[發(fā)明專利]過濾方法和使用其的研磨用組合物的純化方法、以及用于過濾的過濾器的再生方法和過濾器再生裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980127417.1
• 申請日: 2009-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN102099098A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森永均;古田慎二;玉井一誠
• 申請（專利權(quán)）人: 福吉米株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B01D65/08
• 分類號(hào): B01D65/08;B01D35/20;B01D61/14;B01D61/20;B01D63/00;B01D65/02;B01D71/10;B01D71/36;B01D71/50;B01D71/56;B01D71/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 龐立志;高旭軼

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及各種液體、特別是含有研磨劑等微粒作為分散介質(zhì)的液體的過濾方法以及過濾中使用的過濾器的再生方法。?

背景技術(shù)

在使用研磨劑與研磨墊的拋光操作中，對加工面的表面平滑度以及無缺陷性的要求水平逐年變高。與之相伴，研磨用組合物中所含磨粒的粒徑逐漸變得更小。另外，通常磨粒的粒徑具有分布，在含有相對于目標(biāo)粒徑極其大的粗大粒子的情況下，由于該粗大粒子是導(dǎo)致刮痕等表面缺陷的原因，因此需要將其除去。

這類分散于液體介質(zhì)中的粗大粒子，通常通過過濾器除去。為了效率良好地捕捉粗大粒子，期望使用開孔更細(xì)的過濾器。但是，過濾器的開孔越小則越容易發(fā)生堵塞。若發(fā)生堵塞，則粗大粒子的除去效率變差，最終過濾器變得不能使用。因此，期待不易發(fā)生堵塞的過濾方法、或在發(fā)生堵塞時(shí)可以容易地使其恢復(fù)的方法。?

基于這樣的觀點(diǎn)，研究了各種過濾方法。專利文獻(xiàn)1中記載了：對過濾流體的過濾器直接施加超聲波振動(dòng)而抑制流體的粘度增加、利用振動(dòng)而提高了過濾器的效率的過濾器，和在過濾器堵塞時(shí)通過對過濾器直接施加振動(dòng)而使堵塞的流體的粘度降低、利用振動(dòng)來粉碎從而使背壓清洗容易的過濾器。?

專利文獻(xiàn)2中記載了下述過濾方法，其特征在于，在液體的過濾方法中，一邊連續(xù)地或間斷地照射超聲波一邊進(jìn)行過濾。?

專利文獻(xiàn)3記載了下述過濾裝置，其是將中空絲膜、無紡織物、連續(xù)氣泡海綿、纖維、粒狀體等濾材盛裝于殼體內(nèi)而成的過濾裝置，其中，在殼體的相對的兩個(gè)端面分別安裝超聲波振動(dòng)器，并將該振蕩器的安裝位置構(gòu)成在各振動(dòng)器產(chǎn)生的超聲波的相位不重合的位置上。

在上述文獻(xiàn)中，雖然記載了以改善過濾性為目的而利用超聲波的情況，但沒有提供對于除去數(shù)10~數(shù)100nm的研磨劑用粒子中的粗大粒子(數(shù)100~數(shù)1000nm)的工序有效的方法。?

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)?

專利文獻(xiàn)?

專利文獻(xiàn)1?:?日本特開2004-050137號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2?:?日本特開平08-281020號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3?:?日本特開平07-275615號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供可滿足以下全部的過濾方法或過濾器再生方法：除去堵塞、過濾器的壽命延長、以及過濾器更換間隔的延長。?

解決課題的手段?

本發(fā)明所述的過濾方法是使用樹脂制介質(zhì)過濾器過濾液體的方法，其特征在于，包括在過濾時(shí)或過濾使用后對前述過濾器照射頻率30kHz以上的超聲波。?

另外，本發(fā)明所述的研磨用組合物的純化方法的特征在于，包括使用前述過濾方法對研磨用組合物進(jìn)行過濾。?

另外，本發(fā)明所述的介質(zhì)過濾器的再生方法的特征在于，包括對用于從溶劑中分散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒成分的過濾中使用的、使用后的樹脂制介質(zhì)過濾器照射頻率30kHz以上的超聲波。?

進(jìn)一步地，本發(fā)明所述的過濾器再生裝置的特征在于，具備能夠?qū)n于清洗液中的使用后的樹脂制介質(zhì)過濾器照射頻率30kHz以上的超聲波的超聲波發(fā)生裝置。?

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，通過在過濾時(shí)進(jìn)行超聲波的照射，能夠防止過濾器堵塞而不損害過濾的操作效率，可以延長過濾器的壽命。另外，通過在過濾結(jié)束時(shí)照射超聲波，可以將雜質(zhì)從已經(jīng)引起堵塞的過濾器除去，從而可以使過濾器的過濾能力再生。而且，由于可以在過濾器設(shè)置于殼體或?yàn)V筒中的狀態(tài)下進(jìn)行，因而對工序的操作效率損害也小。另外，通過以其它獨(dú)立的過濾器再生裝置進(jìn)行過濾器再生，也可以進(jìn)行過濾器再生而無需使過濾工序?yàn)樘貏e的結(jié)構(gòu)。?

附圖說明

[圖1]?能用于本發(fā)明所述的過濾方法中的過濾設(shè)備的示意圖。

[圖2]?本發(fā)明所述的過濾器再生裝置的側(cè)面示意圖。

[圖3]?顯示本發(fā)明所述的過濾器再生裝置中過濾器的配置的上面示意圖。

具體實(shí)施方式

作為過濾對象的液體

本發(fā)明所述的過濾方法中，作為進(jìn)行過濾的對象的液體沒有特別限制。即，對應(yīng)于液體中所含的成分與應(yīng)從該液體中除去的成分，通過選擇后述的過濾器，對于任意的液體均可適用利用本發(fā)明的過濾方法。然而，本發(fā)明所述的過濾方法，對于從溶劑中分散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒、特別是粗大粒子等尤其有效。即，在分散于液體中的粒子中，為了使具有期望粒徑的粒子通過，同時(shí)將較期望范圍更大的粒子、或其它相對較大的雜質(zhì)成分除去，而一邊防止過濾器的堵塞一邊進(jìn)行過濾時(shí)，優(yōu)選使用本發(fā)明的方法。?