[發(fā)明專利]氣體供給方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980148736.0
• 申請日: 2009-12-02
• 公開（公告）號: CN102239359A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發(fā)明（設計）人: 坂根誠;米田隆;伊藤吉則
• 申請（專利權）人: 大陽日酸株式會社
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發(fā)明涉及氣體供給方法，具體涉及一種將被填充到與多個氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動的氣體使用處的氣體供給方法。

背景技術

在半導體、化學制品的制造工序中，會使用各種各樣的氣體，這些氣體例如從填充了高壓氣體的氣體容器經(jīng)管道進行供給。在需要連續(xù)地供給氣體的情況下，將多個氣體容器并聯(lián)地連接，一個氣體容器內(nèi)的剩余壓力降低到預先設定的下限值時，將氣體的供給切換到另一氣體容器，并將壓力降低的氣體容器更換為新的氣體容器以處于待機狀態(tài)(例如，參照專利文獻1)。另外，分別對多個氣體容器內(nèi)的氣體的剩余量進行檢測，并選擇氣體剩余量少的氣體容器進行氣體的供給(例如，參照專利文獻2。)。

專利文獻1：日本特許第2501913號公報

專利文獻2：日本特開2007-107713號公報

在從填充了高壓的壓縮氣體的氣體容器向使用處供給氣體的情況下，能夠從氣體容器向使用處供給的氣體流量因氣體供給設備的壓力損失、氣體的種類或使用處使用的氣體的壓力的不同而存在差異，為了以穩(wěn)定的流量供給氣體，氣體供給設備中的氣體容器側(cè)的壓力和使用處的壓力之間需要有對應于氣體流量的壓力差。此外，一般情況下，供給至使用處的氣體流量的設定值以該使用處所使用的氣體流量的最大值作為基準進行設定。

例如，為了供給使用處所使用的最大氣體流量，需要的壓力差為0.7MPa(表壓，以下相同)左右的情況下，氣體容器的剩余壓力的下限為1MPa左右，在上述專利文獻1、2中的任一種情況下，當剩余壓力變?yōu)?MPa時，則進行容器更換。此情況下，在氣體容器內(nèi)，壓力1MPa的氣體也殘留有容器容積那樣的量，在大型的氣體容器的情況下，大量的氣體成為未使用的狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容

因此本發(fā)明的目的是提供一種氣體供給方法，由于當氣體使用處所使用的氣體的流量變動時，氣體的供給中需要的壓力差也會變動，所以在將氣體供給至氣體使用流量變動的氣體使用處的情況下，該氣體供給方法通過根據(jù)氣體的流量變動而準備多個氣體供給系統(tǒng)等，從而能夠恰當?shù)嘏c氣體的流量變動相對應，由此能夠降低容器更換時的剩余壓力，能夠?qū)怏w容器內(nèi)的氣體進行有效地利用。

為了達到上述目的，本發(fā)明的氣體供給方法的第一個技術方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于：監(jiān)測所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)和供給氣體流量(Q)，在第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時為第一設定壓力(P1)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低到第一設定壓力(P1)時，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進行供給切換至從第二氣體容器(SB)進行供給；切換后在從第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當供給氣體流量(Q)低于從具有如下范圍的剩余壓力(PA)的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時，將向使用處的氣體供給由從第二氣體容器(SB)進行供給切換至從第一氣體容器(SA)進行供給，該剩余壓力(PA)范圍為：低于第一設定壓力(P1)，且為第二設定壓力(P2)以上；在從剩余壓力(PA)低于第一設定壓力(P1)且為第二設定壓力(P2)以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當供給氣體流量(Q)變?yōu)槟軌驈牡谝粴怏w容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進行供給切換至從第二氣體容器(SB)進行供給；在從剩余壓力(PA)低于第一設定壓力(P1)且為第二設定壓力(P2)以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設定壓力(P2)時，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進行供給切換至從第二氣體容器(SB)進行供給，并進行第一氣體容器(SA)的容器更換；在第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)低于第一設定壓力(P1)的情況下，從剩余壓力(PB)為第一設定壓力(P1)以上的第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當?shù)诙怏w容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低到第三設定壓力(P3)時，進行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設定壓力(P1)為用于對能夠供給與第一設定流量(Q1)對應的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進行設定的壓力；所述第二設定壓力(P2)為用于對能夠供給與第二設定流量(Q2)對應的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進行設定的壓力；所述第三設定壓力(P3)為被設定成比所述第一設定壓力(P1)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進行檢測所檢測到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對供給至氣體使用處過程中的氣體流量進行檢測所檢測到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設定流量(Q1)為在氣體使用處預先設定的流量；所述第二設定流量(Q2)為在氣體使用處預先設定的、比所述第一設定流量(Q1)小的流量)。