[發(fā)明專利]研磨裝置及研磨方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980120615.5
• 申請日: 2009-04-02
• 公開（公告）號: CN102046330A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 坂本裕二;山本晉宏;增成誠治
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社石井表記
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;B24B41/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李貴亮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及研磨裝置及研磨方法，詳細而言，涉及具備輸送具有撓性的板狀工件的多個輸送輥和在這些輸送輥進行輸送的輸送中途研磨板狀工件的拋光輥的研磨裝置及研磨方法。

背景技術(shù)

眾所周知，作為板狀工件的一種的印制電路板通過在形成于絕緣基板的一面或兩面上的銅箔等構(gòu)成的金屬層的表面上形成光致抗蝕膜、經(jīng)由曝光、顯影、進行蝕刻等的光刻工序而制成。這種情況下，在絕緣基板的金屬層的表面上形成光致抗蝕膜的前階段，通常對該金屬層進行拋光，即使是印制電路板那樣極薄且具有撓性的基板，也需要進行上述拋光。

作為進行這種拋光的研磨裝置，根據(jù)例如專利文獻1(該文獻的圖10)及專利文獻2(該文獻的圖8)，公開有如下所述的結(jié)構(gòu)：具備拋光輥、與該拋光輥對置配置的支承輥，拋光輥對送入這兩輥之間的作為板狀工件的印制電路板進行研磨處理，同時將該印制電路板向前方輸送。

并且，由于上述文獻所公開的印制電路板是具有撓性的薄壁基板，因此由上下一對引導部材以維持直進性的方式引導并同時送入上述兩輥之間來接受研磨處理，并且在研磨處理后也同樣由引導部材引導并同時由輸送輥向前方輸送。

【專利文獻1】日本特開2004-268249號公報；

【專利文獻2】日本特開2003-062745號公報。

發(fā)明內(nèi)容

然而，根據(jù)上述專利文獻1、2所公開的研磨裝置，構(gòu)成為印制電路板被沿水平方向輸送且維持該水平姿態(tài)而被送入拋光輥與支承輥之間，但若印制電路板為極薄且具有撓性的基板，則會產(chǎn)生如下問題：基板產(chǎn)生翹曲而導致質(zhì)量降低。

詳細而言，在研磨這種印制電路板時，例如對該印制電路板的上表面?zhèn)冗M行研磨的情況下，印制電路板的研磨區(qū)域中的輸送方向前端向下側(cè)位移，另外，例如對該印制電路板的下表面?zhèn)冗M行研磨的情況下，印制電路板的研磨區(qū)域的輸送方向前端向上側(cè)位移，換言之，印制電路板向拋光輥側(cè)突起而彎曲。并且，由于在沒有消除隨著該彎曲而產(chǎn)生的翹曲的情況下從研磨裝置輸出印制電路板，因此無法對研磨后的印制電路板適當?shù)貓?zhí)行光刻工序等后續(xù)工序，從而導致成品的質(zhì)量降低。

進而，在將這種印制電路板送入拋光輥與支承輥之間前，由于印制電路板為水平姿勢，因此其前端因自重而折彎并下垂，會導致無法將印制電路板適當?shù)貖A入兩輥間這種情況，若不將其上游側(cè)或下游側(cè)的輸送輥的排列間距設(shè)置為極小，則還會導致印制電路板的前端因自重而夾入輸送輥之間的間隙的不良情況。

然而，上述的專利文獻1、2所公開的研磨裝置均構(gòu)成為在拋光輥與支承輥之間通過拋光輥對印制電路板進行研磨的結(jié)構(gòu)，因此在異物夾入該兩輥間的情況下，因支承輥的周面的剛性高等而對印制電路板造成打痕，由此也會導致印制電路板的質(zhì)量降低。

本發(fā)明鑒于上述情況，其技術(shù)課題在于，能夠?qū)⒕哂袚闲缘陌鍫罟ぜm當?shù)厮腿霋伖廨伒呐湓O(shè)位置，且抑制因支承輥的存在而對板狀工件造成打痕導致質(zhì)量降低的情況。

為了解決上述技術(shù)課題，本發(fā)明所涉及的研磨裝置利用輸送機構(gòu)輸送具有撓性的板狀工件，且在該輸送機構(gòu)進行輸送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工件，所述研磨裝置的特征在于，在由所述輸送機構(gòu)形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾持所述板狀工件的一對夾持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對置配置的一對所述拋光輥的彼此之間利用所述拋光輥同時研磨傳送來的所述板狀工件的兩面。這里，上述的“輸送機構(gòu)”可以是多個輸送輥或傳送帶或者由它們的組合構(gòu)成。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，具有撓性的板狀工件被一對夾持輥夾持而沿上下方向傳送到拋光輥的配設(shè)位置，因此板狀工件的前端不會因其自重而折彎，板狀工件適當?shù)刂边M到拋光輥的配設(shè)位置。并且，這樣，對于沿上下方向傳送的板狀工件來說，其兩面被對置配置的一對拋光輥同時研磨，因此避免翹曲的產(chǎn)生，且抑制板狀工件的質(zhì)量降低。進而，研磨板狀工件時，不使用現(xiàn)有的支承輥，因此回避因異物的介入而對板狀工件造成打痕等不良情況，與抑制上述的翹曲的產(chǎn)生相輔相成地進一步可靠地抑制板狀工件的質(zhì)量降低。

以上述的結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，也可以構(gòu)成為，所述輸送路徑形成為使所述輸送機構(gòu)沿水平方向輸送所述板狀工件，并且在該輸送路徑中途的一對所述夾持輥的下方配設(shè)一對所述拋光輥。

這樣，輸送路徑自身是將板狀工件沿水平方向輸送的路徑，但在進行研磨時板狀工件被沿上下方向傳送，因此，在享用上述優(yōu)點的基礎(chǔ)上，能夠沿水平方向進行板狀工件向該研磨裝置的搬入及搬出。由此，能夠?qū)⒃撗心パb置的整個高度維持較低而實現(xiàn)緊湊化，同時，在設(shè)于該研磨裝置的上游側(cè)及下游側(cè)的用于執(zhí)行其他工序的裝置之間能夠順利地進行板狀工件的交接。