[發明專利]用于清潔真空泵的方法

無效

• 申請號: 200980142434.2
• 申請日: 2009-10-27
• 公開（公告）號: CN102202805A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 英戈·坎嫩;哈根·格特利希;斯特凡·施奈德
• 申請（專利權）人: 厄利孔萊博爾德真空技術有限責任公司;厄利孔太陽能特魯巴赫公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B9/00;F04C29/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 田軍鋒;魏金霞

1.一種用于清潔真空泵(10)的方法，所述真空泵(10)包括具有至少一個泵轉子(14)的泵室(12)，

其特征在于以下步驟：

a)將清潔液體(28)填充到所述泵室(12)中，

b)使所述清潔液體(28)分布在所述泵室(12)中，

c)利用所述清潔液體(28)溶解雜質，

d)從所述泵室(12)中排出所述清潔液體(28)。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于以下的進一步的步驟：

e)利用沖洗液體沖洗所述泵室(12)，

f)使所述泵室(12)干燥。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述清潔液體(28)是酸性清潔溶液，和/或所述沖洗液體是水。

4.如權利要求1至3中的一項所述的方法，其特征在于，通過使所述轉子(14)運動而使所述清潔液體分布在所述泵室(12)中。

5.如權利要求1至4中的一項所述的方法，其特征在于，在執行步驟a)之前，所述泵的運行被停止、和/或所述泵室入口(20)和所述泵室出口(22)被關閉。

6.如權利要求1至5中的一項所述的方法，其特征在于，步驟a)至c)被重復。

7.如權利要求1至6中的一項所述的方法，其特征在于，所述清潔液體(28)包含檸檬酸并且具有大約2％至15％的酸度。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，酸度為10％。

9.如權利要求1至8中的一項所述的方法，其特征在于，停止向所述泵室(12)的氣鎮供應，所述氣鎮防止壓縮氣體冷凝。

10.如權利要求1至9中的一項所述的方法，其特征在于，減小所述泵室(12)和鄰接的所述泵轉子(14)的傳動裝置隔室之間的密封氣體區域。

11.如權利要求1至10中的一項所述的方法，其特征在于，在所述泵室(12)的頂部中設置脫氣開口(24)，使得氣體聚積能夠通過所述脫氣開口(24)從所述泵室(12)逸出，所述氣體聚積防止所述清潔液體(28)與要去除的雜質反應。

12.如權利要求11所述的方法，其特征在于，所述脫氣開口(24)設置在從所述傳動裝置隔室(16)到所述泵室(12)的轉子軸通道(17)的出口側(38)上方的區域中。

13.如權利要求11或12所述的方法，其特征在于，脫氣管道(26)設置在所述脫氣開口(24)上，氣體逸出通過所述管道(26)被引導到大氣中。

14.如權利要求11或12所述的方法，其特征在于，脫氣管道(26)設置在所述脫氣開口(24)上，所述管道通到連接于所述泵室出口(22)的排氣線路(30)中。