[發明專利]過濾方法和使用其的研磨用組合物的純化方法、以及用于過濾的過濾器的再生方法和過濾器再生裝置

無效

• 申請號: 200980127417.1
• 申請日: 2009-06-24
• 公開（公告）號: CN102099098A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發明（設計）人: 森永均;古田慎二;玉井一誠
• 申請（專利權）人: 福吉米株式會社
• 主分類號: B01D65/08
• 分類號: B01D65/08;B01D35/20;B01D61/14;B01D61/20;B01D63/00;B01D65/02;B01D71/10;B01D71/36;B01D71/50;B01D71/56;B01D71/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 龐立志;高旭軼

1.過濾方法，其是使用樹脂制介質過濾器過濾液體的方法，其特征在于，包括在過濾時或過濾結束后對所述過濾器照射頻率30kHz以上的超聲波。

2.根據權利要求1所述的過濾方法，包括將過濾使用后的所述過濾器移置于別的再生裝置，并對所述過濾器進行超聲波照射從而將過濾器再生。

3.根據權利要求1或2所述的過濾方法，所述樹脂制介質過濾器為膜過濾器。

4.根據權利要求1~3中任一項所述的過濾方法，所述膜過濾器的形狀為濾筒狀。

5.根據權利要求1~4中任一項所述的過濾方法，所述樹脂制膜過濾器的材質為選自由尼龍、聚碳酸酯、聚四氟乙烯(PTFE)、聚砜、聚醚砜、以及纖維素構成的組中的至少1種以上。

6.根據權利要求1~5中任一項所述的過濾方法，所述過濾器的表面設置有包含網孔狀樹脂層的支撐材料。

7.根據權利要求1~6中任一項所述的過濾方法，超聲波的輸出功率為0.1~?3.0W/cm²。

8.根據權利要求1~7中任一項所述的過濾方法，包括在過濾后使液體以與過濾時相反的方向透過過濾器而進行清洗的工序。

9.根據權利要求1~8中任一項所述的過濾方法，所述液體為含有微粒的分散液。

10.研磨用組合物的純化方法，其特征在于，包括使用權利要求1~9中任一項所述的過濾方法對研磨用組合物進行過濾。

11.介質過濾器的再生方法，其特征在于，包括對用于從溶劑中分散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒成分的過濾中使用的、使用后的樹脂制介質過濾器照射頻率30kHz以上的超聲波。

12.根據權利要求11所述的再生方法，超聲波的輸出功率為0.1~3.0W/cm²。

13.根據權利要求11或12所述的再生方法，包括相對于使用后的樹脂制介質過濾器，使液體以與使用時相反的方向透過而進行清洗。

14.過濾器再生裝置，其特征在于，具備超聲波發生裝置，所述超聲波發生裝置能對浸漬于清洗液中的使用后的樹脂制介質過濾器照射頻率30kHz以上的超聲波。

15.根據權利要求14所述的過濾器再生裝置，所述超聲波發生裝置為具有頻率調制功能的超聲波振動器。

16.根據權利要求14或15所述的過濾器再生裝置，其在適當的位置具有使所述過濾器再生裝置內的聲壓保持均一所需程度的個數的超聲波振動器。

17.根據權利要求14~16中任一項所述的過濾器再生裝置，進一步具有一邊照射超聲波一邊使樹脂制介質過濾器自轉或公轉的功能。

18.根據權利要求14~17中任一項所述的過濾器再生裝置，進一步具有相對于所述介質過濾器，使所述清洗液以與使用時相反的方向透過的功能。

19.根據權利要求14~18中任一項所述的過濾器再生裝置，進一步具有控制所述清洗液的溫度的機構。

20.根據權利要求14~19中任一項所述的過濾器再生裝置，可以同時裝填多個樹脂制介質過濾器，且可將裝填的多個樹脂制介質過濾器同時或依次再生。