[發明專利]感射線性樹脂組合物以及層間絕緣膜及其制造方法

有效

• 申請號: 201010104136.9
• 申請日: 2010-01-27
• 公開（公告）號: CN101788767A
• 公開（公告）日: 2010-07-28
• 發明（設計）人: 花村政曉;長屋勝也;丸山拓之
• 申請（專利權）人: JSR株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所 11216
• 代理人: 劉激揚

1.一種感射線性樹脂組合物，其特征在于含有：

(A)堿可溶性樹脂，該堿可溶性樹脂是含有(a1)選自不飽和羧酸 和不飽和羧酸酐構成的群組中的至少一種和(a2)具有環氧基的聚合 性不飽和化合物的單體的共聚物；

(B)1,2-醌二疊氮化合物；以及

(C)含有(c1)下述式(1⁰)表示的化合物、

(c2)下述通式(2⁰)表示的化合物和

(c3)具有下述通式(3)表示的基團的聚合性不飽和化合 物、

(c4)具有碳原子數為1~8的烷基的聚合性不飽和化合 物、

(c5)一分子中具有2個以上不飽和鍵的聚合性不飽和 化合物的聚合性不飽和化合物的共聚物，相對于100質量份堿可溶 性樹脂(A)，共聚物(C)的使用比率為0.01~3質量份，

式(1⁰)中，R¹為氫原子或甲基，α為0~6的整數，β為1~20的整數，

式(2⁰)中，R²為氫原子或甲基，R³為碳原子數為1~12的烷基，γ 為2或3，a為重復單元數，其平均數值為1~30，

式(3)中，R⁴、R⁵、R⁶、R⁷和R⁸各自獨立地為碳原子數為1~20的 烷基、苯基或下述通式(4)表示的基團，b為0~3的整數，

式(4)中，R⁹、R¹⁰和R¹¹各自獨立地為碳原子數為1~20的烷基或苯 基，c為0~3的整數。

2.權利要求1所述的感射線性樹脂組合物，其中上述化合物 (c1)為下述式(1)表示的化合物，上述化合物(c2)為下述通式(2)表示 的化合物，且(C)共聚物是由25~35質量%化合物(c1)、

20~30質量%化合物(c2)、15~20質量%化合物(c3)、25~35質 量%化合物(c4)和1~5質量%化合物(c5)組成的聚合性不飽和化合物 的共聚物，

CH₂=CR¹COO-CH₂CH₂C₈F₁₇???(1)

式(1)中，R¹與上述式(1⁰)中定義相同，

CH₂=CR²COO-(C₂H₄O)_aR³???(2)

式(2)中，R²和R³分別與上述式(2⁰)中的定義相同，重復單元數a 的平均數值為4~12。

3.一種層間絕緣膜，其特征在于由權利要求1或2所述的感 射線性樹脂組合物形成。

4.一種層間絕緣膜的形成方法，其特征在于按照以下順序包 括以下工序：

(1)將權利要求1或2所述的感射線性樹脂組合物涂敷在基板上 形成涂膜的工序，

(2)對該涂膜的至少一部分照射射線的工序，

(3)顯影工序，和

(4)加熱工序。

5.一種層間絕緣膜，其特征在于由權利要求4所述的方法形 成。