[發(fā)明專利]顯著增強(qiáng)光探測器的紫外響應(yīng)的方法和紫外響應(yīng)顯著增強(qiáng)的探測器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010104984.X
• 申請日: 2010-02-03
• 公開（公告）號: CN102141437A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫利群;田禾;杜晨光;章恩耀;丁志田
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);北京普析通用儀器有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02;G01J3/28
• 代理公司: 北京金恒聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11324
• 代理人: 李強(qiáng)

1.一種顯著增強(qiáng)光探測器的紫外響應(yīng)的方法，所述光探測器包括光敏感元件(2)和覆蓋所述光敏感元件(2)的保護(hù)玻璃(1)，其特征在于該方法包括：

將熒光物質(zhì)覆在所述光敏感元件的表面，形成熒光薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于進(jìn)一步包括：

在所述將熒光物質(zhì)覆在所述光敏感元件的表面的步驟之前，去除所述保護(hù)玻璃(1)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于進(jìn)一步包括：

在所述將熒光物質(zhì)覆在所述光敏感元件的表面的步驟之后，把熒光石英片(3)安裝在所述述光敏感元件的上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任何一項所述的方法，其特征在于：

所述熒光物質(zhì)是從以下物質(zhì)中選出的至少一種：

暈苯(Coronene)，以及

路馬近(lumogen)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任何一項所述的方法，其特征在于：

所述熒光物質(zhì)是通過從以下手段中選出的至少一種手段覆在所述光敏感元件的表面上的：

勻膠，以及

真空鍍膜。

6.一種具有顯著增強(qiáng)的紫外響應(yīng)的光探測器，所述光探測器包括光敏感元件(2)，其特征在于所述光探測器進(jìn)一步包括：

覆在所述光敏感元件的表面上的熒光物質(zhì)薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光探測器，其特征在于進(jìn)一步包括：

安裝在所述述光敏感元件的上方的熒光石英片(3)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6-7中任何一項所述的光探測器，其特征在于：

所述熒光物質(zhì)是從以下物質(zhì)中選出的至少一種：

暈苯(Coronene)，以及

路馬近(lumogen)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6-7中任何一項所述的光探測器，其特征在于：

所述熒光物質(zhì)是通過從以下手段中選出的至少一種手段覆在所述光敏感元件的表面上的：

勻膠，以及

真空鍍膜。