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[發明專利]用離心機從背面研磨過程產生的廢料漿中收集硅粉的方法及該離心機無效

專利信息
申請號: 200980107546.4 申請日: 2009-03-04
公開(公告)號: CN101959606A 公開(公告)日: 2011-01-26
發明(設計)人: 林承龍;金圣信 申請(專利權)人: 株式會社SILFINE
主分類號: B04B3/04 分類號: B04B3/04
代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002 代理人: 王瓊先;王永建
地址: 韓國忠*** 國省代碼: 韓國;KR
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 離心機 背面 研磨 過程 產生 廢料 收集 方法
【權利要求書】:

1.一種用離心機從在背面研磨過程中產生的廢料漿中收集硅粉的方法,其中所述離心機中水平安裝有圓柱形筒體,所述筒體內側水平安裝有螺桿軸,并且所述筒體和所述螺桿軸的驅動和旋轉被分別控制,所述方法包括:

在離心機的筒體的內表面上收集硅粉的收集步驟(S1),在所述收集步驟(S1)中,在為了在筒體的內表面上收集硅粉而預定的收集時間(Δt1)內,供給廢料漿,同時停止螺桿軸并以高速旋轉筒體,以使得從廢料漿中分離硅粉和流體,在筒體的內表面上收集所分離的硅粉并且將所述流體排出至流體出口;以及

將在離心機的筒體的內表面上所收集的硅粉排出的排出步驟(S2),在所述排出步驟(S2)中,在為將在所述收集步驟(S1)中在筒體的內表面上收集的硅粉排出而預定的排出時間(Δt2)內,停止供給廢料漿,以減小的速度旋轉筒體以將所收集的硅粉保持在筒體的內表面上,并且旋轉在所述收集步驟(S1)中停止的所述螺桿軸,以將在筒體的內表面上收集的硅粉排出。

2.根據權利要求1所述的方法,其中,在所述步驟(S1)中,所述筒體的旋轉速度為4000~7000rpm的高速,并且在所述排出步驟(S2)中,所述筒體的旋轉速度為1500~2500rpm的低速。

3.根據權利要求1所述的方法,其中連續地重復所述收集步驟(S1)和所述排出步驟(S2)。

4.根據權利要求1或2所述的方法,其中為所述收集步驟(S1)而預定的收集時間(Δt1)為150~250分鐘,并且為排出步驟(S2)而預定的排出時間(Δt2)為5~20分鐘。

5.根據權利要求1所述的方法,其中在所述排出步驟(S2)中排出的硅粉為含有20~80%重量水分的糊狀。

6.一種離心機,其中水平安裝有圓柱形筒體(20)并且在所述筒體的內側水平安裝有螺桿軸(30),所述離心機包括:

筒體馬達(M1)和螺桿軸馬達(M2),用于分別控制筒體(20)和螺桿軸(30)的驅動和旋轉;以及

控制器(100),用于控制所述筒體馬達(M1)和所述螺桿軸馬達(M2)。

7.根據權利要求6所述的離心機,其中,在為所述收集步驟(S1)而預定的收集時間(Δt1)內,所述控制器(100)以高速旋轉所述筒體馬達(M1),從而以高速旋轉筒體(20)并且向所述筒體(20)內供給廢料漿,以使得將所述廢料漿中含有的硅粉收集在筒體(20)的內表面上,并將剩余的流體排出至流體出口(60);以及,在為排出步驟(S2)而預定的排出時間(Δt2)內,控制器(100)減小筒體馬達(M1)的速度以減小筒體(20)的速度,中斷廢料漿的供給,并旋轉螺桿軸馬達(M2),以使得經由收集出口(50)排出在所述筒體(20)的內表面上收集的硅粉。

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