[發明專利]基板保持架、基板保持單元、基板搬送裝置和基板貼合裝置

有效

• 申請號: 200980108721.1
• 申請日: 2009-03-13
• 公開（公告）號: CN101971319B
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 前田榮裕;吉橋正博
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 經志強;楊林森

1.一種基板保持架，其利用由來自外部的基板搬送裝置的供電產 生的靜電力保持基板，并在保持著基板的狀態下被基板搬送裝置搬送， 其特征在于，具備：

載置所述基板的保持架主體；

與所述保持架主體電連接，并與外部的第1電力供給電子抵接而接 受外部的電力供給的導電部件；和

與所述導電部件電連接，并與外部的第2電力供給電子抵接而接受 外部的電力供給的電極前端部。

2.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于：

所述導電部件以及所述電極前端部分別能夠與相互不同的外部的 電力供給端子連接。

3.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于：

所述導電部件以及所述電極前端部分別朝向不同的方向。

4.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于：

所述導電部件以及所述電極前端部分別設置在所述保持架主體上， 在所述保持架主體相互不同的面露出。

5.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于：

所述基板保持架在與具有相對于外部的電力供給端子裝卸自如的 連接端子的其他基板保持架重合的狀態下被搬送，

所述基板保持架還具備露出部，該露出部在所述基板保持架與所述 其他基板保持架重合的狀態下使所述其他基板保持架的所述連接端子 露出。

6.根據權利要求5所述的基板保持架，其特征在于：

所述電極前端部在所述保持架主體的載置所述基板的面露出，所述 導電部件在所述面的背面露出，所述露出部朝向與該基板保持架的所述 導電部件露出的面相同的面使所述其他基板保持架的所述連接端子露 出。

7.根據權利要求5或6所述的基板保持架，其特征在于：

所述露出部是切口或孔。

8.一種基板保持單元，在夾著多個基板的狀態下被搬送，其特征 在于，具備：

利用由來自外部的供電產生的靜電力保持所述多個基板中的一個 基板的第一基板保持架；和

利用由來自外部的供電產生的靜電力保持所述多個基板中的另一 個基板的第二基板保持架，

所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分別具有載置所述基 板的保持架主體；與所述保持架主體電連接、并與外部的第1電力供給 電子抵接而接受外部的電力供給的導電部件；和與所述導電部件電連 接，并與外部的第2電力供給電子抵接而接受外部的電力供給的電極前 端部。

9.根據權利要求8所述的基板保持單元，其特征在于：

所述導電部件以及所述電極前端部分別能夠與相互不同的外部的 電力供給端子抵接。

10.根據權利要求8所述的基板保持單元，其特征在于：

所述導電部件以及所述電極前端部分別朝向不同的方向。

11.根據權利要求8所述的基板保持單元，其特征在于：

所述導電部件以及所述電極前端部分別設置在所述保持架主體，在 所述保持架主體相互不同的面上露出。

12.根據權利要求8所述的基板保持單元，其特征在于：

所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方還具有露出 部，該露出部在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的 狀態下使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的另一方的所述 電極前端部露出。

13.根據權利要求12所述的基板保持單元，其特征在于：

在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的狀態下， 所述第一基板保持架的所述導電部件和所述第二基板保持架的所述電 極前端部，朝向相同的面露出。

14.根據權利要求12所述的基板保持單元，其特征在于：

所述露出部是切口或孔。