[發明專利]研磨裝置及研磨方法

有效

• 申請號: 200980120615.5
• 申請日: 2009-04-02
• 公開（公告）號: CN102046330A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 坂本裕二;山本晉宏;增成誠治
• 申請（專利權）人: 株式會社石井表記
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;B24B41/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李貴亮

1.一種研磨裝置，其利用輸送機構輸送具有撓性的板狀工件，且在該輸送機構進行輸送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工件，所述研磨裝置的特征在于，

在由所述輸送機構形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾持所述板狀工件的一對夾持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對置配置的一對所述拋光輥的彼此之間利用所述拋光輥同時研磨傳送來的所述板狀工件的兩面。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，

所述輸送路徑形成為使所述輸送機構沿水平方向輸送所述板狀工件，并且在該輸送路徑中途的一對所述夾持輥的下方配設一對所述拋光輥。

3.根據權利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，

所述板狀工件在由一對所述夾持輥夾持的狀態下向下方傳送后向上方傳送，由此利用一對所述拋光輥同時研磨兩面。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的研磨裝置，其特征在于，

在所述輸送路徑中途的上游側和下游側的至少兩個部位分別配設一對所述夾持輥和一對所述拋光輥。

5.根據權利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，

通過配設在所述輸送路徑中途的上游側的一對夾持輥和一對拋光輥，對所述板狀工件的包括輸送方向一端的局部區域進行研磨，通過配設在下游側的一對夾持輥和一對拋光輥，對處于輸送方向反向狀態的所述板狀工件的包括未研磨部的區域進行研磨。

6.根據權利要求2～5中任一項所述的研磨裝置，其特征在于，

所述板狀工件在進行由所述輸送機構的沿水平方向的輸送與相對于一對所述拋光輥的傳送的方向變換時，在一對所述夾持輥的周邊噴射流體。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的研磨裝置，其特征在于，

所述板狀工件是柔性印制電路板。

8.一種研磨方法，其利用輸送機構輸送具有撓性的板狀工件，且在該輸送機構進行輸送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工件，所述研磨方法的特征在于，

在由所述輸送機構形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾持所述板狀工件的一對夾持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對置配置的一對所述拋光輥的彼此之間利用所述拋光輥同時研磨傳送來的所述板狀工件的兩面。