[發明專利]往返于輸送機系統的直接裝載

無效

• 申請號: 200980123167.4
• 申請日: 2009-06-19
• 公開（公告）號: CN102067300A
• 公開（公告）日: 2011-05-18
• 發明（設計）人: 安東尼·C·伯諾拉;約瑟夫·約翰·法圖拉三世;弗魯芒·I·杰亞諾夫;伊藤浩士;羅杰·G·海因
• 申請（專利權）人: 村田自動化機械有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 田軍鋒;魏金霞

背景技術

存在有幾種使半導體晶片容器在半導體制造設備(“工廠”)中輸送的方式。用于輸送容器的系統通常指的是自動物料輸送系統(AMHS)或者簡稱為物料輸送系統。物料輸送系統可以指整個系統的一部分或全部。工廠可以在整個工廠中僅使用一種類型的AMHS，或者可以在某些區域具有不同類型的AMHS，或者具有用于不同的輸送功能的不同類型的AMHS。當容器被輸送時，這些AMHS類型中的一些使用車輛來保持該容器，例如有軌小車(RGV)或者自導引車(AGV)。使用RGV或者AGV的物料輸送系統需要管理空車以安排它們到達要拾取容器的位置。等候這些車的到達導致AMHS延遲并且車輛運動管理增加了AMHS的復雜性。當利用吊運輸送(OHT)系統移動容器時也存在同樣的問題。

輸送機系統在工廠內移動容器方面比較有效，而不具有任何或者最少量的車輛延遲并且不用必須管理空車。輸送機直接地移動容器而沒有出現在輸送機表面和容器表面之間的任何物料或機械干預。除非輸送機是滿負荷，否則其能夠立即接收容器以便輸送。出于這些以及其它原因，輸送機可以提供非常高產量的AMHS。

在發明名稱為“集成式滾子輸送吊艙和不同步輸送機”的美國專利No.6,223,886中公開了輸送機系統的一個示例，該美國專利由Asyst?Technologies?Inc.公司所有并且被全部結合在此。驅動導軌12包括驅動系統(在圖1A中總體由附圖標記38表示)，用于沿著導軌12推動容器。驅動系統38包括多個分開的驅動組件40。對于指定的區域Z，每個驅動組件40包括多個驅動輪42，該驅動輪42摩擦地接合容器2的下側，以沿著驅動導軌12推動容器2。如在圖1A中所示，驅動組件40沿著導軌定位成使得在相鄰驅動組件40的最外側驅動輪42之間的分開距離基本上等于單個驅動組件40的驅動輪42之間的間隔。驅動輪42從驅動導軌外殼向上突起成使得導軌12的驅動輪42直接支承輸送容器2。輪42優選地安裝在大約相同的高度處，以當容器2沿著導軌12運動時，將容器2的翻倒或擺動減少到最小。在本領域中還已知在每個驅動輪42之間單獨地安裝被動輪43(如圖1A中所示)。

雖然各種類型的輸送機系統已經提供了物體的運動，但是在輸送機系統和其它設備之間的交接仍需要改進效率。在美國專利No.6,481,558中示出了輸送機交接的示例，盡管這種交接也能良好地工作，但是，其可能導致在與輸送機交接期間FOUP的等待。該美國專利通過參引被結合在此。

在這種背景下提出了現根據本發明的實施方式。

發明內容

提供了一種用于直接裝載系統和輸送機的發明。如此處使用的，直接裝載指的是將物料從輸送機系統直接裝載到基本上鄰近輸送機定位的工具。在一個實施方式中，通過裝載端口模塊執行該裝載。裝載端口模塊可以是單個裝載端口模塊或者是多裝載端口系統的一部分。在任一構造中，裝載端口模塊被構造具有臂，該臂保持支承件。在進一步的實施方式中，臂是單臂。沿著裝載端口的豎直定向設置軌道，其允許單臂豎直地上下運動。當臂向下運動時，臂在輸送機系統的方向上運動。輸送機系統可以安裝在制造設備的地板上，或者在地板上方的平臺上，或者是構造在地板中的部分中。

臂被構造用于使由臂保持的支承件向下運動并且進入輸送機系統的空間內。該空間被限定在由輸送機區段的兩個橫梁之間。在一個實施方式中，兩個或更多個輸送機區段形成輸送機。因此利用單臂的裝載端口可以將支承件下降到輸送機內，并且在輸送路徑(由輸送機的帶限定)下方的位置處，并且當在輸送機上行進的物料到達裝載端口的位置時(如果那個物料去往特定的那個裝載端口)，輸送機可以提升物料到裝載端口的上部位置。在上部位置，裝載端口向一位置提供物料，該位置允許與裝載端口提供服務(例如，提供物料)的工具交接。在一個具體實施方式中，裝載端口被構造用于降低到在裝載端口旁邊(例如，鄰近裝載端口的下部區域)布置的輸送機內，并且輸送機將容器(例如，FOUP)移動到裝載端口位置。單臂隨后可以升高支承件并且提升容器離開輸送機到上部位置。應該理解，如果容器不是去往(即，被指派給)特定的裝載端口，則輸送機將不會使容器停止在裝載端口前面，并且裝載端口的支承件(如果處于下部位置)將不會阻礙、阻擋、防止或者干涉容器沿輸送機的傳送。如果裝載端口已經使容器升高離開輸送機，則處于上部位置的容器也將允許在輸送機(其在裝載端口旁邊)上行進的其它容器無阻礙地運動。因此，上部位置要充分地高，使得即使在裝載端口已經直接裝載容器離開輸送機并且到上部位置時，在輸送機上的容器也能行進。如此處使用的，提供關于移動容器的討論。