[發明專利]用于測量超純水的純凈度的方法與設備

有效

• 申請號: 200980121140.1
• 申請日: 2009-06-04
• 公開（公告）號: CN102057270A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: P·拉賈戈帕蘭;A·范海赫;C·勒尼尼維恩;A·迪米特拉科波洛斯
• 申請（專利權）人: 米利波爾公司
• 主分類號: G01N27/06
• 分類號: G01N27/06;G01N33/18
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 劉佳斐;蔡勝利

1.用于在凈化設備的出口處分析存在于例如超純水的液體中的有機化合物的量的方法，所述凈化設備包括串聯的過濾裝置(1)、氧化裝置(2)以及精煉裝置(3)，并且進一步包括用于測量所述過濾裝置(1)的出口處以及所述氧化裝置(2)的出口處的水的電阻率的裝置(4)，所述方法包括以下步驟：

a)測量所述過濾裝置(1)的所述出口處的所述液體的電阻率ρ_UPW；

b)通過將所述液體的一部分暴露于所述氧化裝置(2)預定數量的明顯不同的時間周期，并且測量其暴露于所述氧化裝置之后所述液體的相對應的電阻率值而建立基準模式；

c)通過建立并且通過回歸將其電阻率ρ表示為時間t的函數的公式而在所述基準模式中確定所述液體在無窮大ρ_∞REF處的電阻率，所述公式包括至少一個指數函數ρ＝ρ_∞REF+(ρ_UPW-ρ_∞REF)e^-t/T；

d)通過將待分析的所述液體經過所述電阻率測量裝置(4)中的一個而建立分析模式，以確定其在所述氧化裝置(2)的所述出口處的電阻率ρ；

e)由所述測量的電阻率ρ、所述過濾裝置(1)的所述出口處的所述水的所述電阻率ρ_UPW以及在所述基準模式中評估的在無窮大ρ_∞REF處的電阻率來確定所述水的純凈度；

其特征在于，確定所述純凈度的所述步驟e)包括以下子步驟：

-確定在所述步驟c)中建立的所述指數函數的時間常數T；

-通過連續迭代直至所述參數收斂而確定所述分析模式中所述液體的在無窮大ρ_∞處的電阻率，通過包括至少一個指數函數的公式ρ＝ρ_∞+(ρ_UPW-ρ_∞)e^-t/T，t為迭代變量，并且通過朝向無窮大改變所述迭代變量t，將所述測量的電阻率ρ表示為在無窮大ρ_∞處的電阻率的函數；

-由在無窮大ρ_∞處的該電阻率確定包含在所述凈化的液體中的有機化合物的量。

2.根據權利要求1所述的分析方法，其中，在所述步驟c)中使用的所述公式為t的指數函數與t的線性函數之和。

3.根據權利要求2所述的分析方法，其中，在所述步驟b)中使用的不同時間周期的數量大于或等于六。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的分析方法，其中，在所述步驟e)中使用的用于表示分析模式中的在無窮大處的電阻率的所述公式為包括t的指數形式的單個函數的公式。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的分析方法，其中，在所述步驟e)中使用的用于表示分析模式中的在無窮大處的電阻率的所述公式為t的指數函數與t的線性函數之和。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的分析方法，其中，所有所述電阻率測量結果在相同的電阻率測量裝置(4)中起作用。

7.用于分析存在于例如超純水的液體中的有機化合物的量的設備，所述設備包括串聯的過濾裝置(1)，氧化裝置(2)以及精煉裝置(3)，包括用于測量所述過濾裝置(1)的出口處以及所述氧化裝置(2)的出口處的水的電阻率的裝置(4)，并且進一步包括：

-控制裝置(9)，用于在確定數量的明顯不同的時間周期過程中將所述液體的一部分暴露于所述氧化裝置(2)；

-裝置(10)，用于在所述暴露的時間周期之后，通過回歸，由在所述氧化裝置(2)的所述出口處測量的所述電阻率確定所述液體的在無窮大ρ_∞REF處的電阻率；

其特征在于，其還包括：

-裝置(10)，用于在所述暴露的時間周期之后，由所述氧化裝置(2)的所述出口處測量的所述電阻率確定演化曲線的時間常數T，該演化曲線作為所述氧化裝置(2)的所述出口處的所述電阻率ρ的時間的函數，其由包括至少一個指數函數ρ＝ρ_∞REF+(ρ_UPW-ρ_∞REF)e^-t/T的公式表示，ρ_UPW為所述過濾裝置(1)的所述出口處測量的所述液體的所述電阻率；

-裝置(10)，用于由連續迭代，直至所述參數收斂，確定所述氧化裝置(2)的所述出口處的所述液體的在無窮大ρ_∞處的電阻率，其通過包括至少一個指數函數ρ＝ρ_∞+(ρ_UPW-ρ_∞)e^-t/T的公式，t為迭代變量，并且使得所述迭代變量t朝向無窮大變化，將所述測量的電阻率ρ表示為在無窮大ρ_∞處的所述電阻率的函數；

-裝置(10)，用于由在無窮大ρ_∞處的電阻率確定包含在所述凈化的液體中的所述有機化合物的量；以及

-裝置(8)，用于顯示獲得的結果。