[發明專利]制造電色裝置的方法

有效

• 申請號: 200980121020.1
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN102057323A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 尼蒂·M·克里希納;秉·圣·利奧·郭
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: G02F1/15
• 分類號: G02F1/15
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;王金寶

技術領域

本發明大體上涉及電色裝置，且特別是涉及制造電色裝置的方法，包括激光圖案化/切割。

背景技術

電色裝置是響應施加至裝置的電壓而改變光(和熱)傳輸性質的裝置。電色裝置可制作成電性切換透明狀態與半透明狀態(其中穿透光為彩色)。另外，一些過渡金屬氫化物電色裝置可制作成切換透明與反射狀態。電色裝置可應用到許多產品，包括建筑窗、后視鏡和用于博物館展示箱的防護玻璃。當其應用到建筑窗時，電色裝置的保證壽命需至少十年，最好為三十年或以上。然而，電色裝置接觸大氣的氧和水會降低裝置性能及縮短裝置壽命。因此，電色裝置需設計成能承受周圍氧化劑的不利作用。

建筑窗一般是中空玻璃單元(IGU)形式。IGU包含兩片間隔且四邊密封的玻璃板。其內部空間填充如氬氣之類的惰性氣體，以提供隔熱。當電色裝置應用到IGU時，電色裝置制造在外部玻璃板(朝戶外的板)上并置于其內表面。IGU內的惰性環境不會影響電色裝置的性能。但若IGU密封失敗，則仍需保護電色裝置以對抗周圍氧化劑。

圖1示出現有技術的電色裝置100。參見授予Zieba等人的美國專利號5,995,271。裝置100包含玻璃基板110、下透明導電氧化物(transparent?conductive?oxide，TCO)層120、陰極130、固態電解質140、反電極150、上TCO層160、保護涂層170、第一電觸點180(至下TCO層120)和第二電觸點190(至上TCO層160)。另外，擴散阻障層(未示出)可以設在玻璃基板110與下TCO層120之間，以減少離子從玻璃基板擴散到TCO層，反之亦然。注意圖1示出的電色裝置的部件層未按比例繪制。例如，典型的玻璃基板厚度達毫米級，且電色裝置一般覆蓋如建筑玻璃或后視鏡完全露出的區域。其它基板材料也可采用，例如諸如聚酰亞胺(polyimide，PI)、聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene?terephthalate，PET)和聚萘二甲酸乙二酯(polyethylene?naphthalate，PEN)之類的塑料。典型的部件層厚度列于下表。

??部件層??厚度(微米)??下TCO層??0.1至1.0??陰極??0.1至1.0??固態電解質??0.005至0.5??反電極??0.1至1.0??上TCO層??0.1至1.0

??擴散阻障層??0.1至1.0