體而言，如果向兩個臂的轉動軸作用在同一方向上轉動那樣的力，則兩個桿部件對轉動部件在使力對抗的方向上施加負載。因而，阻礙兩個臂的轉動軸轉動。另外，當為了使載置部移動而轉動轉動軸時，平臺在載置部的移載方向上移動而使轉動部件移動。由此，當轉動軸通常轉動時，不會出現大的負載作用于桿部件或轉動部件的情況。

在該移載裝置中，由于能夠不使用齒輪而在部件彼此的接觸部分應用通過軸承而進行的滾動接觸，所以能夠降低塵埃的產生。此外，通過改變桿部件的長度，也能夠容易地對應兩個臂的間隔的變更。

橫擺抑制機構也可以連結第二轉動機構的轉動軸彼此。

在該情況下，由于不連結第一轉動機構而連結第二轉動機構的轉動軸彼此，所以防止兩個臂的橫擺的效果明顯。這是因為越向兩個臂的前端側橫擺的影響越大。

平臺、轉動部件和兩個桿部件也可以配置在兩個臂之間一側。

在該情況下，移載裝置整體變得緊湊。

轉動部件和兩個桿部件也可以是以轉動部件的轉動中心為基準呈點對稱的形狀和配置。

在該情況下，能夠在轉動部件的兩側使用相同種類的部件。此外，在轉動部件的兩側作用于各部件的負載相同。

在上述兩個臂的最大伸長時，上述兩個桿部件也可以不排列在直線上。

在該情況下，在兩個臂最大伸長的狀態下，兩個桿部件也并不排列在直線上，因此，當兩個臂縮退時兩個桿部件圓滑地轉動轉動部件，并返回到原來的狀態。

移載裝置可以還具備移動限制機構，該移動限制機構用于將轉動部件的轉動中心配置在如下所述的直線上，即、把對兩個桿部件的第一端進行軸支承的部分彼此連結起來的直線上。

在該移載裝置中，通過兩個桿部件，使向轉動部件的移載方向的移動和第一轉動機構或第二轉動機構的轉動相聯動。而且，利用移動限制機構，將轉動部件的轉動中心配置在如下所述的直線上，即、把對兩個桿部件的第一端進行軸支承的部分彼此連結起來的直線上。由此，進一步提高利用橫擺抑制機構抑制兩個臂的橫擺的功能。