[發明專利]氣體供給方法

有效

• 申請號: 200980148736.0
• 申請日: 2009-12-02
• 公開（公告）號: CN102239359A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發明（設計）人: 坂根誠;米田隆;伊藤吉則
• 申請（專利權）人: 大陽日酸株式會社
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個氣體供給系統分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動的氣體使用處，其特征在于：監測所述各氣體容器內的剩余壓力(PA、PB)和供給氣體流量(Q)，在第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)各容器內的剩余壓力(PA、PB)同時為第一設定壓力(P1)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當第一氣體容器(SA)內的剩余壓力(PA)降低到第一設定壓力(P1)時，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進行供給切換至從第二氣體容器(SB)進行供給；切換后在從第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當供給氣體流量(Q)低于從具有如下范圍的剩余壓力(PA)的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時，將向使用處的氣體供給由從第二氣體容器(SB)進行供給切換至從第一氣體容器(SA)進行供給，該剩余壓力(PA)的范圍為：低于第一設定壓力(P1)，且為第二設定壓力(P2)以上；在從剩余壓力(PA)低于第一設定壓力(P1)且為第二設定壓力(P2)以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當供給氣體流量(Q)變為能夠從第一氣體容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進行供給切換至從第二氣體容器(SB)進行供給；在從剩余壓力(PA)低于第一設定壓力(P1)且為第二設定壓力(P2)以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當第一氣體容器(SA)內的剩余壓力(PA)降低至第二設定壓力(P2)時，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進行供給切換至從第二氣體容器(SB)進行供給，并進行第一氣體容器(SA)的容器更換；在第一氣體容器(SA)內的剩余壓力(PA)低于第一設定壓力(P1)的情況下，從剩余壓力(PB)為第一設定壓力(P1)以上的第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當第二氣體容器(SB)內的剩余壓力(PB)降低到第三設定壓力(P3)時，進行第一氣體容器(SA)的容器更換；

(此處，所述第一設定壓力(P1)為用于對能夠供給與第一設定流量(Q1)對應的流量的氣體的氣體容器內的剩余壓力進行設定的壓力；

所述第二設定壓力(P2)為用于對能夠供給與第二設定流量(Q2)對應的流量的氣體的氣體容器內的剩余壓力進行設定的壓力；

所述第三設定壓力(P3)為被設定成比所述第一設定壓力(P1)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；

所述各剩余壓力(PA、PB)為對所述各氣體容器(SA、SB)內的壓力進行檢測所檢測到的剩余壓力；

所述供給氣體流量(Q)為對供給至氣體使用處過程中的氣體流量進行檢測所檢測到的氣體流量；

所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；

其中，所述第一設定流量(Q1)為在氣體使用處預先設定的流量；

所述第二設定流量(Q2)為在氣體使用處預先設定的、比所述第一設定流量(Q1)小的流量)。