[發(fā)明專利]用于有機(jī)材料的蒸發(fā)器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980139115.6
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN102165091A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S·海恩;G·霍夫曼
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種用于汽化有機(jī)材料的蒸發(fā)器，包含：

第一腔室，其具有噴嘴，所述噴嘴調(diào)適成導(dǎo)向要涂布的襯底；

至少一個第二腔室，用于汽化所述有機(jī)材料；

至少一個蒸汽通道，用于將所述汽化的有機(jī)材料自所述至少一個第二腔室引導(dǎo)至所述第一腔室；其中

所述第一腔室調(diào)適成將汽化的有機(jī)材料提供給所述噴嘴，所述噴嘴對應(yīng)于第一實(shí)質(zhì)升華表面，且所述至少一個第二腔室的一個或多個腔室調(diào)適成在操作期間提供組合的第二升華表面區(qū)域，其中所述組合的第二升華表面區(qū)域?qū)?yīng)于所述第一實(shí)質(zhì)升華表面的至少70％。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)器，其特征在于，所述第二升華表面區(qū)域?qū)?yīng)于所述第一實(shí)質(zhì)升華表面的至少90％，尤其95％。

3.如權(quán)利要求1或2所述的蒸發(fā)器，其特征在于，所述噴嘴具有縱軸并且在所述縱軸上具有長度L，所述長度L介于約1000mm至約3500mm之間，尤其介于約2000mm至約3000mm之間。

4.如權(quán)利要求3所述的蒸發(fā)器，其特征在于，所述第一實(shí)質(zhì)升華表面由長度為約170mm的第一尺寸及長度與所述噴嘴相同的第二尺寸來提供。

5.如權(quán)利要求1至4的任一項所述的蒸發(fā)器，其特征在于，升華表面為所述第一腔室或第二腔室中的被要蒸發(fā)的有機(jī)材料所覆蓋的一腔室的表面，且由加熱裝置來加熱所述表面以使所述有機(jī)材料自所述表面蒸發(fā)。

6.如權(quán)利要求1至5的任一項所述的蒸發(fā)器，其特征在于，將閥設(shè)置在所述通道中，用于調(diào)節(jié)所述蒸發(fā)的有機(jī)材料從所述至少一個第二腔室至所述第一腔室的流動。

7.如權(quán)利要求6所述的蒸發(fā)器，其特征在于，還包含控制器，其調(diào)適成控制所述蒸發(fā)的有機(jī)材料從所述至少一個第二腔室至所述第一腔室的流動。

8.如權(quán)利要求1至7的任一項所述的蒸發(fā)器，其特征在于，至少一個加熱器設(shè)置在選自由蒸汽通道、所述第一腔室、閥及其組合所組成的組中的一個裝置處，用于將所述裝置基本上加熱至所述升華溫度。

9.如權(quán)利要求1至8的任一項所述的蒸發(fā)器，其特征在于，所述至少一個第二腔室包含至少兩個彼此分離的腔室，其中所述至少一個第二腔室的各腔室與所述第一腔室流體連接。

10.如權(quán)利要求1至9的任一項所述的蒸發(fā)器，其特征在于，所述第一腔室及所述噴嘴置于次大氣壓下的外殼中，且所述至少一個第二腔室置于所述外殼外部。

11.如權(quán)利要求1至10的任一項所述的蒸發(fā)器，其特征在于，所述噴嘴具有縱軸并且在所述縱軸上具有長度L，所述長度L介于約1000mm至約3500mm之間，尤其介于約2000mm至約3000mm之間。

12.一種使用蒸發(fā)器用有機(jī)材料涂布襯底的方法，所述蒸發(fā)器具有第一腔室及至少一個第二腔室，所述方法包括：

在操作期間，在具有第二升華表面區(qū)域的所述至少一個第二腔室中升華所述有機(jī)材料；

將所述升華的有機(jī)材料從所述至少一個第二腔室引導(dǎo)至所述第一腔室，所述第一腔室具有導(dǎo)向所述襯底的噴嘴，以將所述升華的有機(jī)材料沉積在所述襯底上，其中所述第一腔室調(diào)適成將汽化的有機(jī)材料提供給所述噴嘴，所述噴嘴對應(yīng)于第一實(shí)質(zhì)升華表面，其中所述第二升華表面區(qū)域?qū)?yīng)于所述第一實(shí)質(zhì)升華表面的至少70％。

13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述有機(jī)材料的流動通過調(diào)節(jié)設(shè)置在通道中的閥來控制，所述通道用于將所述升華的有機(jī)材料自所述至少一個第二腔室引導(dǎo)至所述第一腔室；或通過調(diào)節(jié)用于升華所述至少一個第二腔室處的所述有機(jī)材料的加熱裝置的溫度來控制；或以上述方式的組合來控制。

14.如權(quán)利要求12至13的任一項所述的方法，其特征在于，所述有機(jī)材料的流動通過調(diào)節(jié)所述至少一個第二腔室的所述升華表面來控制。

15.一種用于汽化三聚氰胺的蒸發(fā)器，包含：

第一腔室，其具有噴嘴，所述噴嘴調(diào)適成導(dǎo)向要涂布的襯底；

至少一個第二腔室，用于汽化所述三聚氰胺；

至少一個蒸汽通道，用于將汽化的三聚氰胺自所述至少一個第二腔室引導(dǎo)至所述第一腔室；其中

所述至少一個第二腔室的一個或多個腔室具有約0.34m²或以上的組合升華表面區(qū)域。