日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]蒸鍍裝置及薄膜裝置的制造方法無效

專利信息
申請號: 200980124622.2 申請日: 2009-06-16
公開(公告)號: CN102076880A 公開(公告)日: 2011-05-25
發明(設計)人: 塩野一郎;姜友松;長江亦周;本多博光;村田尊則 申請(專利權)人: 株式會社新柯隆
主分類號: C23C14/48 分類號: C23C14/48;G02B5/28
代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127 代理人: 丁香蘭;龐東成
地址: 日本神*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 裝置 薄膜 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種蒸鍍裝置,該蒸鍍裝置具備:接地的真空容器、被支承在該真空容器內的基板支架、能夠保持在該基板支架上的基板、離開該基板規定距離并與該基板相向的蒸鍍單元、用于對所述基板照射離子的離子槍、以及用于對所述基板照射電子的中和器,該蒸鍍裝置的特征在于:

所述真空容器具備相對于所述真空容器電氣懸浮的內壁;

所述中和器配設在所述真空容器的側面側,并且,所述離子槍按照離子照射口與所述基板相向的狀態配設在所述真空容器內部的與配設所述基板支架的一側相反方向的一側;

所述中和器與所述離子槍離開規定距離進行配設。

2.如權利要求1所述的蒸鍍裝置,其特征在于:

在所述內壁形成有開口區域;

所述中和器以不與所述內壁電接觸的狀態配設在所述開口區域的內側。

3.如權利要求1所述的蒸鍍裝置,其特征在于:

所述中和器以不與所述內壁電接觸的狀態配設在形成于所述內壁的開口區域的內側;

所述內壁的內側面被絕緣性陶瓷被覆。

4.如權利要求1所述的蒸鍍裝置,其特征在于:

在從所述離子槍的離子照射口朝向所述基板支架的位置具備用于限制離子的照射范圍的照射離子導向部件;

所述照射離子導向部件按照使從所述離子照射口中照射出的所述離子的擴散范圍縮小的方式進行配設,并且,所述照射離子導向部件相對于所述真空容器電氣懸浮。

5.如權利要求1所述的蒸鍍裝置,其特征在于:

在從所述中和器的電子照射口朝向所述基板支架的位置具備用于限制電子的照射范圍的照射電子導向部件;

所述照射電子導向部件按照使從所述電子照射口中照射出的所述電子的擴散范圍縮小的方式進行配設,并且,所述照射電子導向部件相對于所述真空容器電氣懸浮。

6.如權利要求1所述的蒸鍍裝置,其特征在于:

在從所述離子槍的離子照射口朝向所述基板支架的位置具備相對于所述真空容器電氣懸浮的、用于限制離子的照射范圍的照射離子導向部件,并且,在從所述中和器的電子照射口朝向所述基板支架的位置具備相對于所述真空容器電氣懸浮的、用于限制電子的照射范圍的照射電子導向部件;

所述照射離子導向部件和所述照射電子導向部件中的至少一方形成為筒狀。

7.一種薄膜裝置的制造方法,該制造方法的特征在于:

在該方法中使用蒸鍍裝置,所述蒸鍍裝置具備:

接地的真空容器,該真空容器具有相對于該真空容器本身電氣懸浮的內壁,

被支承在該真空容器內的基板支架,

能夠保持在該基板支架上的基板,

離開該基板規定距離并與該基板相向的蒸鍍單元,

用于對所述基板照射離子的離子槍,該離子槍按照離子照射口與所述基板相向的狀態配設在所述真空容器內部的與配設所述基板支架的一側相反方向的一側,

用于對所述基板照射電子的中和器,該中和器配設于所述真空容器的側面側,以及

遮板,該遮板以分別緊靠所述蒸鍍單元的蒸鍍物質照射口和所述離子槍的離子照射口的方式配設;

在所述制造方法中進行如下工序:

將所述基板配設于所述基板支架的配設工序,

使所述基板支架以規定轉數旋轉、將所述真空容器內的壓力設定為規定值、將所述基板溫度加熱到規定值的設定工序,

使所述離子槍和所述蒸鍍單元處于空轉狀態的準備工序,以及

通過開放所述遮板使所述蒸鍍物質照射到所述基板的蒸鍍工序;

