[發明專利]測試裝置及測試方法

有效

• 申請號: 200980133257.1
• 申請日: 2009-09-11
• 公開（公告）號: CN102132165A
• 公開（公告）日: 2011-07-20
• 發明（設計）人: 古川靖夫
• 申請（專利權）人: 愛德萬測試株式會社
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;H01L21/66
• 代理公司: 北京英特普羅知識產權代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅

1.一種測試裝置，是測試被測試器件的測試裝置，其特征在于，包括：

電源部，所述電源部對所述被測試器件的電源端子提供電力；

電源控制部，所述電源控制部控制所述電源部以多個電壓電平輸出所述電力；

電流測量部，所述電流測量部針對所述多個電壓電平中的每個，測量靜止時電流，其中，所述靜止時電流是所述電源部供給到所述電源端子的所述被測試設備的供電電流，即在輸入到所述被測試設備的邏輯圖形躍遷之后經規定的時間后的時刻上的靜止時電流；

分析部，所述分析部利用所述電流測量部測量的各電壓電平的電流值中至少3個電流值，分析所述被測試設備的缺陷的有無。

2.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述分析部，

預先存儲作為所述靜止時電流在沒有規定的缺陷的設備中流動的正常電流及所述電壓電平的關系，以及，作為所述靜止時電流在有規定的缺陷的設備中流動的異常電流及所述電壓電平的關系；

根據所述至少3個電流值和、所述正常電流及所述電壓電平的關系和、所述異常電流及所述電壓電平的關系，分析所述被測試設備的缺陷的有無。

3.根據權利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述分析部，

作為所述正常電流及所述電壓電平的關系，存儲以指數函數表示的關系；作為所述異常電流及所述電壓電平的關系，存儲線性的關系。

4.根據權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述分析部，

根據所述至少3個電流值和、所述正常電流及所述電壓電平的關系和、所述異常電流及所述電壓電平的關系，對相對于所述電壓電平成線性變化的所述靜止時電流的線性成分和、相對于所述電壓電平產生指數函數性變化的所述靜止時電流的指數成分進行分離，并根據所述靜止時電流的線性成分來分析所述被測試設備的缺陷的有無。

5.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述分析部，

按照靜止時電流表達式求取與所述缺陷有關的電阻值，所述靜止時電流表達式是表示提供到所述電源端子的靜止時電流的表達式，包含：相對于施加的電壓，數值成指數函數性增加的第1電流項，及，數值與施加的電壓成比例增加的第2電流項。

6.根據權利要求5所述的測試裝置，其特征在于，所述分析部，

從通過互相演算將與第1電壓電平對應的第1電流值代入所述靜止時電流式后得到第1式，將與第2電壓電平對應的第2電流值代入所述靜止時電流式后得到的第2式，以及，將與第3電壓電平對應的第3電流值代入所述靜止時電流式后得到的第3式，進而消除所述第1電流項后而得到的關系式中，求取所述電阻值。

7.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，還包括生成對所述被測試設備提供圖形的圖形生成部，

所述電流測量部，在由所述圖形生成部生成的所述圖形施加于所述被測試設備上的狀態，測量所述每個電壓電平的所述靜止時電流。

8.根據權利要求7所述的測試裝置，其特征在于，所述圖形生成部，生成多個圖形；

所述電流測量部，對所述多個圖形的每個測量所述靜止時電流。

9.一種測試方法，是測試被測試器件的測試方法，包括以下步驟：

測量第1電流值的步驟，包括對所述被測試設備的電源端子施加第1電壓，并將由電源部提供到所述電源端子的所述被測試設備的供電電流，即在所述被測試設備輸入的邏輯圖形躍遷之后經規定的時間后的時刻上的靜止時電流作為與所述第1電壓對應的第1電流值而進行測量；

測量第2電流值的步驟，包括將第2電壓施加到所述被測試設備的電源端子，并將提供到所述電源端子的所述被測試設備的所述靜止時電流作為與所述第2電壓對應的第2電流值進行測量；

測量第3電流值的步驟，包括將第3電壓施加到所述被測試設備的電源端子，并將提供到所述電源端子的所述被測試設備的所述靜止時電流作為與所述第3電壓對應的第3電流值進行測量；

分析步驟，利用所述第1電流值、所述第2電流值及所述第3電流值，來分析所述被測試設備的缺陷的有無。