[發明專利]基板輸送機器人及系統

有效

• 申請號: 200980139736.4
• 申請日: 2009-09-28
• 公開（公告）號: CN102177003A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 橋本康彥
• 申請（專利權）人: 川崎重工業株式會社
• 主分類號: B25J9/04
• 分類號: B25J9/04;H01L21/677
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 崔幼平;楊楷

1.?一種基板輸送機器人，其特征在于，

具備：末端執行器，大致水平地保持基板；垂直驅動單元，將上述末端執行器沿垂直方向驅動；水平驅動單元，將上述垂直驅動單元沿水平方向驅動；以及旋轉驅動單元，驅動上述水平驅動單元繞垂直方向的旋轉軸線旋轉；

在上述垂直驅動單元上連接著上述末端執行器的端部；

在上述水平驅動單元上連接著上述垂直驅動單元的端部。

2.?如權利要求1所述的基板輸送機器人，其特征在于，上述水平驅動單元具有：行駛支撐部件，是沿水平方向延伸、包括前端部及后端部的行駛支撐部件，由上述旋轉驅動單元驅動而繞上述旋轉軸線旋轉；以及行駛驅動機構，驅動上述垂直驅動單元在上述行駛支撐部件的上述前端部與上述后端部之間行駛。

3.?如權利要求2所述的基板輸送機器人，其特征在于，上述行駛驅動機構具有：水平輸送帶，架設在上述行駛支撐部件的上述前端部與上述后端部之間，固定安裝著上述垂直驅動單元的下端部；以及水平輸送用馬達，驅動上述水平輸送帶。

4.?如權利要求1～3中任一項所述的基板輸送機器人，其特征在于，上述垂直驅動單元具有：升降支撐部件，是沿垂直方向延伸、包括上端部及下端部的升降支撐部件，上述下端部安裝在上述水平驅動單元上；以及升降驅動機構，驅動上述末端執行器在上述升降支撐部件的上述上端部與上述下端部之間升降。

5.?如權利要求4所述的基板輸送機器人，其特征在于，上述升降驅動機構具有：垂直輸送帶，架設在上述升降支撐部件的上述上端部與上述下端部之間，固定安裝著上述末端執行器的基端部；以及垂直輸送用馬達，驅動上述垂直輸送帶。

6.?如權利要求1～5中任一項所述的基板輸送機器人，其特征在于，

上述末端執行器沿水平方向延伸，具有基端部及前端部，上述基端部安裝在上述垂直驅動單元上；

當上述垂直驅動單元位于上述水平驅動單元的后端部時，上述末端執行器的上述前端部位于比上述水平驅動單元的前端靠后端側。

7.?如權利要求1～6中任一項所述的基板輸送機器人，其特征在于，上述旋轉軸線處于比上述水平驅動單元的前后方向的中央位置靠后端的位置上。

8.?一種基板輸送系統，其特征在于，具備：

機器人，是權利要求1所述的基板輸送機器人，對相鄰于上述機器人而配置的、用來處理上述基板的基板處理裝置運入運出上述基板；

基板運入運出單元，相鄰于上述機器人而配置，用來將上述基板運入到上述機器人的附近、并且將從上述機器人接受到的上述基板運出。

9.?如權利要求8所述的基板輸送系統，其特征在于，還具備臨時儲存裝置，相鄰于上述機器人而配置，將由上述機器人在上述基板運入運出單元與上述基板處理裝置之間輸送的上述基板臨時儲存的。

10.?如權利要求9所述的基板輸送系統，其特征在于，

上述末端執行器沿水平方向延伸，具有基端部及前端部，上述基端部安裝在上述垂直驅動單元上；

上述機器人構成為，當上述垂直驅動單元位于上述水平驅動單元的后端部時，上述末端執行器的上述前端部位于比上述水平驅動單元的前端靠后端側；

在上述基板處理裝置及上述臨時儲存裝置中的至少1個裝置的下部，形成有至少面向上述機器人的一側開放的開放空間；

上述機器人配置成當上述水平驅動單元繞上述旋轉軸線旋轉時上述水平驅動單元的前端部通過至少1個上述開放空間內。

11.?如權利要求10所述的基板輸送系統，其特征在于，

上述基板處理裝置與上述基板運入運出單元中間夾著上述機器人而對置配置；

上述臨時儲存裝置配置在與連結上述基板處理裝置和上述基板運入運出單元的線正交的線上。

12.?如權利要求11所述的基板輸送系統，其特征在于，具備中間夾著上述機器人而對置配置的一對上述臨時儲存裝置。

13.?如權利要求8～12中任一項所述的基板輸送系統，其特征在于，上述旋轉軸線處于比上述水平驅動單元的前后方向的中央位置靠后端的位置上。