其中,在所述蒸鍍工序中,由所述中和器朝向所述基板照射電子,所述中和器靠近所述基板支架進行配設并離開所述離子槍規定距離進行配設。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社新柯隆,未經株式會社新柯隆許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/200980124622.2/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 久久青草欧美一区二区三区| 午夜亚洲国产理论片一二三四| 欧美一区二区久久久| 欧美视屏一区| 国产日产欧美一区| 国产精品免费自拍| 亚洲高清毛片一区二区| 国产农村妇女精品一二区| 免费观看xxxx9999片| 欧美性二区| 538国产精品一区二区| 69精品久久| 福利视频亚洲一区| 欧美二区在线视频| 亚洲精品乱码久久久久久国产主播| 日韩av在线网址| 精品国产乱码久久久久久a丨| 午夜毛片在线看| 国产原创一区二区| 蜜臀久久99精品久久久久久网站| 久久99精品国产一区二区三区| 日韩亚洲精品视频| 99精品国产一区二区三区不卡 | 久久精品一二三四| 国产精品69av| 久久久久国产精品视频| 九九精品久久| 国产真实乱偷精品视频免| 日韩av三区| 国产精品久久久区三区天天噜| 中文字幕欧美另类精品亚洲| 免费午夜在线视频| 欧美色综合天天久久综合精品| 国产麻豆精品久久| 视频一区欧美| 日韩av电影手机在线观看| 国产农村妇女精品一二区| 91久久久久久亚洲精品禁果| 欧美一区二区三区久久久精品| 日韩精品中文字幕久久臀| 亚洲w码欧洲s码免费| 视频一区欧美| 中日韩欧美一级毛片| 久久99国产精品久久99果冻传媒新版本| 欧美亚洲视频二区| 国产乱对白刺激视频在线观看| 亚洲欧美日韩三区| 欧美乱码精品一区二区三| 狠狠躁天天躁又黄又爽| 波多野结衣女教师电影| 国产乱xxxxx97国语对白| 欧美一区二区三区久久久精品| 高清人人天天夜夜曰狠狠狠狠| 国产精品高潮呻| 国产一区二区中文字幕| 自偷自拍亚洲| 中文字幕日韩有码| 高清欧美精品xxxxx| 国产91高清| 亚洲欧美日韩在线看| 亚洲精品456| 色偷偷一区二区三区| 96精品国产| 国产精品剧情一区二区三区| 一级久久精品| 欧美乱妇在线观看| 欧美髙清性xxxxhdvid| 国产一级片一区二区| 国产精品高潮呻吟久| 午夜伦理片在线观看| 91精品一区| 精品国产一二区| 日韩精品中文字| 999久久久国产| 国产视频一区二区不卡 | 欧美日韩国产精品一区二区 | 91超碰caoporm国产香蕉| 国产精品免费观看国产网曝瓜| 99re6国产露脸精品视频网站| 久久精品男人的天堂| 午夜色大片| 三上悠亚亚洲精品一区二区| 麻豆精品久久久| 国产精品久久久区三区天天噜| 久久夜色精品国产噜噜麻豆| 艳妇荡乳欲伦2| 亚洲欧美日韩视频一区| 久久影视一区二区| 国产精品高潮呻吟三区四区| 精品99在线视频| 淫片免费看| 综合久久一区二区三区| 欧美性二区| 男女无遮挡xx00动态图120秒| 日本一二三四区视频| 欧美黄色一二三区| freexxxx性| 国产精品999久久久| 麻豆精品久久久| 狠狠色噜噜狠狠狠888奇米| 97国产精品久久| 国产午夜精品一区二区三区四区 | 欧美午夜一区二区三区精美视频| 午夜一级免费电影| 国产精品一区二区中文字幕| 一区二区免费播放| 99久久精品一区字幕狠狠婷婷| 国产精品久久久久久久久久久久久久久久久久 | 欧美激情视频一区二区三区免费| 国产高潮国产高潮久久久91| 亚洲欧美制服丝腿| 精品国精品国产自在久不卡| 