[發明專利]三氯氫硅合成爐供氣結構無效
| 申請號： | 201010101111.3 | 申請日： | 2010-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN101798087A | 公開（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發明（設計）人： | 王國林 | 申請（專利權）人： | 江蘇福斯特石化裝備有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 225500 江蘇省姜堰市經*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三氯氫硅 合成 供氣 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種三氯氫硅合成爐供氣結構，它包括反應段(1)、供氣室(4)及其相配合處平置的氣體分布板(3)，板狀的氣體分布板(3)板面上均布軸向通孔(3.1)，朝反應段(1)一側的通孔(3.1)為螺孔，每只螺孔都配裝噴嘴(2)；其特征在于：內空結構的噴嘴(2)上端為盲端，底端敞口與氣體分布板(3)上的通孔(3.1)相通，噴嘴(2)腰部壁上對稱設有出氣口(2.1)。
2.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成爐供氣結構，其特征在于：噴嘴(2)腰部壁上的出氣口(2.1)為朝下的斜孔，出氣口(2.1)軸線與噴嘴(2)軸線相交的夾角為40°～50°。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江蘇福斯特石化裝備有限公司，未經江蘇福斯特石化裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010101111.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
