[發明專利]基板輸送機器人及系統

有效

• 申請號: 200980139736.4
• 申請日: 2009-09-28
• 公開（公告）號: CN102177003A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 橋本康彥
• 申請（專利權）人: 川崎重工業株式會社
• 主分類號: B25J9/04
• 分類號: B25J9/04;H01L21/677
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 崔幼平;楊楷

技術領域

本發明涉及用來輸送基板的機器人及具備該機器人的基板輸送系統。特別是，本發明的基板輸送機器人及系統適合于太陽能電池板用的大型玻璃基板那樣的較重的基板的輸送。

背景技術

為了對化學蒸鍍裝置（CVD裝置）那樣的基板處理裝置送入要處理的基板、將已處理的基板運出而使用各種機器人。

作為處理的基板的一例，有在太陽能電池板中使用的方形的玻璃基板，其尺寸為一邊超過2m，是大型的重物。

為了將太陽能電池板用的玻璃基板那樣的大型的重物安全且可靠地輸送，需要能夠充分承受這樣的重量的機器人。

此外，關于為了設置基板輸送系統而需要的地面面積，為了能夠進行有限的空間中的安設，希望盡可能小。

專利文獻1：特開2008－137115號公報

專利文獻2：特開2008－73788號公報

專利文獻3：特開2007－260862號公報

專利文獻4：特開2007－54939號公報

但是，在以往的基板輸送機器人中，在使基板與末端執行器一起升降時，不僅是保持有基板的末端執行器、安裝著末端執行器的臂等也一起被驅動而升降。

因此，為了將一邊超過2m那樣的大型的重量玻璃基板安全且可靠地升降，作為驅動源而需要大容量的馬達，由此，有裝置大型化、其制造成本增大的問題。

此外，以往的基板輸送機器人除了如上述那樣其自身大型化的問題以外，還具有在將基板處理裝置等配置在機器人的周圍時，在防止與基板或臂的干涉的關系上難以采用緊湊的布局的問題。

進而，以往的基板輸送機器人由于是在末端執行器的水平移動時將臂沿水平方向伸展的構造，所以有起因于伸展的臂的自重帶來的撓曲的末端執行器的位置偏移的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而提出的，目的是提供一種在防止構造的大型化的同時、能夠將大型玻璃基板那樣的重物安全且可靠地輸送的基板輸送機器人以及具備該機器人的基板輸送系統。

此外，本發明的目的是提供一種在將基板處理裝置等配置在基板輸送機器人的周圍時、能夠采用緊湊的布局的基板輸送機器人以及具備該機器人的基板輸送系統。

為了解決上述問題，本發明的基板輸送機器人的特征在于，具備：末端執行器，大致水平地保持基板；垂直驅動單元，將上述末端執行器沿垂直方向驅動；水平驅動單元，將上述垂直驅動單元沿水平方向驅動；以及旋轉驅動單元，驅動上述水平驅動單元繞垂直方向的旋轉軸線旋轉；在上述垂直驅動單元上連接著上述末端執行器的端部；在上述水平驅動單元上連接著上述垂直驅動單元的端部。

優選的是，上述水平驅動單元具有：行駛支撐部件，是沿水平方向延伸、包括前端部及后端部的行駛支撐部件，由上述旋轉驅動單元驅動而繞上述旋轉軸線旋轉；以及行駛驅動機構，驅動上述垂直驅動單元在上述行駛支撐部件的上述前端部與上述后端部之間行駛。

優選的是，上述行駛驅動機構具有：水平輸送帶，架設在上述行駛支撐部件的上述前端部與上述后端部之間，固定安裝著上述垂直驅動單元的下端部；以及水平輸送用馬達，驅動上述水平輸送帶。

優選的是，上述垂直驅動單元具有：升降支撐部件，是沿垂直方向延伸、包括上端部及下端部的升降支撐部件，上述下端部安裝在上述水平驅動單元上；以及升降驅動機構，驅動上述末端執行器在上述升降支撐部件的上述上端部與上述下端部之間升降。

優選的是，上述升降驅動機構具有：垂直輸送帶，架設在上述升降支撐部件的上述上端部與上述下端部之間，固定安裝著上述末端執行器的基端部；以及垂直輸送用馬達，驅動上述垂直輸送帶。

優選的是，上述末端執行器沿水平方向延伸，具有基端部及前端部，上述基端部安裝在上述垂直驅動單元上；當上述垂直驅動單元位于上述水平驅動單元的后端部時，上述末端執行器的上述前端部位于比上述水平驅動單元的前端靠后端側。

優選的是，上述旋轉軸線處于比上述水平驅動單元的前后方向的中央位置靠后端的位置上。