[發(fā)明專利]光模塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010103967.4
• 申請日: 2010-01-26
• 公開（公告）號: CN101786592A
• 公開（公告）日: 2010-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藁科禎久;鈴木智史
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會社
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種光模塊，其特征在于，

由具有支撐基板以及經(jīng)由絕緣層而被配置于所述支撐基板的一個 板面上的半導(dǎo)體層的基板制品制作而成，

所述光模塊具備：

可動鏡，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分，該部分與所述支撐基板 之間的所述絕緣層被除去，從而在沿著所述一個板面的規(guī)定方向上可 以移動，且鏡面被形成于與所述規(guī)定方向相交的側(cè)面上；

光半導(dǎo)體元件，其是被設(shè)置于所述支撐基板的所述一個板面上并 與所述可動鏡的所述鏡面光互連的受光元件或者發(fā)光元件；

帽部件，其被設(shè)置于所述支撐基板的所述一個板面上并氣密性地 封閉所述可動鏡以及所述光半導(dǎo)體元件；以及

元件用電極部，其貫通所述支撐基板以及所述絕緣層，且與所述 光半導(dǎo)體元件電連接。

2.如權(quán)利要求1所述的光模塊，其特征在于，

還具備：

靜電驅(qū)動器，其具有被固定于所述支撐基板的第1電極以及被固 定于所述可動鏡的第2電極，利用在所述第1電極與所述第2電極之 間產(chǎn)生的靜電力驅(qū)動所述可動鏡；以及

驅(qū)動器用電極部，其貫通所述支撐基板以及所述絕緣層，并與所 述第1電極電連接。

3.如權(quán)利要求1或2所述的光模塊，其特征在于，

所述帽部件是由透過所述光半導(dǎo)體元件所接受的光或所發(fā)出的光 的材料構(gòu)成的。

4.如權(quán)利要求1或2所述的光模塊，其特征在于，

具有貫通所述支撐基板以及所述絕緣層的光通過孔，通過所述光 通過孔輸入或輸出所述光半導(dǎo)體元件所接受的光或所發(fā)出的光。

5.如權(quán)利要求1或2所述的光模塊，其特征在于，

還具備：

固定鏡，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分，鏡面被形成于一個側(cè)面 上并被固定于所述支撐基板的所述一個板面上；以及

分束鏡，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分，一個面與所述可動鏡的 所述鏡面光互連，另一個面與所述固定鏡的所述鏡面光互連，

所述可動鏡的所述鏡面、所述固定鏡的所述鏡面以及所述分束鏡 構(gòu)成干涉儀。

6.如權(quán)利要求1或2所述的光模塊，其特征在于，

還具備元件搭載部，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分且搭載所述光 半導(dǎo)體元件，

所述元件用電極部的前端接觸于所述元件搭載部的所述半導(dǎo)體層 的部分。

7.如權(quán)利要求1或2所述的光模塊，其特征在于，

還具備凸點電極，其被設(shè)置于所述支撐基板的另一個板面上并與 所述元件用電極部電連接。

8.一種光模塊，其特征在于，

由具有支撐基板以及經(jīng)由絕緣層而被配置于所述支撐基板的一個 板面上的半導(dǎo)體層的基板制品制作而成，

所述光模塊具備：

可動鏡，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分，該部分與所述支撐基板 之間的所述絕緣層被除去，從而在沿著所述一個板面的規(guī)定方向上可 以移動，且鏡面被形成于與所述規(guī)定方向相交的側(cè)面上；

光半導(dǎo)體元件，其被設(shè)置于所述支撐基板的所述一個板面上并與 所述可動鏡的所述鏡面光互連；

帽部件，其被設(shè)置于所述支撐基板的所述一個板面上并氣密性地 封閉所述可動鏡以及所述光半導(dǎo)體元件；

元件用電極部，其貫通所述支撐基板以及所述絕緣層，且與所述 光半導(dǎo)體元件電連接；

固定鏡，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分，鏡面被形成于一個側(cè)面 上并被固定于所述支撐基板的所述一個板面上；以及

分束鏡，其包含所述半導(dǎo)體層的一部分，一個面與所述可動鏡的 所述鏡面光互連，另一個面與所述固定鏡的所述鏡面光互連，

所述可動鏡的所述鏡面、所述固定鏡的所述鏡面以及所述分束鏡 構(gòu)成干涉儀。