日韩欧美中文字幕精品| 精品三级一区二区| 亚洲少妇一区二区三区| 国产欧美一区二区三区免费| 国产精品一区二区免费视频| 欧美一区二区三区久久久久久桃花 | 国产午夜精品一区二区理论影院 | 国产精品第157页| 国产视频在线一区二区| 久久国产免费视频| 亚洲乱亚洲乱妇50p| 亚洲三区在线| 国产精品久久99| 国产精品久久久爽爽爽麻豆色哟哟| 97精品久久人人爽人人爽| 2023国产精品久久久精品双| 国产日产精品一区二区| 91久久香蕉国产日韩欧美9色| 伊人欧美一区| 91婷婷精品国产综合久久| 午夜激情免费电影| 国产第一区在线观看| 丰满岳乱妇在线观看中字| 日韩av中文字幕在线| 久久99久久99精品免观看软件| 日韩精品一区在线观看| 91精品久久久久久| 99热久久这里只精品国产www| 电影午夜精品一区二区三区| 狠狠色噜噜狠狠狠狠米奇7777| 久久国产精久久精产国| 日本一区二区三区在线看| 亚洲一二区在线观看| 国产aⅴ精品久久久久久| 亚洲欧美日韩一级| 亚洲欧美自拍一区| 久久久久久中文字幕| 久久99国产精品久久99| 97国产婷婷综合在线视频,| 国产精品午夜一区二区| 久久99精| 国产日韩欧美一区二区在线观看| 午夜激情电影在线播放| 欧美精品中文字幕亚洲专区| 午夜影院黄色片| 国产欧美日韩另类| 91黄在线看 | 国产精品亚洲一区二区三区| 91精品一区| 国产一二三区免费| 日本边做饭边被躁bd在线看| 99久精品视频| 综合久久一区| 精品国产一二区| 久久久人成影片免费观看| 久久精品国产色蜜蜜麻豆| 午夜wwwww| 国产精华一区二区精华| 在线国产一区二区| 日本免费电影一区二区| 久久一区二区三区视频| 欧美日韩国产影院| 99精品国产一区二区三区麻豆| 国产一二区在线| 久久一二区| 一本一道久久a久久精品综合蜜臀| 久久精品视频一区二区| 国产suv精品一区二区4| 国产一卡二卡在线播放| 国内精品在线免费| 在线亚洲精品| 国产高清精品一区二区| 国产午夜精品一区二区三区在线观看 | 日韩av一区不卡| 日韩中文字幕在线一区| 欧美一区二区三区激情在线视频| 日韩欧美高清一区| 久久综合激情网| 亚洲乱玛2021| 日本美女视频一区二区三区| 久久久久久久久亚洲精品一牛| 国产床戏无遮挡免费观看网站| 午夜三级电影院| 精品福利一区| 性精品18videosex欧美| 欧美hdxxxx| 奇米色欧美一区二区三区| 日韩av三区| 香蕉av一区二区三区| 午夜激情看片| 国产精品5区| 日本一二区视频| 欧美日韩亚洲三区| 国产vsv精品一区二区62| 正在播放国产一区二区| 亚洲国产精品日本| 国产精品偷拍| 欧美高清xxxxx| 色婷婷噜噜久久国产精品12p| 亚洲欧美日韩三区| 一区二区三区欧美视频| 欧美色综合天天久久综合精品| 日本一区二区在线观看视频| 九色国产精品入口| 国产精品一区二区在线观看| 欧美国产在线看| 欧美激情综合在线| 国产精品乱码久久久久久久久| 一区二区在线视频免费观看| 国产男女乱淫视频高清免费| bbbbb女女女女女bbbbb国产| 狠狠插影院| 国内精品久久久久久久星辰影视 | 一区二区中文字幕在线| xx性欧美hd| 日韩亚洲欧美一区二区| 久久精品入口九色| 亚洲精欧美一区二区精品| 国产麻豆一区二区| 亚洲乱强伦| 免费**毛片| 国产欧美亚洲一区二区| 国产不卡三区| 制服.丝袜.亚洲.另类.中文| 91福利试看| 在线国产精品一区二区| 鲁一鲁一鲁一鲁一鲁一av| 狠狠色噜噜狠狠狠狠88| 国产88在线观看入口| 搡少妇在线视频中文字幕| 狠狠躁夜夜躁| 国产精品久久久久久久久久久久久久不卡 | 亚洲免费永久精品国产 | 色综合久久88|