[發明專利]用于清潔真空泵的方法

無效

• 申請號: 200980142434.2
• 申請日: 2009-10-27
• 公開（公告）號: CN102202805A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 英戈·坎嫩;哈根·格特利希;斯特凡·施奈德
• 申請（專利權）人: 厄利孔萊博爾德真空技術有限責任公司;厄利孔太陽能特魯巴赫公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B9/00;F04C29/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 田軍鋒;魏金霞

技術領域

本發明涉及一種用于清潔真空泵的方法，該真空泵包括具有至少一個泵轉子的泵室。

背景技術

在這種真空泵的各種應用中，具有在運行期間形成雜質并且雜質聚積在吸入室(泵室)中的問題。這里應用例如為MOCVD過程、LPCVD過程、PECvVD過程、PVD過程或光伏模塊的層壓。這些過程是使用處理氣體的過程或者在處理室中形成反應產物的過程，其中反應產物由于壓力/溫度條件而在真空泵中分解或與彼此反應。結果，形成在層中生長或作為灰塵而存在的顆粒。

例如，真空泵的這樣一種應用是利用真空泵沉積用于制造太陽能電池的透明導電氧化層(TCO層)。例如，TCO層由水和二乙基鋅的組合制成。水和二乙基鋅可以在大氣壓下相當劇烈地反應。在幾個毫巴的低壓下，反應是顯著更緩慢的。因此，為了形成TCO層，使這兩種材料在處理室中的真空下反應，以強迫緩慢的反應。水和二乙基鋅之間的反應的副產物是灰塵顆粒形式的雜質，這些雜質引起在泵殼和轉子上的聚積。這些反應還可以在泵中發生。這種聚積使泵的最大運行時間降低。清潔真空泵是麻煩且費時的，并且通常需要將泵整體拆卸下來。

從DE?10?2004?063?058?A1中已知用于清潔真空螺桿泵的沖洗方法，其中，泵在以額定旋轉速度運行時利用清潔流體被沖洗，清潔流體為沖洗流體和沖洗氣體的混合物。

發明內容

本發明的目的是提供一種用于清潔真空泵而無需從裝置拆卸或拆除泵的簡單方法。

根據本發明的方法由權利要求1中的特征限定。

泵室被填充例如酸、堿、溶劑或軟化劑形式的清潔流體。使轉子運動將使清潔溶液分布在泵室中，使得清潔溶液還將到達泵室中難以接近的部分。通過使轉子運動，形成了清潔液體和溶解的雜質的混合物。該混合物隨后被從泵室排出。借助于清潔液體溶解雜質代表了簡單的清潔方法，可以利用該清潔方法增加真空泵的最大運行時間。如果使用該清潔方法，可以避免聚積了雜質的的泵的堵塞，因此避免泵的可能的損壞或者甚至是破壞。該清潔方法比常規的簡單沖洗方法更高效。與常規的方法相比，清潔過程的持續時間減小，由此泵的可用有用時間增大。

與在泵以額定旋轉速度運行時使用沖洗流體的已知沖洗方法相比，優點是：能夠通過獨立于沖洗過程本身將清潔液體填充到泵室中以及在泵室中分布清潔液體而更好地溶解雜質。這在清潔過程不是在泵以額定旋轉速度運行時執行的情況下是特別真實的。為此，泵室入口和泵室出口必須被關閉，并且泵室必須完全充滿清潔液體。在清潔過程之后，可以例如使用已知的沖洗方法沖洗真空泵。

在清潔液體排出之后，泵室利用諸如水之類的沖洗液體被沖洗，然后在泵重新啟動之前被干燥。清潔液體可以是酸性清潔溶液。該酸性清潔溶液溶解包含鋅的沉積物。

為了提高清潔方法的效率，泵室有利地被清潔液體再填充，并且液體通過轉子的運動而分布在泵室中，以使新的清潔液體將到達仍然剩余的沉積物以溶解該沉積物。因為溶解的沉積物用盡了清潔液體，所以反復的再填充和轉子運動對提高效率而言可能是必要的。

在將清潔液體填充到泵室中之前，泵的運行應當被停止。然后，泵室入口和泵室出口被關閉。特別有利的是在清潔過程中使可能的二次氣體從泵室逸出。例如，二次氣體是氮氣，氮氣用作泵室和鄰接的泵轉子傳動裝置殼體之間的密封氣體(“密封軸清洗”)或用作用來防止壓縮氣體冷凝的氣鎮。例如，氣鎮供應被停止，并且密封氣體流動減小。出于通風的目的，可以在泵室的上部中制造脫氣開口，二次氣體可以通過該脫氣開口從泵室向上逸出到大氣中。二次氣體可能阻止清潔液體的均勻分布，從而削弱清潔過程的效率。脫氣開口可以設有可移除的塞子。為了二次氣體的逸出，可以在脫氣開口上設置脫氣管道，逸出的二次氣體通過該脫氣管道被引導到大氣。優選地，脫氣管道與用于泵室出口的排氣線路相連。

如果使用酸性清潔溶液，那么清潔溶液的酸度應當足夠高以用于高效的清潔，并且在該方面，應當足夠低以避免對泵構件的任何不必要的腐蝕。這些特性給定在2％至15％之間的酸度。特別有利的酸度為大約10％。用于在清潔液體中使用的有利的酸為檸檬酸。

附圖說明

下面是參照附圖進行的本發明的實施方式的詳細描述。

在圖中：

圖1是具有泵室和泵轉子的真空泵的截面圖，以及

圖2是圖1的放大詳圖。

具體實施方式