[發明專利]涂布機所用托臺及控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法

無效

• 申請號: 201010106401.7
• 申請日: 2010-02-05
• 公開（公告）號: CN101804399A
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 徐大勛
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: B05C13/00
• 分類號: B05C13/00;B05C5/00;B05C11/00;G02F1/1341
• 代理公司: 北京市京大律師事務所 11321
• 代理人: 李光松;盛東生

1.一種涂布機所用托臺，包括：

板；

多個支承桿，設置在板上，在支承桿上安裝基板；以及

壓縮空氣供應單元，向基板的下表面供應壓縮空氣，以支承基板。

2.如權利要求1所述的涂布機所用托臺，其中，板內部具有空氣通道，板的上表面具有孔，各空氣通道連接到各孔，壓縮空氣供應單元通過空氣通道和孔將壓縮空氣供應到基板的下表面。

3.如權利要求1所述的涂布機所用托臺，其中，離子發生單元連接到板，以在板和基板之間產生離子。

4.一種用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，包括：移動托臺，同時沿托臺移動方向的相反方向移動具有噴嘴的涂布頭單元。

5.如權利要求4所述的用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，其中，在Y軸方向上分別沿相反方向移動托臺和具有噴嘴的涂布頭單元。

6.如權利要求4所述的用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，其中，在X軸方向上分別沿相反方向移動托臺和具有噴嘴的涂布頭單元。

7.一種用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，包括：

第一步驟：沿Y軸方向將其上安裝基板的托臺移動第一預定距離，同時沿托臺移動方向的相反方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第二預定距離；

第二步驟：沿X軸方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第三預定距離；

第三步驟：沿第一步驟中托臺移動方向的相反方向將托臺移動第四預定距離，同時沿托臺移動方向的相反方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第五預定距離；

第四步驟：沿X軸方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第六預定距離；以及

第五步驟：以重復的方式按預定數目的次數執行第一至第四步驟，而在最后一次執行第一至第三步驟。

8.如權利要求7所述的用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，其中，在第二步驟中，移動具有噴嘴的涂布頭單元，同時沿具有噴嘴的涂布頭單元移動方向的相反方向將托臺移動預定距離。

9.如權利要求7所述的用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，其中，在第四步驟中，移動具有噴嘴的涂布頭單元，同時沿具有噴嘴的涂布頭單元移動方向的相反方向將托臺移動預定距離。

10.如權利要求7所述的用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，其中，在第一步驟中，分別沿正(+)Y軸方向和負(-)Y軸方向移動托臺和具有噴嘴的涂布頭單元；在第三步驟中，分別沿負(-)Y軸方向和正(+)Y軸方向移動托臺和具有噴嘴的涂布頭單元。

11.一種用于控制涂布機中托臺和涂布頭單元的移動的方法，包括：

第一步驟：沿正(+)Y軸方向將其上安裝基板的托臺移動第一預定距離，同時沿負(-)Y軸方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第二預定距離；

第二步驟：沿正(+)X軸方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第三預定距離；以及

第三步驟：沿負(-)Y軸方向將托臺移動第四預定距離，同時沿正(+)Y軸方向將具有噴嘴的涂布頭單元移動第五預定距離。