[發明專利]天車

有效

• 申請號: 200980117729.4
• 申請日: 2009-05-14
• 公開（公告）號: CN102026858A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 本田則明;泉孝憲
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B61B3/02
• 分類號: B61B3/02;B61B13/06;B65G1/00;B66C11/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 田軍鋒;舒艷君

技術領域

本發明涉及天車，特別涉及以懸掛的狀態收納、輸送在側面可裝卸地設置有蓋的輸送物品的天車。

背景技術

以往，在半導體制造工廠等、塵埃的產生成為問題的潔凈室中，為了輸送物品，采用以沿著設置于頂棚的行駛軌道使天車行駛的天車系統。

天車由沿著行駛軌道進行行駛的行駛部、收納物品的物品收納部、和可升降物品的升降機構成。升降機具有用于抓住物品的卡盤、能夠使卡盤上下移動的帶、能夠輸出或卷起帶的帶驅動機構。

作為天車在潔凈室內輸送的物品，具有FOUP(Front?Opening?Unified?Pod：晶片傳送盒)。FOUP是密閉型的晶片容納用容器。利用FOUP提高晶片的潔凈度，能夠應對伴隨著晶片尺寸的大型化的細微化。FOUP由盒和用于封閉盒的側方開口部的蓋構成。蓋用于防止顆粒侵入到內部，并且進行晶片在盒內的定位。

天車在升降機使FOUP向上方移動而收納于收納部的狀態下進行行駛。當天車行進到制造裝置的前方時，通過升降機使FOUP向下方移動而載置在裝載口的工作臺上。在載置后，FOUP與制造裝置的開口部對接，接著，FOUP開啟工具從FOUP的盒卸下蓋，將蓋引入到裝置內部。然后，將晶片輸送到半導體制造裝置，進行預定的處理。將處理后的晶片返回到FOUP內，關閉FOUP的蓋。天車通過升降機保持在制造裝置的裝載口的工作臺上載置的FOUP，使其上升至收納位置，收納FOUP后開始行駛。這樣，天車使FOUP在裝載口之間移動。

在天車系統中，有時無人天車通過行駛軌道的下方，有時作業者進行移動或作業。在這種情況下，如果蓋從FOUP掉落的話，則有可能對作業者或其他裝置造成危害。因此，提出了在天車上設置蓋掉落防止部件的結構(例如參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2004-277066號公報(專利3885232號)

專利文獻1所公開的蓋掉落防止部件，被固定于升降臺，能夠與升降臺一起橫向移動，但無法進行向其他方向的移動。因此，在進行使FOUP從收納位置向下方下降或從裝載口向上方移動的升降動作時，有可能出現升降臺、FOUP與蓋掉落防止部件接觸的情況。特別是當FOUP一邊擺動一邊上升時，FOUP容易與蓋掉落防止部件沖突。當兩者接觸時，因該接觸而導致天車搖動，FOUP內的晶片受到因擺動而引起的沖擊。此外，也有可能擺動的行駛車與其他的行駛車發生沖突。

發明內容

本發明的課題在于提供一種在升降時輸送物品難以與蓋掉落防止部件發生沖突的天車。

本發明涉及的天車，以懸掛的狀態收納、輸送在側面能夠裝卸地設置有蓋的輸送物品，其具備：天車主體、升降機構、蓋掉落防止部件和第一退避機構。升降機構設置于天車主體，能夠對輸送物品進行升降。蓋掉落防止部件與蓋的正面接近地配置。第一退避機構在輸送物品的升降時使蓋掉落防止部件從蓋的正面退避。

在該天車中，當天車主體以懸掛的方式輸送輸送物品時，蓋掉落防止部件與蓋的正面接近地配置。因而，即使輸送物品的蓋脫離，蓋也難以向下方掉落。另一方面，當天車主體停止進而升降機構使輸送物品升降時，第一退避機構使蓋掉落防止部件從蓋的正面退避。結果，當升降時輸送物品難以與蓋掉落防止部件發生沖突。

優選天車具備輸送物品掉落防止部件、第二退避機構和驅動機構。輸送物品掉落防止部件配置在輸送物品的收納位置的下方。當輸送物品的升降時第二退避機構使輸送物品掉落防止部件從輸送物品的收納位置的下方退避。驅動機構用于驅動第一退避機構和第二退避機構的雙方。

在該天車中，當天車主體以懸掛的方式輸送輸送物品時，輸送物品掉落防止部件配置在輸送物品的收納位置的下方。因而，即使輸送物品從升降機構脫離，輸送物品也難以向下方掉落。另一方面，當天車主體停止進而升降機構使輸送物品升降時，第二退避機構使輸送物品掉落防止部件從輸送物品的下方退避。結果，輸送物品難以與輸送物品掉落防止部件發生沖突。

進而，由于驅動機構驅動第一退避機構和第二退避機構的雙方，所以不需要使用多個動力源。

優選蓋掉落防止部件是能夠在掉落防止位置和退避位置之間轉動的部件，輸送物品掉落防止部件是能夠在掉落防止位置和退避位置之間轉動的部件。

在該天車中，由于蓋防止掉落部件和輸送物品掉落防止部件能夠轉動，所以能夠更可靠地防止蓋和輸送物品的掉落。

優選第一退避機構和第二退避機構經由用于在兩者之間改變旋轉方向的動力傳遞部連結。