[發明專利]X射線檢查區域設定方法及設定程序、X射線檢查裝置

有效

• 申請號: 201010001422.2
• 申請日: 2010-01-06
• 公開（公告）號: CN101846640A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發明（設計）人: 林秀之;吉田邦雄;村上清
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;浦柏明

1.一種X射線檢查區域設定方法，用于設定檢查區域，該檢查區域用于利用X射線來檢查基板，其特征是，包括：

顯示可見光圖像的步驟，該可見光圖像是從與基板面垂直的方向拍攝上述基板所得到的；

接受對信息的輸入的步驟，該信息用于在所顯示的上述圖像中指定安裝在基板上的元件存在的范圍；

根據X射線的透視圖像來生成三維的重建數據的步驟，該X射線的透視圖像是指，對包括所指定的上述范圍內的元件的區域的三維區域進行X射線透視所得到的透視圖像；

通過對上述三維的重建數據進行處理，確定用于連接上述基板和上述元件的配線的位置的信息的步驟；

根據所確定的配線的位置的信息，在上述三維區域中確定與上述配線對應的區域，并將所確定的區域設定為檢查區域的步驟。

2.如權利要求1所述的X射線檢查區域設定方法，其特征是，還具有將所設定的檢查區域以與上述可見光圖像重疊的方式顯示的步驟。

3.如權利要求1所述的X射線檢查區域設定方法，其特征是，

在確定上述配線的位置的信息的步驟中，在上述三維的重建數據中將上述垂直的方向上的規定的范圍內的數據作為處理對象，

生成將上述三維的重建數據的多個剖面圖像的各像素在斷層圖像的垂直方向上重疊得到的數據，上述多個剖面圖像與上述垂直的方向平行且相互平行，

在上述垂直的方向上的各位置計算上述重疊得到的數據的亮度的累積值，上述規定的范圍包括上述亮度的累積值具有峰值的垂直方向上的位置。

4.如權利要求3所述的X射線檢查區域設定方法，其特征是，上述規定的范圍是指，包括上述亮度的累積值具有峰值的上述垂直方向上的位置，而且由于根據成為處理的對象的三維的重建數據的范圍所推定的基板傾斜而上述垂直方向上的位置變動的范圍。

5.一種X射線檢查裝置，利用X射線來檢查基板，其特征是，具有：

可見光圖像拍攝單元，其從與基板面垂直的方向拍攝基板的可見光圖像；

顯示單元，其顯示拍攝到的上述可見光圖像；

輸入單元，其用于輸入信息，該信息用于在所顯示的上述圖像中指定安裝在基板上的元件存在的范圍；

X射線圖像拍攝單元，其拍攝X射線的透視圖像；

圖像生成單元，其對于包括通過上述輸入單元所指定的元件存在的范圍的三維的區域，根據上述X射線圖像拍攝單元拍攝到的X射線的透視圖像來生成三維的重建圖像；

確定單元，其通過對上述三維的重建圖像的數據進行處理，確定用于連接上述基板和上述元件的配線的位置的信息；

設定單元，其根據所確定的配線的位置的信息，在上述三維的區域中確定與上述配線對應的區域，并將所確定的區域設定為檢查區域。

6.一種計算機可讀取的X射線檢查區域設定程序，由利用X射線來檢查基板的X射線檢查裝置的計算機執行，設定用于檢查基板的檢查區域，其特征是，使上述X射線檢查裝置的計算機執行以下步驟：

顯示拍攝上述基板得到的可見光圖像的步驟；

接受對信息的輸入的步驟，該信息用于對上述所顯示的圖像指定安裝在基板上的元件的位置和元件所在的范圍；

根據所指定的上述元件所在范圍的X射線的透視圖像，生成三維的重建數據的步驟；

通過對上述三維的重建數據進行處理，確定用于連接上述基板和上述元件的配線的位置的信息的步驟；

根據所確定的配線的位置的信息來確定與上述配線對應的區域，并將所確定的區域與上述可見光圖像上的位置重疊顯示的步驟。