[發(fā)明專(zhuān)利]顯著增強(qiáng)光探測(cè)器的紫外響應(yīng)的方法和紫外響應(yīng)顯著增強(qiáng)的探測(cè)器

無(wú)效

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• 申請(qǐng)日: 2010-02-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102141437A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫利群;田禾;杜晨光;章恩耀;丁志田
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué);北京普析通用儀器有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01J3/02
• 分類(lèi)號(hào): G01J3/02;G01J3/28
• 代理公司: 北京金恒聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11324
• 代理人: 李強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種使普通光探測(cè)器實(shí)現(xiàn)對(duì)原來(lái)無(wú)法探測(cè)到的紫外波段的成功精確探測(cè)的方法，和和紫外響應(yīng)顯著增強(qiáng)的探測(cè)器。

背景技術(shù)

目前使用的小型光譜儀器等光探測(cè)器，大量采用普通線陣探測(cè)器件，由于探測(cè)器檢測(cè)波長(zhǎng)范圍的限制，無(wú)法實(shí)現(xiàn)其對(duì)紫外波段的檢測(cè)，使得這些小型光譜儀使用范圍受到很大限制。而高端能夠檢測(cè)紫外線的探測(cè)器往往價(jià)格昂貴，使得光譜儀整機(jī)成本很高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種顯著增強(qiáng)探測(cè)器紫外響應(yīng)的方法，利用該方法可以使原有的普通線陣探測(cè)器件探測(cè)器實(shí)現(xiàn)探測(cè)紫外線的功能，使得原來(lái)無(wú)法檢測(cè)的紫外波段光線能夠被檢測(cè)到，大大提高相對(duì)廉價(jià)的光譜儀器的性能。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種顯著增強(qiáng)光探測(cè)器的紫外響應(yīng)的方法，所述光探測(cè)器包括光敏感元件和覆蓋所述光敏感元件的保護(hù)玻璃，其特征在于該方法包括：

將熒光物質(zhì)覆在所述光敏感元件的表面，形成熒光薄膜。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述方法進(jìn)一步包括：

在所述將熒光物質(zhì)覆在所述光敏感元件的表面的步驟之前，去除所述保護(hù)玻璃。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述方法進(jìn)一步包括：

在所述將熒光物質(zhì)覆在所述光敏感元件的表面的步驟之后，把熒光石英片安裝在所述述光敏感元件的上方。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述熒光物質(zhì)是從以下物質(zhì)中選出的至少一種：

暈苯(Coronene)，以及

路馬近(lumogen)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述所述熒光物質(zhì)是通過(guò)從以下手段中選出的至少一種手段覆在所述光敏感元件的表面上的：

勻膠，以及

真空鍍膜。

根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)方面，提供了一種具有顯著增強(qiáng)的紫外響應(yīng)的光探測(cè)器，所述光探測(cè)器包括光敏感元件，其特征在于所述光探測(cè)器進(jìn)一步包括：

覆在所述光敏感元件的表面上的熒光物質(zhì)薄膜。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述光探測(cè)器進(jìn)一步包括：

安裝在所述述光敏感元件的上方的熒光石英片。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述熒光物質(zhì)是從以下物質(zhì)中選出的至少一種：

暈苯(Coronene)，以及

路馬近(lumogen)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)進(jìn)一步的方面，上述熒光物質(zhì)是通過(guò)從以下手段中選出的至少一種手段覆在所述光敏感元件的表面上的：

勻膠，以及

真空鍍膜。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及效果：對(duì)原本幾乎完全探測(cè)不到的紫外線，通過(guò)本發(fā)明的方法，可以使得探測(cè)到的紫外信號(hào)增強(qiáng)為原來(lái)的10倍左右，實(shí)現(xiàn)了探測(cè)紫外線的目的。并且該方法操作并不復(fù)雜、加工探測(cè)器成本低廉，適合大批量規(guī)模生產(chǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1示意顯示了原來(lái)待加鍍熒光物質(zhì)的探測(cè)器；

圖2示意顯示了加鍍熒光物質(zhì)的過(guò)程；

圖3示意顯示了加鍍熒光物質(zhì)后的紫外探測(cè)器；

圖4為加鍍熒光物質(zhì)前汞燈照射下的探測(cè)光譜曲線(已由光譜儀分光)；

圖5為加鍍熒光物質(zhì)后汞燈照射下的探測(cè)光譜曲線(已由光譜儀分光)。

具體實(shí)施方式

如圖1和2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，首先從待加工的探測(cè)器的表面上取下玻璃罩1，，取下玻璃罩1的過(guò)程中需要注意保護(hù)探測(cè)器表面敏感元件表面2，然后將有機(jī)熒光粉(如暈苯Coronene或路馬近lumogen)等通過(guò)勻膠或真空鍍膜的方法，直接沉積至敏感元件表面2，形成熒光薄膜，再安裝石英片3至探測(cè)器表面，如圖3所示，制成完整的紫外探測(cè)器。當(dāng)紫外線照射至熒光薄膜表面時(shí)，熒光物質(zhì)會(huì)受激躍遷并在極短時(shí)間內(nèi)發(fā)出可見(jiàn)波長(zhǎng)的光波，并直接被敏感元件表面2接收，避免了傳統(tǒng)方法中由于熒光薄膜距離敏感元件表面2較遠(yuǎn)，隨著距離輻射明顯衰減的缺點(diǎn)，使得探測(cè)器能夠有效地檢測(cè)到光信號(hào)。這樣，普通廉價(jià)的探測(cè)器就能夠較低成本實(shí)現(xiàn)某些高端探測(cè)器才擁有的對(duì)紫外線的探測(cè)功能。

實(shí)施例：

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例，熒光鍍膜是真空鍍膜，使用北京北儀創(chuàng)新儀器廠生產(chǎn)的型號(hào)為DM450C鍍膜機(jī)來(lái)進(jìn)行；所使用的CCD(電荷耦合元件，Charge-coupled?Device)；是SONY公司生產(chǎn)的ILX554B?CCD。

熒光鍍膜實(shí)驗(yàn)步驟如下：