[發明專利]帶電粒子束用靜電透鏡

無效

• 申請號: 200980110865.0
• 申請日: 2009-03-23
• 公開（公告）號: CN101981650A
• 公開（公告）日: 2011-02-23
• 發明（設計）人: 小野口彰;大堀謙一;松本浩一;粟田正吾;大橋聰史
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 主分類號: H01J37/12
• 分類號: H01J37/12
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李雪春;武玉琴

1.一種帶電粒子束用靜電透鏡，在該靜電透鏡的中心軸上并排設置有多個電極，所述多個電極分別具有使帶電粒子通過的貫通孔，其特征在于，

利用所述電極中的設置在帶電粒子入射側的多個電極形成有第一電場區域和第二電場區域，所述第一電場區域使帶電粒子的軌道半徑縮小，以便不會在中途超出作為入射時軌道半徑的初始軌道半徑，所述第二電場區域向通過了所述第一電場區域的帶電粒子提供朝向與所述中心軸平行方向前進的力，

并且利用所述電極中的設置在出射側的多個電極形成有第三電場區域，所述第三電場區域使帶電粒子的軌道半徑不會在中途超出所述初始軌道半徑，且使帶電粒子的軌道彎曲，并以比所述帶電粒子從所述第二電場區域出射時的相對于中心軸的軌道角度大的角度，使所述帶電粒子的軌道與中心軸相交。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，與中心軸平行入射的帶電粒子，在所述第二電場區域中與中心軸基本平行地前進。

3.根據權利要求2所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，在所述第二電場區域中的帶電粒子的軌道半徑是所述初始軌道半徑的45～60％。

4.根據權利要求1所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，設定電極的形狀、電極之間的距離和電極的施加電壓中的至少一個，形成所述各電場區域。

5.根據權利要求1所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，

在中間電極的兩側配置有電位比所述中間電極低的入射側電極和出射側電極，形成三電極減速型靜電透鏡，并且在所述中間電極和入射側電極之間，配置有電位比所述入射側電極高的軌道控制電極，

由所述入射側電極和軌道控制電極形成所述第一電場區域和第二電場區域，由所述中間電極和出射側電極形成所述第三電場區域。

6.根據權利要求5所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，

所述軌道控制電極的形狀是在中心軸方向上內周端部的壁厚比外周一側厚，

所述中間電極的形狀是在中心軸方向上內周端部的壁厚比外周一側薄。

7.根據權利要求5所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，設置在所述軌道控制電極中央的帶電粒子貫通孔的孔徑比其他三個電極的貫通孔的孔徑小。

8.根據權利要求5所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，所述軌道控制電極配置在比所述入射側電極和所述中間電極的中間位置更靠向入射側電極的位置上。

9.根據權利要求5所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，所述入射側電極的貫通孔為錐形，其孔徑為入射側小、出射側大。

10.根據權利要求5所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，所述出射側電極的貫通孔為錐形，其孔徑為入射側大、出射側小。

11.根據權利要求1所述的帶電粒子束用靜電透鏡，其特征在于，

從帶電粒子的入射側開始依次配置有第一級電極和電位比所述第一級電極高的第二級電極，形成所述第一電場區域和第二電場區域，

在所述第一級電極和第二級電極的后方，依次配置有電位比所述第二級電極低的入射側電極、電位比所述入射側電極高的中間電極、電位比所述中間電極低的出射側電極，形成三電極加速型靜電透鏡，由所述三電極加速型靜電透鏡形成所述第三電場區域。