[發明專利]沉積材料供應裝置及包含所述沉積材料供應裝置的基板處理裝置

無效

• 申請號: 200980146469.3
• 申請日: 2009-11-13
• 公開（公告）號: CN102216488A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 尹亨碩;崔上和;孫成官;姜敞晧;權鉉九;南宮晟泰;韓坰錄
• 申請（專利權）人: 韓商SNU精密股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H05B33/10
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

技術領域

本發明涉及一種沉積材料供應裝置及一種具有所述沉積材料供應裝置的基板處理裝置，更具體而言，涉及一種沉積材料供應裝置及一種包含所述沉積材料供應裝置的基板處理裝置，所述沉積材料供應裝置于不使所述有機材料劣化的條件下儲存大量有機材料并汽化一所需量的所述有機材料至基板。

背景技術

因有機發光裝置(organic?light?emitting?devices：OLEDs)不同于液晶顯示裝置(liquid?crystal?display?devices)的自發光裝置，故其無需一背光燈，因此，其功率消耗較低。此外，因有機發光裝置具有寬視角及高響應速度，故包含有機發光裝置的顯示裝置可顯示具有寬視角的改良影像而無殘留影像。

不同于無機材料，在用于制造有機發光裝置的有機薄層沉積制程中所用的有機材料無需高蒸氣壓力，且于高溫下容易轉變及分解。由于有機材料的此等特征，通過以下方式形成相關技術的有機薄層：加載有機材料于由鎢形成的槽內，加熱所述槽以汽化所述有機材料并沉積所述有機材料于基板上。然而，因儲存于槽內的沉積材料的量有限，故應頻繁地加載沉積材料于所述槽內，因而應頻繁地使有機薄層沉積裝置停機。為延長有機薄層沉積裝置的運作停止周期，可增加原材料的加載量。于此種情況下，須增加由加熱構件產生的熱量以加熱用于儲存所述原材料及汽化所述原材料的較大槽，從而導致所欲沉積的原材料劣化。

發明內容

技術問題

本發明涉及一種沉積材料供應裝置及一種包含所述沉積材料供應裝置的基板處理裝置，所述沉積材料供應裝置儲存大量有機材料以延長沉積裝置的運作停止周期并防止所述有機材料劣化。

本發明也涉及一種沉積材料供應裝置及一種包含所述沉積材料供應裝置的基板處理裝置，所述沉積材料供應裝置以所需速度汽化所需量的所儲存有機材料，以防止汽化有機材料不均勻地擴散。

問題解決方案

根據實例性實施例，一種沉積材料供應裝置包含：槽，其中儲存空間與汽化空間互相連通，所述儲存空間填充有原材料，所述原材料于所述汽化空間中汽化；運送單元，用以連續地或周期性地運送填充于所述儲存空間中的所述原材料至所述汽化空間；以及加熱單元，設置于所述槽的所述汽化空間的外側，用以供應使所述原材料汽化的熱量。

所述沉積材料供應裝置可更包含冷卻單元，所述冷卻單元設置于所述槽的所述儲存空間的外側，以防止儲存于所述儲存空間中的所述原材料出現熱劣化。

所述冷卻單元可包含冷卻套(cooling?jacket)，所述冷卻套包含冷卻信道，所述冷卻信道環繞所述槽的外表面，且冷卻劑流動于所述冷卻通道中。

所述沉積材料供應裝置可更包含：連接管，所述連接管的第一側連接所述槽的所述汽化空間，以形成通道，所述汽化原材料流動于所述通道中；以及噴射器，連接至所述連接管的第二側，用以噴射所述汽化原材料。

所述沉積材料供應裝置可更包含支撐部件，整體地支撐所述槽、所述運送單元及所述噴射器，其中所述支撐部件安裝于軌道上并可沿所述軌道移動，所述軌道延伸于所述噴射器的定向方向。

所述連接管的所述第一側可與耦合構件相連接，而所述耦合構件螺紋耦合至所述槽。

所述連接管可具有直徑介于約20毫米至約200毫米間。

所述沉積材料供應裝置可更包含噴射量測量傳感器，用以測量自所述噴射器射入的所述原材料的噴射量，其中所述沉積材料供應裝置根據所述噴射量測量傳感器所測量的所述原材料的所述噴射量，控制所述運送單元的運作，以便調整所述原材料的所述噴射量。

所述槽的所述汽化空間的內壁上可裝設金屬片。

所述運送單元可包含：頭部，設置于所述槽中，用以推動所述原材料；桿，具有第一側連接至所述頭部，第二側則設置于所述槽的外側，所述桿與所述頭部整體地移動；以及驅動部件，連接至所述桿的所述第二側，用以移動所述桿。

所述驅動部件可包含馬達與液壓缸其中之一。

所述加熱單元可包含核心加熱器(core?heater)與燈加熱器其中之一。