[發明專利]油墨干燥裝置

無效

• 申請號: 200980156136.9
• 申請日: 2009-12-08
• 公開（公告）號: CN102308172A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發明（設計）人: 宮浦博彰;鹽崎唯史;天本圭悟;山口臣治
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社;株式會社幸和
• 主分類號: F26B5/00
• 分類號: F26B5/00;B05C9/14;F26B9/06;F26B21/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種油墨干燥裝置，具備：

干燥爐(12)，其中設置涂敷有油墨的基板；

送風機(41)，其與基板相對配置，向上述干燥爐(12)內輸送空氣；以及

沖孔板(51)，其設置于上述干燥爐(12)內，配置于基板和上述送風機(41)之間，形成有空氣可流通的多個孔(52)。

2.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

上述送風機(41)具有通過旋轉而壓送空氣的風扇(43)，

在將成為上述風扇(43)的旋轉中心的軸(101)向上述沖孔板(51)延長的情況下，上述多個孔(52)以如下方式形成：其開口率在相對遠離與上述軸(101)交叉的位置的上述沖孔板(51)上的區域比在相對接近與上述軸(101)交叉的位置的上述沖孔板(51)上的區域大。

3.根據權利要求2所述的油墨干燥裝置，

多個上述送風機41彼此隔開間隔設置，

上述多個孔(52)以其開口率對應多個上述送風機(41)各自而變化的方式形成。

4.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

上述沖孔板(51)以劃分從上述送風機(41)輸送的空氣流入的空間(14m)和設置基板的空間(14n)的方式設置。

5.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

上述沖孔板(51)與設置于上述干燥爐(12)中的基板平行地延伸。

6.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

上述沖孔板(51)配置于上述送風機(41)和上述沖孔板(51)之間的距離比上述沖孔板(51)和設置于上述干燥爐(12)中的基板之間的距離小的位置。

7.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

在上述干燥爐(12)內形成有第1空間(14)和第2空間(15)，上述第1空間(14)設置有基板，上述第2空間(15)設置有用于使基板上下移動的驅動部(32)，空氣可從上述第1空間(14)流入上述第2空間(15)，

上述油墨干燥裝置還具備與上述干燥爐(12)連接且從上述第1空間(14)及上述第2空間(15)分別排出空氣的排氣部(36、38)，

上述第1空間(14)及上述第2空間(15)的壓力設定成：上述第1空間(14)的壓力比上述第2空間(15)的壓力大，上述第2空間(15)的壓力比上述干燥爐(12)的外部的壓力大。

8.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

還具備與上述干燥爐(12)連接且從上述干燥爐(12)內排出空氣的排氣部(36)，

上述排氣部(36)具有向上述干燥爐(12)內開口且空氣流通的排氣口(37)，

上述排氣口(37)設置在相對于上述送風機(41)比設置于上述干燥爐(12)中的基板遠的位置。

9.根據權利要求1所述的油墨干燥裝置，

還具備與上述干燥爐(12)連接且從上述干燥爐(12)內排出空氣的排氣部(36)，

上述排氣部(36)具有向上述干燥爐(12)內開口且空氣流通的排氣口(37、64、65)，

在上述排氣口(37、64、65)設有使空氣的流通面積可變的機構。