[發(fā)明專利]有機(jī)EL顯示器的反射陽極電極及布線膜

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980137599.0
• 申請日: 2009-11-09
• 公開（公告）號: CN102165846A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田內(nèi)裕基;越智元隆;佐藤俊樹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: H05B33/26
• 分類號: H05B33/26;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 雒運(yùn)樸

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在有機(jī)EL顯示器(特別是頂部發(fā)射型)中使用的反射陽極電極及布線膜、薄膜晶體管基板、還有濺射靶。

背景技術(shù)

作為自發(fā)光型平板顯示器之一的有機(jī)電致發(fā)光(以下有時簡稱為“有機(jī)EL”)顯示器，是在玻璃板等基板上以矩陣狀排列有機(jī)EL元件而形成的全固體型的平板顯示器。在有機(jī)EL顯示器中，陽極(anode)和陰極(cathode)形成條紋狀，它們彼此交叉的部分相當(dāng)于像素(有機(jī)EL元件)。從外部對該有機(jī)EL元件施加數(shù)V的電壓，流過電流，由此提升有機(jī)分子為激勵狀態(tài)，當(dāng)其向原來的基態(tài)(穩(wěn)定狀態(tài))恢復(fù)時，其多余的能量以光的形式釋放。該發(fā)光顏色是有機(jī)材料所固有的。

有機(jī)EL元件是自己發(fā)光型及電流驅(qū)動型的元件，其驅(qū)動型有無源矩陣型和有源矩陣型。無源矩陣型結(jié)構(gòu)簡單，不過很難全色化。另一方面，有源矩陣型能夠大型化，也適于全色化，卻需要TFT基板。該TFT基板使用低溫多結(jié)晶Si(p-Si)或非晶形Si(a-Si)等的TFT。

采用有源矩陣型的有機(jī)EL顯示器時，多個TFT、布線等形成阻礙，使能夠用于有機(jī)EL像素的面積變小。若驅(qū)動電路變得復(fù)雜，TFT增加，則其影響變大。近年來，通過形成為不是從玻璃基板取出光而是從上面?zhèn)热〕龉獾慕Y(jié)構(gòu)(頂部發(fā)射方式)來改善數(shù)值孔徑的方法倍受矚目。

在頂部發(fā)射方式中，下面的陽極使用的是空穴注入性優(yōu)異的氧化銦錫(ITO：Indium?Tin?Oxide)。另外，上面的陰極也需要使用透明導(dǎo)電膜，但I(xiàn)TO的功函數(shù)大，不適于電子注入。再有，ITO是用噴濺法、離子束蒸鍍法等成膜的，從而，成膜時的等離子體離子、二次電子會導(dǎo)致電子輸送層(構(gòu)成有機(jī)EL元件的有機(jī)材料)受損。為此，通過在電子輸送層上形成薄的Mg層、銅酞菁層等，來改善電子注入和避免損傷。

在這種有源矩陣型的頂部發(fā)射有機(jī)EL顯示器中使用的陽極電極，兼有對有機(jī)EL元件放射的光進(jìn)行反射的目的，形成以上述的ITO、氧化銦鋅(IZO：Indium?Zinc?Oxide)等為代表的透明氧化物導(dǎo)電膜和反射膜的層疊結(jié)構(gòu)。在此使用的反射膜多使用鉬、鉻、鋁系(專利文獻(xiàn)1)或銀系(專利文獻(xiàn)2)等反射性高的金屬膜。

還有，本申請人迄今為止提出了用于液晶顯示器的Ag合金(專利文獻(xiàn)3)和用于液晶顯示器的Ag合金(專利文獻(xiàn)4)。

專利文獻(xiàn)1：日本國特開2005-259695號公報

專利文獻(xiàn)2：日本國特開2006-310317號公報

專利文獻(xiàn)3：日本國特開2005-187937號公報

專利文獻(xiàn)4：日本國特開2002-323611號公報

然而，具有高反射率的純Ag、Ag合金等，即使低溫加熱，原子也容易移動，特別是在濕潤氣氛中更容易凝集。由于它們加熱就容易凝集，所以需要在Ag薄膜的上下設(shè)置保護(hù)膜。即使在設(shè)置保護(hù)膜的情況下，發(fā)現(xiàn)有很多情況是以膜缺陷等為起點而容易發(fā)生變質(zhì)(白點化、白濁化)。若有機(jī)電致發(fā)光元件中發(fā)生這些現(xiàn)象，則發(fā)光亮度變得不均勻，成為圖像斑。再有，由于有機(jī)電致發(fā)光元件中作為發(fā)光層的有機(jī)層非常薄，因而若下部膜的表面平滑性差，則會在有機(jī)層上發(fā)生針孔。如果發(fā)生Ag薄膜的凝集，還會發(fā)生更多的針孔。該針孔會導(dǎo)致一種被稱為黑點的器件特性不良。如此，特別是在有機(jī)電致發(fā)光顯示器中采用純Ag、Ag合金等的情況下，在器件的制造工序和器件的特性方面存在很多課題。

例如，上述專利文獻(xiàn)2中，作為有機(jī)EL顯示器用途的反射膜，公開有Ag-Sm合金、Ag-Tb合金等，不過，這些合金并不足以用來防止Ag薄膜的凝集。

另一方面，上述專利文獻(xiàn)3～4中，作為液晶顯示裝置的反射膜，公開有Ag-Nd合金、Ag-Bi合金等。不過，就所謂用于有機(jī)EL顯示器的特殊狀況而言，尚沒有對所謂不會發(fā)生上述Ag薄膜的白點化、白濁化及有機(jī)EL器件的針孔、黑點等問題的驗證。

另外，如上所述，純Ag(或Ag基合金)具有即使低溫加熱(例如200～400℃)Ag原子也容易移動、容易凝集的性質(zhì)。因此，并不限于反射膜的用途，在用作布線膜時，也存在如下問題，即由于Ag的凝集而造成膜的表面變化大，布線膜的電阻率上升，最差的情況是發(fā)生布線的短路、斷線等。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于該課題，本發(fā)明的目的在于，提供通過對難以發(fā)生加熱所致的Ag原子凝集的組成的Ag基合金進(jìn)行確定來抑制加熱引起的反射率降低的反射膜和抑制電阻率增大的布線膜。