[發(fā)明專利]掩模檢查裝置和方法以及虛擬圖產(chǎn)生裝置和方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010107033.8
• 申請(qǐng)日: 2010-01-29
• 公開（公告）號(hào): CN101826475A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙贊衡;閔卿旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星移動(dòng)顯示器株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;H01L21/00;H01L51/56;G01N21/88;C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 羅正云;王琦

1.一種掩模檢查裝置，用于檢查以期望圖案進(jìn)行沉積中所用到的具有 多個(gè)開口的掩模，所述裝置包括：

檢測(cè)單元，檢測(cè)所述掩模的所述多個(gè)開口中的每一個(gè)的邊界線；

存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)與待被利用所述掩模執(zhí)行沉積的部件有關(guān)的信息；

設(shè)置單元，利用所存儲(chǔ)的與待被執(zhí)行沉積的部件有關(guān)的信息為所述多個(gè) 開口中的每一個(gè)設(shè)置第一邊界線、第二邊界線和安全區(qū)域，其中所述第一邊 界線形成相應(yīng)的開口的沉積區(qū)域的輪廓，所述第二邊界線包圍所述第一邊界 線，所述安全區(qū)域插入在所述第一邊界線與所述第二邊界線之間；以及

控制單元，確定被所述檢測(cè)單元檢測(cè)的所述掩模的所述多個(gè)開口中的每 一個(gè)的被檢測(cè)到的邊界線是否不接觸相應(yīng)的第一邊界線和相應(yīng)的第二邊界 線并且所述被檢測(cè)到的邊界線是否存在于相應(yīng)的安全區(qū)域中，

其中所述與待被執(zhí)行沉積的部件有關(guān)的信息包括與基板、所述基板上的 室和子像素以及所述子像素之間的間距有關(guān)的信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模檢查裝置，其中所述設(shè)置單元根據(jù)所述 與待被執(zhí)行沉積的部件有關(guān)的信息將所述第一邊界線、所述第二邊界線和所 述安全區(qū)域設(shè)置為虛擬圖。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模檢查裝置，其中所述檢測(cè)單元是電荷耦 合器件照相機(jī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模檢查裝置，進(jìn)一步包括輸出單元，用于 輸出與所述多個(gè)開口中的一些開口有關(guān)的信息，其中所述一些開口的被檢測(cè) 到的邊界線接觸相應(yīng)的第一邊界線和相應(yīng)的第二邊界線中的至少一個(gè)并且 不存在于相應(yīng)的安全區(qū)域中。

5.一種檢查掩模的方法，所述掩模具有多個(gè)開口并用于以期望圖案進(jìn) 行沉積，所述方法包括：

準(zhǔn)備以期望的圖案進(jìn)行沉積中所用到的具有多個(gè)開口的所述掩模，所述 多個(gè)開口以預(yù)定的圖案形成；

根據(jù)與待被執(zhí)行沉積的部件有關(guān)的信息為所述多個(gè)開口中的每一個(gè)設(shè) 置第一邊界線、第二邊界線和安全區(qū)域，其中所述第一邊界線形成相應(yīng)的開 口的沉積區(qū)域的輪廓，所述第二邊界線包圍所述第一邊界線，所述安全區(qū)域 在所述第一邊界線與所述第二邊界線之間；以及

確定所述掩模的所述多個(gè)開口中的每一個(gè)的被檢測(cè)到的邊界線是否不 接觸相應(yīng)的第一邊界線和相應(yīng)的第二邊界線并且所述被檢測(cè)到的邊界線是 否存在于相應(yīng)的安全區(qū)域中，

其中所述與待被執(zhí)行沉積的部件有關(guān)的信息包括與基板、在所述基板上 的室和子像素以及所述子像素之間的間距有關(guān)的信息。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查掩模的方法，其中在設(shè)置所述第一邊界 線、所述第二邊界線和所述安全區(qū)域的過(guò)程中，根據(jù)所述與待被執(zhí)行沉積的 部件有關(guān)的信息將所述第一邊界線、所述第二邊界線和所述安全區(qū)域存儲(chǔ)為 虛擬圖。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查掩模的方法，其中使用檢測(cè)單元來(lái)檢測(cè) 所述多個(gè)開口的被檢測(cè)到的邊界線。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查掩模的方法，其中所述檢測(cè)單元是電荷 耦合器件照相機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查掩模的方法，進(jìn)一步包括在執(zhí)行所述確 定之后，輸出與所述多個(gè)開口中被檢測(cè)到的邊界線不存在于相應(yīng)的安全區(qū)域 中的那些開口有關(guān)的信息。