[發明專利]沉積材料供應裝置及包含所述沉積材料供應裝置的基板處理裝置

無效

• 申請號: 200980146469.3
• 申請日: 2009-11-13
• 公開（公告）號: CN102216488A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 尹亨碩;崔上和;孫成官;姜敞晧;權鉉九;南宮晟泰;韓坰錄
• 申請（專利權）人: 韓商SNU精密股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H05B33/10
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

1.一種沉積材料供應裝置，其特征在于，包含：

槽，其中儲存空間與汽化空間互相連通，所述儲存空間填充有原材料，所述原材料于所述汽化空間中汽化；

運送單元，用以連續地或周期性地運送填充于所述儲存空間中的所述原材料至所述汽化空間；以及

加熱單元，設置于所述槽的所述汽化空間的外側，用以供應使所述原材料汽化的熱量。

2.根據權利要求1所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，更包含冷卻單元，所述冷卻單元設置于所述槽的所述儲存空間的外側，以防止儲存于所述儲存空間中的所述原材料出現熱劣化。

3.根據權利要求2所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，所述冷卻單元包含冷卻套(cooling?jacket)，所述冷卻套包含冷卻信道，所述冷卻信道環繞所述槽的外表面，且冷卻劑流動于所述冷卻通道中。

4.根據權利要求1或2所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，其特征在于，更包含：

連接管，所述連接管的第一側連接所述槽的所述汽化空間，以形成通道，所述汽化原材料流動于所述通道中；以及

噴射器，連接至所述連接管的第二側，用以噴射所述汽化原材料。

5.根據權利要求4所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，更包含支撐部件，整體地支撐所述槽、所述運送單元及所述噴射器，

其中所述支撐部件安裝于軌道上并可沿所述軌道移動，所述軌道延伸于所述噴射器的定向方向。

6.根據權利要求4所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，所述連接管的所述第一側與耦合構件相連接，而所述耦合構件螺紋耦合至所述槽。

7.根據權利要求4所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，所述連接管具有直徑約20毫米至約200毫米間。

8.根據權利要求4所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，更包含噴射量測量傳感器，用以測量自所述噴射器射入所述原材料的噴射量，

其中所述沉積材料供應裝置根據所述噴射量測量傳感器所測量的所述原材料的所述噴射量，控制所述運送單元的運作，以便調整所述原材料的所述噴射量。

9.根據權利要求1或2所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，金屬片裝設于所述槽的所述汽化空間的內壁上。

10.根據權利要求1或2所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，所述運送單元包含：

頭部，設置于所述槽中，用以推動所述原材料；

桿，具有第一側連接至所述頭部，第二側則設置于所述槽的外側，所述桿與所述頭部整體地移動；以及

驅動部件，連接至所述桿的所述第二側，用以移動所述桿。

11.根據權利要求10所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，所述驅動部件包含馬達與液壓缸其中之一。

12.根據權利要求1或2所述的沉積材料供應裝置，其特征在于，所述加熱單元包含核心加熱器(core?heater)與燈加熱器其中之一。

13.一種基板處理裝置，其特征在于，包含：

腔室，具有反應空間；

有機材料供應部件，設置于所述反應空間中，用以供應欲汽化的原材料；以及

基板支架(substrate?holder)，用以支撐基板，

其中所述有機材料供應部件包含：

槽，其中儲存空間與汽化空間互相連通，所述儲存空間填充有所述原材料，所述原材料于所述汽化空間中汽化；

運送單元，用以連續地或周期性地運送填充于所述儲存空間中的所述原材料至所述汽化空間；

加熱單元，設置于所述槽的所述汽化空間的外側，用以供應使所述原材料汽化的熱量至所述汽化空間；

連接管，所述連接管的第一側連接至所述槽的所述汽化空間，以形成通道，所述汽化原材料流動于所述通道中；以及

噴射器，連接至所述連接管的第二側且面對所述基板支架，所述噴射器用以噴射所述汽化原材料至所述基板。

14.根據權利要求13所述的基板處理裝置，其特征在于，更包含冷卻單元，所述冷卻單元設置于所述槽的所述儲存空間的外側，以防止儲存于所述儲存空間中的所述原材料出現熱劣化。

15.根據權利要求13或14所述的基板處理裝置，其特征在于，所述腔室被劃分成多個反應空間；

所述有機材料供應部件以多個形式涉及，以分別設置于所述腔室的所述等反應空間中；以及

所述基板支架被運送至面朝所述等有機材料供應部件。