[發(fā)明專(zhuān)利]發(fā)射輻射的有機(jī)器件和用于制造這種器件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980143762.4
• 申請(qǐng)日: 2009-10-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102203973A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邁克爾·波普;尼納·里格爾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 歐司朗光電半導(dǎo)體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李德山;周濤

提出了一種用于制造發(fā)射輻射的有機(jī)器件的方法。此外，提出了一種發(fā)射輻射的有機(jī)器件。

出版物US?7,285,907B2描述了一種發(fā)射輻射的有機(jī)器件。

要解決的任務(wù)在于，提出一種發(fā)射輻射的有機(jī)器件，其相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)可以更簡(jiǎn)單地制造。另一要解決的任務(wù)尤其在于，提出一種用于制造這種器件的方法。

根據(jù)用于制造發(fā)射輻射的有機(jī)器件的方法的至少一個(gè)實(shí)施形式，在制造該器件時(shí)產(chǎn)生發(fā)射輻射的區(qū)域。該器件的發(fā)射輻射的區(qū)域是如下區(qū)域，在對(duì)器件施加電流時(shí)(即在器件工作中)該區(qū)域產(chǎn)生電磁輻射。于是，該器件的發(fā)射輻射的區(qū)域包括至少一個(gè)層，在其中通過(guò)載流子復(fù)合而產(chǎn)生電磁輻射。

根據(jù)本方法的至少一個(gè)實(shí)施形式，在制造該器件的發(fā)射輻射的區(qū)域時(shí)產(chǎn)生包含發(fā)射體材料的至少一個(gè)層。該層是發(fā)射層，在該器件工作時(shí)在該發(fā)射層中借助載流子的復(fù)合而產(chǎn)生電磁輻射。發(fā)射體材料優(yōu)選地為有機(jī)材料。

根據(jù)用于制造發(fā)射輻射的有機(jī)器件的方法的至少一個(gè)實(shí)施形式，借助原子層沉積(ALD-Atomic?Layer?Deposition)來(lái)制造包含發(fā)射體材料的至少一個(gè)層。原子層沉積是化學(xué)氣相淀積(CVD-Chemical?Vapor?Deposition)的一種變型方案。在此，在原子層沉積時(shí)，以循環(huán)方式進(jìn)行層生長(zhǎng)。在此，在每個(gè)循環(huán)中沉積一定量的要沉積的材料。在此，每個(gè)循環(huán)可以持續(xù)大約0.5秒至數(shù)秒之間，其中每個(gè)循環(huán)產(chǎn)生的所沉積的層的厚度為大約至也就是說(shuō)，借助原子層淀積可以產(chǎn)生小的發(fā)射層的層厚度。在此，層厚度僅僅與循環(huán)的數(shù)目有關(guān)，這實(shí)現(xiàn)特別精確和簡(jiǎn)單地控制層厚度。也就是說(shuō)，通過(guò)控制涂覆時(shí)間可以以非常簡(jiǎn)單的方式特別精確地生長(zhǎng)預(yù)給定的層厚度。因此，原子層沉積是可以特別良好地復(fù)制的方法。

根據(jù)用于制造發(fā)射輻射的有機(jī)器件的方法的至少一個(gè)實(shí)施形式，包含發(fā)射體材料的至少一個(gè)層的厚度小于5nm、優(yōu)選最高2nm。此外，然而更薄的層厚度也是可能的。于是可能的是，包含發(fā)射體材料的層的厚度最高為單層或者處于亞單層范圍中。

也就是說(shuō)，借助原子層沉積，產(chǎn)生非常薄的發(fā)射層是可能的。發(fā)射體材料的量(也就是說(shuō)，發(fā)射體材料的摻雜濃度)可以以特別簡(jiǎn)單的方式通過(guò)發(fā)射體材料的沉積的持續(xù)時(shí)間來(lái)確定。以該方式省去了對(duì)沉積率的繁瑣的、否則必要的且費(fèi)時(shí)的穩(wěn)定，如其例如在其他氣相淀積中情況如此。此外，借助原子層沉積，可以特別良好地將多種材料的組合、例如空穴導(dǎo)電的材料和電子導(dǎo)電的材料的組合。

在此可能的是，發(fā)射輻射的區(qū)域的所有層借助原子層沉積來(lái)制造。也就是說(shuō)，總的發(fā)射輻射的區(qū)域于是借助原子層沉積來(lái)制造。

根據(jù)在此描述的用于制造發(fā)射輻射的有機(jī)器件的方法的至少一個(gè)實(shí)施形式，在該器件的發(fā)射輻射的區(qū)域中產(chǎn)生包含發(fā)射體材料的至少一個(gè)層，其中該層借助原子層沉積來(lái)制造。在此，該層的厚度為最高2nm。

此外，提出了一種發(fā)射輻射的有機(jī)器件。根據(jù)發(fā)射輻射的有機(jī)器件的至少一個(gè)實(shí)施形式，該器件包括發(fā)射輻射的區(qū)域，在該器件工作中在該區(qū)域中產(chǎn)生電磁輻射。電磁輻射優(yōu)選通過(guò)載流子復(fù)合來(lái)產(chǎn)生。

在此，根據(jù)發(fā)射輻射的有機(jī)器件的至少一個(gè)實(shí)施形式，該發(fā)射輻射的器件包括至少一個(gè)層，其包含發(fā)射體材料并且具有最高2nm的厚度。

由發(fā)射體材料構(gòu)成或者具有發(fā)射體材料的這樣薄的層可以特別簡(jiǎn)單地借助原子層沉積來(lái)制造。由于具有發(fā)射體材料的這樣薄的層，在具有發(fā)射體材料的該層中可以特別有效地注入和提高載流子俘獲。因此，在此所描述的器件的特征在于提高的效率。此外，由于該器件的各個(gè)層使用原子層沉積，所以將層厚度控制在單分子范圍和亞分子范圍以下是可能的。也就是說(shuō)，在單分子范圍和亞分子范圍以下，可以以氣相沉積工藝制造任意材料組合，由此解除了在發(fā)射輻射的區(qū)域中的層序列的嚴(yán)格劃分。這實(shí)現(xiàn)：制造如下發(fā)射輻射的有機(jī)器件，該器件可以特別良好地適配于其使用要求。與其相比，已知的發(fā)射輻射的有機(jī)器件表現(xiàn)出具有有限的層數(shù)量和在5nm范圍中的最小層厚度的層構(gòu)造。在此，層構(gòu)造嚴(yán)格地分成如下功能層，諸如電子導(dǎo)體和空穴導(dǎo)體、電子勢(shì)壘層和空穴勢(shì)壘層以及具有發(fā)射體材料的層。

在下文中提及了在此描述的方法以及在此描述的發(fā)射輻射的有機(jī)器件的有利實(shí)施形式。在此，在本上下文中公開(kāi)的特征分別既涉及制造方法，又涉及要制造的發(fā)射輻射的有機(jī)器件。