[發明專利]移動臺、具有移動臺的輸送裝置及帶電粒子束裝置

無效

• 申請號: 200980158961.2
• 申請日: 2009-09-30
• 公開（公告）號: CN102414811A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 宗石猛;明石幸治
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/027
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 蔣亭

1.一種移動臺，其具有：

第一臺，其能夠沿著第一方向進行移動；

第二臺，其至少一部分位于所述第一臺上，且能夠沿著與所述第一方向交叉的第二方向進行移動；

生成部，其生成用于使所述第二臺沿著所述第二方向移動的驅動力；

動力傳遞部，其從所述生成部向所述第二臺傳遞所述驅動力，且至少一部分伴隨著所述第一臺的移動而進行動作。

2.根據權利要求1所述的移動臺，其中，

所述動力傳遞部伴隨著所述第一臺的移動而發生變形。

3.根據權利要求2所述的移動臺，其中，

所述動力傳遞部具有：

第一驅動軸，其以能夠旋轉的方式安裝于所述第二臺；

變形部，其在所述生成部與所述第一驅動軸之間伴隨著所述第一臺的移動而發生變形。

4.根據權利要求3所述的移動臺，其中，

所述第一驅動軸安裝在所述第二臺的所述第一方向上的中央部。

5.根據權利要求3或4所述的移動臺，其中，

所述變形部的所述第一方向的長度伴隨著所述第一臺的移動而發生變化。

6.根據權利要求4或5所述的移動臺，其中，

所述變形部具備：

第二旋轉軸，其通過所述生成部而被旋轉驅動；

第三旋轉軸，其設置在所述第二旋轉軸與所述第一旋轉軸之間；

環狀的第一張力線，其保持一定的張力且包圍所述第二旋轉軸及所述第三旋轉軸，并將所述第二旋轉軸的旋轉向所述第三旋轉軸傳遞；

環狀的第二張力線，其保持一定的張力且包圍所述第三旋轉軸及所述第一旋轉軸，并將所述第三旋轉軸的旋轉向所述第一旋轉軸傳遞，

所述第三旋轉軸對應于所述第一臺的移動而沿著與所述第一方向垂直的方向進行位移。

7.根據權利要求6所述的移動臺，其中，

所述變形部具有與所述第一旋轉軸連接的第一滑輪、與所述第二旋轉軸連接的第二滑輪、與所述第三旋轉軸連接的第三滑輪及第四滑輪，

所述第一張力線是架設在第二滑輪與第三滑輪之間的帶，所述第二張力線是架設在第四滑輪與第一滑輪之間的帶。

8.根據權利要求7所述的移動臺，其中，

所述第一滑輪、所述第二滑輪及所述第三滑輪的與所述帶相接的外周面是凸曲面。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的移動臺，其中，

所述移動臺具有微調機構，該微調機構通過沿著所述第二方向對所述第二臺施加按壓力，而對所述第二方向上的所述第二臺的位置進行微調。

10.根據權利要求9所述的移動臺，其中，

所述微調機構具有：

安裝于所述第二臺的構件，其具有多個緊固部，這多個緊固部在所述第二方向上設置在所述第二臺的兩側且從該第二臺離開；

多個壓電元件，它們設置在所述第二臺與所述多個緊固部之間。

11.根據權利要求9所述的移動臺，其中，

所述第二臺具有沿著所述第二方向排列的多個貫通孔，

所述微調機構具有：

安裝于所述第二臺的構件，其具有多個緊固部，這多個緊固部設置在位于所述多個貫通孔中的相鄰的所述貫通孔之間的所述第二臺的一部分的所述第二方向的兩側且從該第二臺的一部分離開；

多個壓電元件，它們設置在所述第二臺與所述多個緊固部之間。

12.根據權利要求1～3中任一項所述的移動臺，其中，

所述動力傳遞部具有：

第一驅動軸，其以能夠旋轉的方式安裝于所述第二臺；

固定部，其與所述生成部連接，且在所述第一方向上固定在規定位置；

移動部，其與所述固定部及所述第一驅動軸連接，伴隨著所述第一臺的移動而沿著所述第一方向移動。

13.根據權利要求12所述的移動臺，其中，

所述固定部具有通過所述生成部被旋轉驅動的第二驅動軸，

所述移動部具有對應于所述第二驅動軸的旋轉而進行旋轉的齒輪部。