[發明專利]一種集成電路襯底噪聲的分布式抵消方法及電路

無效

• 申請號: 201010104730.8
• 申請日: 2010-01-29
• 公開（公告）號: CN101794727A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 梁國;劉曉鵬;郭清
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: H01L21/74
• 分類號: H01L21/74;H01L21/82;H01L23/58
• 代理公司: 杭州天勤知識產權代理有限公司 33224
• 代理人: 胡紅娟

1.一種集成電路襯底噪聲的分布式抵消方法，所述的集成電路包括 集成在同一硅襯底上的數字電路和模擬電路，且所述的模擬電路周圍布置 有保護環，其特征在于，對所述的噪聲進行分布式抵消的步驟如下：

a)采集數字電路產生的噪聲信號；

采集數字電路產生的噪聲信號的步驟由噪聲探測帶來完成，上述噪聲 探測帶位于靠近數字電路耦合襯底噪聲源的一側，用于充分采集硅襯底上 數字電路產生的噪聲信號；

b)將噪聲信號輸入反相運算放大器進行反相放大，得到噪聲抵消信 號；

c)將噪聲抵消信號并行的注入到硅襯底上靠近模擬電路的至少三個 噪聲注入點，與噪聲信號反相疊加，抵消傳遞到保護環內的噪聲信號；

所述的噪聲注入點位于噪聲信號探測帶與模擬電路的保護環之間。

2.如權利要求1所述的分布式抵消方法，其特征在于，所述的噪聲 注入點通過重摻雜形成。

3.一種集成電路襯底噪聲的分布式抵消電路，其特征在于，包括

設置在硅襯底上的噪聲探測帶，位于靠近數字電路耦合襯底噪聲源的 一側，用于充分的采集硅襯底上的數字電路產生的噪聲信號；

設置在硅襯底上的至少三個噪聲注入點：

所述的噪聲注入點，位于噪聲探測帶與模擬電路的保護環之間；

所述的噪聲注入點通過金屬并接在一起；

反相運算放大器，其輸入端與噪聲探測帶連接，反相運算放大器的輸 出端與所述的噪聲注入點連接；

所述的集成電路包括集成在同一硅襯底上的數字電路和模擬電路，且 所述的模擬電路周圍布置有保護環。