[發明專利]用于有機材料的蒸發器

有效

• 申請號: 200980139115.6
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN102165091A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: S·海恩;G·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種用于汽化有機材料的蒸發器，包含：

第一腔室，其具有噴嘴，所述噴嘴調適成導向要涂布的襯底；

至少一個第二腔室，用于汽化所述有機材料；

至少一個蒸汽通道，用于將所述汽化的有機材料自所述至少一個第二腔室引導至所述第一腔室；其中

所述第一腔室調適成將汽化的有機材料提供給所述噴嘴，所述噴嘴對應于第一實質升華表面，且所述至少一個第二腔室的一個或多個腔室調適成在操作期間提供組合的第二升華表面區域，其中所述組合的第二升華表面區域對應于所述第一實質升華表面的至少70％。

2.如權利要求1所述的蒸發器，其特征在于，所述第二升華表面區域對應于所述第一實質升華表面的至少90％，尤其95％。

3.如權利要求1或2所述的蒸發器，其特征在于，所述噴嘴具有縱軸并且在所述縱軸上具有長度L，所述長度L介于約1000mm至約3500mm之間，尤其介于約2000mm至約3000mm之間。

4.如權利要求3所述的蒸發器，其特征在于，所述第一實質升華表面由長度為約170mm的第一尺寸及長度與所述噴嘴相同的第二尺寸來提供。

5.如權利要求1至4的任一項所述的蒸發器，其特征在于，升華表面為所述第一腔室或第二腔室中的被要蒸發的有機材料所覆蓋的一腔室的表面，且由加熱裝置來加熱所述表面以使所述有機材料自所述表面蒸發。

6.如權利要求1至5的任一項所述的蒸發器，其特征在于，將閥設置在所述通道中，用于調節所述蒸發的有機材料從所述至少一個第二腔室至所述第一腔室的流動。

7.如權利要求6所述的蒸發器，其特征在于，還包含控制器，其調適成控制所述蒸發的有機材料從所述至少一個第二腔室至所述第一腔室的流動。

8.如權利要求1至7的任一項所述的蒸發器，其特征在于，至少一個加熱器設置在選自由蒸汽通道、所述第一腔室、閥及其組合所組成的組中的一個裝置處，用于將所述裝置基本上加熱至所述升華溫度。

9.如權利要求1至8的任一項所述的蒸發器，其特征在于，所述至少一個第二腔室包含至少兩個彼此分離的腔室，其中所述至少一個第二腔室的各腔室與所述第一腔室流體連接。

10.如權利要求1至9的任一項所述的蒸發器，其特征在于，所述第一腔室及所述噴嘴置于次大氣壓下的外殼中，且所述至少一個第二腔室置于所述外殼外部。

11.如權利要求1至10的任一項所述的蒸發器，其特征在于，所述噴嘴具有縱軸并且在所述縱軸上具有長度L，所述長度L介于約1000mm至約3500mm之間，尤其介于約2000mm至約3000mm之間。

12.一種使用蒸發器用有機材料涂布襯底的方法，所述蒸發器具有第一腔室及至少一個第二腔室，所述方法包括：

在操作期間，在具有第二升華表面區域的所述至少一個第二腔室中升華所述有機材料；

將所述升華的有機材料從所述至少一個第二腔室引導至所述第一腔室，所述第一腔室具有導向所述襯底的噴嘴，以將所述升華的有機材料沉積在所述襯底上，其中所述第一腔室調適成將汽化的有機材料提供給所述噴嘴，所述噴嘴對應于第一實質升華表面，其中所述第二升華表面區域對應于所述第一實質升華表面的至少70％。

13.如權利要求12所述的方法，其特征在于，所述有機材料的流動通過調節設置在通道中的閥來控制，所述通道用于將所述升華的有機材料自所述至少一個第二腔室引導至所述第一腔室；或通過調節用于升華所述至少一個第二腔室處的所述有機材料的加熱裝置的溫度來控制；或以上述方式的組合來控制。

14.如權利要求12至13的任一項所述的方法，其特征在于，所述有機材料的流動通過調節所述至少一個第二腔室的所述升華表面來控制。

15.一種用于汽化三聚氰胺的蒸發器，包含：

第一腔室，其具有噴嘴，所述噴嘴調適成導向要涂布的襯底；

至少一個第二腔室，用于汽化所述三聚氰胺；

至少一個蒸汽通道，用于將汽化的三聚氰胺自所述至少一個第二腔室引導至所述第一腔室；其中

所述至少一個第二腔室的一個或多個腔室具有約0.34m²或以上的組合升華表面區域。