[發(fā)明專利]用于有機材料的蒸發(fā)器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980139115.6
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN102165091A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設計）人: S·海恩;G·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

技術領域

本發(fā)明的實施例涉及一種用于汽化(vaporizing)有機材料(尤其是三聚氰胺)的蒸發(fā)器。另外，本發(fā)明涉及一種使用有機材料(尤其是三聚氰胺)涂布襯底的方法。

背景技術

一般而言，三聚氰胺(melamine)可被蒸發(fā)(升華)。通常，要汽化的材料布置在矩形坩堝中，在坩堝中置有要汽化的材料。坩堝可置放于蒸發(fā)管中，且可用加熱裝置或加熱系統(tǒng)來加熱該蒸發(fā)管。坩堝必須加熱至使三聚氰胺蒸發(fā)的溫度。三聚氰胺的蒸發(fā)溫度為約250℃至300℃。三聚氰胺在約330℃的溫度就會燃燒。因此，不能通過改變加熱裝置的溫度來顯著提高蒸發(fā)速率。另外，蒸發(fā)管必須調(diào)適成要涂布的襯底或薄片(web)的寬度。因此，當具有鄰近襯底或薄片直接置放的噴嘴的坩堝或蒸發(fā)器調(diào)適成要涂布的襯底或薄片的寬度時，只有具有有限寬度的襯底或薄片可使用于有效處理。因此，蒸發(fā)器沿著襯底寬度具有約1600mm的長度。

因此，希望提供一種改良的蒸發(fā)器，特別適用于三聚氰胺的蒸發(fā)器，其允許更一致或均勻地沉積三聚氰胺。另外，希望提供一種可用于三聚氰胺且易于使用和制造的蒸發(fā)器，以及一種在柔性襯底或薄片(特別是大寬度的襯底或薄片)上提供三聚氰胺的均勻涂布的方法。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)一實施例，提供一種用于汽化有機材料的蒸發(fā)器。該蒸發(fā)器包括第一腔室，其具有噴嘴，該噴嘴調(diào)適成導向要涂布的襯底；至少一個第二腔室，用于汽化有機材料；至少一個蒸汽通道，用于將汽化的有機材料自該至少一個第二腔室引導至該第一腔室；其中該第一腔室調(diào)適成將汽化的有機材料提供給該噴嘴，該噴嘴對應于第一實質(zhì)升華表面，且該至少一個第二腔室的一個或多個腔室調(diào)適成在操作期間提供組合的第二升華表面區(qū)域，其中該第二升華表面區(qū)域?qū)谠摰谝粚嵸|(zhì)升華表面的至少70％。

根據(jù)另一實施例，提供一種使用蒸發(fā)器用有機材料來涂布襯底的方法，該蒸發(fā)器具有第一腔室及第二腔室。該方法包括在操作期間，在具有第二升華表面區(qū)域的第二腔室中升華該有機材料；將該升華的有機材料自該第二腔室引導至該第一腔室，該第一腔室具有噴嘴，該噴嘴導向襯底以將該升華的有機材料沉積在襯底上，其中該第一腔室調(diào)適成將汽化的有機材料提供給該噴嘴，該噴嘴對應于第一實質(zhì)升華表面，其中該第二升華表面區(qū)域?qū)谠摰谝粚嵸|(zhì)升華表面的至少70％。

根據(jù)又另一實施例，提供一種用于汽化三聚氰胺的蒸發(fā)器，其包括第一腔室，該第一腔室具有噴嘴，該噴嘴調(diào)適成導向要涂布的襯底；至少一個第二腔室，用于汽化三聚氰胺；至少一個蒸汽通道，用于將汽化的三聚氰胺自該至少一個第二腔室引導至該第一腔室；其中該至少一個第二腔室的一個或多個腔室調(diào)適成在操作期間提供約0.34m²或以上的組合第二升華表面區(qū)域。

附圖簡述

為了詳細了解本發(fā)明的上述特征，可參照多個實施例給出如上概要的本發(fā)明更具體的描述，部分實施例在附圖中示出。然而應了解到，附圖僅說明本發(fā)明的代表性實施例，因此不應用來限制本發(fā)明范圍，因為本發(fā)明可允許其它等效實施例。

圖1示出蒸發(fā)器組件的示意圖；

圖2示出第一腔室的進一步實施例；

圖3示出第一腔室的另一實施例；

圖4示出第一腔室的又一實施例；

圖5示出用于蒸發(fā)三聚氰胺的第二腔室的進一步實施例；

圖6示出用于蒸發(fā)三聚氰胺的第二腔室的另一實施例；

圖7示出用于蒸發(fā)三聚氰胺的第二腔室的又一實施例；以及

圖8示出方法的流程圖。

具體實施方式

現(xiàn)將參照各種實施例做詳細說明，這些實施例的一個或多個示例在附圖中示出。提供各示例作為解釋之用且不作為本發(fā)明的限制。在以下附圖描述內(nèi)，相同附圖標記指示相同組件。一般而言，僅針對個別實施例的差異處進行描述。

一些有機材料，如三聚氰胺，可在10^-2mbar(毫巴)下，約300℃下，尤其在約210℃到約320℃之間蒸發(fā)或升華。在另一實施例中，三聚氰胺在約250℃和310℃下蒸發(fā)。要升華的三聚氰胺在比升華溫度稍高的溫度下燃燒。舉例而言，三聚氰胺在約330℃下燃燒。因此，必須控制要蒸發(fā)的三聚氰胺的溫度。通常，因為三聚氰胺在較高溫度下不是進行蒸發(fā)而會燃燒，所以必須在狹窄溫度范圍內(nèi)供熱，因此蒸發(fā)器的蒸發(fā)速率不能通過提高蒸發(fā)溫度來顯著提升。因此，為了提供三聚氰胺的一致或均勻涂布，必須將蒸發(fā)的三聚氰胺以適用于大寬度襯底或薄片的基本一致方式和/或速率提供至蒸發(fā)器的噴嘴。