[發(fā)明專(zhuān)利]油墨干燥裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980156136.9
• 申請(qǐng)日: 2009-12-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102308172A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宮浦博彰;鹽崎唯史;天本圭悟;山口臣治
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 夏普株式會(huì)社;株式會(huì)社幸和
• 主分類(lèi)號(hào): F26B5/00
• 分類(lèi)號(hào): F26B5/00;B05C9/14;F26B9/06;F26B21/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明普遍涉及油墨干燥裝置，更特定地涉及以防止顆粒的侵入為目的而具備用于提高干燥爐內(nèi)部壓力的送風(fēng)機(jī)的油墨干燥裝置。

背景技術(shù)

關(guān)于現(xiàn)有的油墨干燥裝置，例如特開(kāi)平10-213334號(hào)公報(bào)中公開(kāi)有以可減少設(shè)置面積且抑制循環(huán)空氣的溫度變動(dòng)為目的的基板處理裝置(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)的基板處理裝置中，在其處理區(qū)域一并設(shè)有：對(duì)基板進(jìn)行處理液的涂敷處理的旋轉(zhuǎn)式涂敷單元、對(duì)基板進(jìn)行顯影處理的旋轉(zhuǎn)式顯影單元、對(duì)基板進(jìn)行加熱處理的加熱單元、以及對(duì)基板進(jìn)行冷卻處理的冷卻單元。此外，在與處理區(qū)域相對(duì)的位置設(shè)有用于向各單元供給清潔空氣的風(fēng)扇。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：特開(kāi)平10-213334號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問(wèn)題

已知作為形成液晶顯示器的取向膜的方法，實(shí)施如下工序，即，使用膠印法等方法在基板的表面上形成聚酰亞胺(PI)膜等的印刷工序、使印刷的聚酰亞胺膜干燥的預(yù)干燥工序、以及使聚酰亞胺膜熱固化的燒成工序。在用于實(shí)施該預(yù)干燥工序的油墨干燥裝置中，通過(guò)設(shè)置用于提高干燥爐內(nèi)部的壓力的送風(fēng)機(jī)，防止顆粒從外部侵入，保持基板清潔。

但是，當(dāng)從送風(fēng)機(jī)向干燥爐內(nèi)部供給空氣時(shí)，有可能基板表面局部受風(fēng)或在基板表面上產(chǎn)生預(yù)想不到的氣流。該情況下，有可能在基板上的聚酰亞胺膜中產(chǎn)生干燥不均，在得到的取向膜的表面殘存風(fēng)紋那樣的圖案。這種圖案的產(chǎn)生成為使液晶顯示器的性能惡化的原因。

于是，本發(fā)明的目的在于，解決上述問(wèn)題，提供實(shí)現(xiàn)均勻的油墨干燥的油墨干燥裝置。

用于解決問(wèn)題的方案

按照本發(fā)明的油墨干燥裝置具備：干燥爐，其中設(shè)置涂敷有油墨的基板；送風(fēng)機(jī)，其與基板相對(duì)配置，向干燥爐內(nèi)輸送空氣；以及沖孔板，其設(shè)置于干燥爐內(nèi)，配置于基板和送風(fēng)機(jī)之間。在沖孔板中形成有空氣可流通的多個(gè)孔。

根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，通過(guò)在基板和送風(fēng)機(jī)之間配置沖孔板，從送風(fēng)機(jī)供給的空氣通過(guò)多個(gè)孔朝向基板。由此，可以使空氣以分散的狀態(tài)到達(dá)基板，結(jié)果可以實(shí)現(xiàn)均勻的油墨干燥。

此外優(yōu)選的是，送風(fēng)機(jī)具有通過(guò)旋轉(zhuǎn)而壓送空氣的風(fēng)扇。在將成為風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)中心的軸朝向沖孔板延長(zhǎng)的情況下，多個(gè)孔以如下方式形成：其開(kāi)口率在相對(duì)遠(yuǎn)離與軸交叉的位置的沖孔板上的區(qū)域比在相對(duì)接近與軸交叉的位置的沖孔板上的區(qū)域大。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，由于存在距風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)中心越遠(yuǎn)風(fēng)量越小的傾向，因此，通過(guò)在該區(qū)域?qū)⒍鄠€(gè)孔的開(kāi)口率設(shè)定得大，可以實(shí)現(xiàn)更均勻的油墨干燥。

此外優(yōu)選的是，多個(gè)送風(fēng)機(jī)彼此隔開(kāi)間隔設(shè)置。多個(gè)孔以其開(kāi)口率對(duì)應(yīng)多個(gè)送風(fēng)機(jī)各自而變化的方式形成。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，可以減少設(shè)有多個(gè)的送風(fēng)機(jī)每臺(tái)的風(fēng)量偏差，能夠?qū)崿F(xiàn)更均勻的油墨干燥。

此外優(yōu)選的是，沖孔板以劃分從送風(fēng)機(jī)輸送的空氣流入的空間和設(shè)置基板的空間的方式設(shè)置。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，從送風(fēng)機(jī)輸送的空氣流入的空間朝向設(shè)置基板的空間的全部空氣都通過(guò)多個(gè)孔。因此，可以在設(shè)置基板的空間中適當(dāng)控制氣流，實(shí)現(xiàn)更均勻的油墨干燥。

此外優(yōu)選的是，沖孔板與設(shè)置于干燥爐中的基板平行地延伸。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，可對(duì)于涂敷于基板的油墨進(jìn)行更均勻的送風(fēng)。

此外優(yōu)選的是，沖孔板配置于送風(fēng)機(jī)和沖孔板之間的距離比沖孔板和設(shè)置于干燥爐中的基板之間的距離小的位置。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，能夠更有效地得到利用沖孔板使空氣以分散的狀態(tài)到達(dá)基板的效果。

此外優(yōu)選的是，在干燥爐內(nèi)形成有第1空間和第2空間，第1空間設(shè)置有基板，第2空間設(shè)置有用于使基板上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部，空氣可從第1空間流入第2空間。油墨干燥裝置還具備與干燥爐連接且從第1空間及第2空間分別排出空氣的排氣部。第1空間及第2空間的壓力設(shè)定成：第1空間的壓力比第2空間的壓力大、第2空間的壓力比干燥爐的外部的壓力大。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，能夠更可靠地防止顆粒從外部向第1空間侵入及顆粒從外部通過(guò)第2空間向第1空間侵入。

此外優(yōu)選的是，油墨干燥裝置還具備與干燥爐連接且從干燥爐內(nèi)排出空氣的排氣部。排氣部具有向干燥爐內(nèi)開(kāi)口且空氣流通的排氣口。排氣口設(shè)置在相對(duì)于送風(fēng)機(jī)比設(shè)置于干燥爐中的基板遠(yuǎn)的位置。根據(jù)這樣構(gòu)成的油墨干燥裝置，可以抑制通過(guò)排氣口從干燥爐向排氣部排出的空氣的流動(dòng)對(duì)載置于干燥爐的基板上的氣流帶來(lái)影響。