[發(fā)明專利]透明材料的厚度檢測方法和裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010104026.2
• 申請日: 2010-01-25
• 公開（公告）號: CN101762238A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發(fā)明（設計）人: 徐熙平;張寧;喬楊
• 申請（專利權）人: 長春理工大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種透明材料的厚度檢測裝置，其特征在于，包括光學測量系統(tǒng)、光學分析系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，其中

光學測量系統(tǒng)包括寬帶光源、輸入光纖、光纖耦合器、接收光纖以及包括至少一個透鏡的光學發(fā)射系統(tǒng)，所述寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W發(fā)射系統(tǒng)，被測透明材料反射的光經(jīng)光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)剿龉鈱W分析系統(tǒng)；

所述光學分析系統(tǒng)用于對接收到的被測透明材料的反射光進行分析以獲取反射峰對應的波長值；

所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于根據(jù)所述光學分析系統(tǒng)獲取的反射峰對應的波長值獲取被測透明材料的厚度。

2.根據(jù)權利要求1所述的透明材料的厚度檢測裝置，其特征在于，所述寬帶光源為白光光源。

3.根據(jù)權利要求1所述的透明材料的厚度檢測裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)具體用于根據(jù)建立的數(shù)學模型以及獲取的所述反射峰對應的波長值進行計算以獲取所述被測透明材料的厚度。

4.根據(jù)權利要求4所述的透明材料的厚度檢測裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)還用于在根據(jù)預先建立的數(shù)學模型以及獲取的所述反射峰對應的波長值進行計算時，對所述計算結果進行消誤差處理。

5.一種透明材料的厚度檢測方法，其特征在于，包括：

寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W發(fā)射系統(tǒng)后，并由所述光學發(fā)射系統(tǒng)輸出到被測量透明材料；

接收所述被測量透明材料的反射光，并由光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)焦鈱W分析系統(tǒng)；

光學分析系統(tǒng)對接收到的被測透明材料的反射光進行分析以獲取反射峰對應的波長值；

數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)所述光學分析系統(tǒng)獲取的反射峰對應的波長值獲取被測透明材料的厚度。

6.根據(jù)權利要求5所述的透明材料的厚度檢測方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)所述光學分析系統(tǒng)獲取的反射峰對應的波長值獲取被測透明材料的厚度包括：

所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)預先建立的數(shù)學模型以及獲取的所述反射峰對應的波長值進行計算以獲取所述被測透明材料的厚度。

7.根據(jù)權利要求5所述的透明材料的厚度檢測方法，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)預先建立的數(shù)學模型以及獲取的所述反射峰對應的波長值進行計算時，還包括：

所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對所述計算結果進行消誤差處理，以消除溫度漂移和零點漂移引起的誤差。