[發(fā)明專利]芯片供應(yīng)棘爪和芯片供應(yīng)設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980104686.6
• 申請日: 2009-02-06
• 公開（公告）號: CN101939816A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高浪保夫
• 申請（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 盧亞靜

1.一種芯片供應(yīng)棘爪，用于將粘附有形成為多個芯片的單獨片的半導體晶片的晶片板在處于被施加有張力的狀態(tài)下安裝到芯片供應(yīng)設(shè)備，該芯片供應(yīng)棘爪包括：

第一元件，具有從晶片板的下側(cè)與晶片板接觸的張力環(huán)和用于將環(huán)框架固定在與張力環(huán)接觸的晶片板的下側(cè)的固定元件，該環(huán)框架將晶片板保持在環(huán)框架的內(nèi)側(cè)；和

第二元件，具有用于固定到芯片供應(yīng)設(shè)備的預定位置的被固定部和在傳送芯片交換棘爪時被保持的被保持部；

其中，第一元件構(gòu)造成能夠相對于固定至芯片供應(yīng)設(shè)備的預定位置的第二元件旋轉(zhuǎn)地位移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的芯片供應(yīng)棘爪，還包括：

限制單元，用于限制第一元件和第二元件的相對旋轉(zhuǎn)位移。

3.一種芯片供應(yīng)設(shè)備，安裝有根據(jù)權(quán)利要求1的芯片供應(yīng)棘爪，并用于將從晶片板剝離的芯片供應(yīng)到供應(yīng)目標；

其中，芯片供應(yīng)棘爪由第一元件和第二元件構(gòu)造出，第一元件在向晶片板施加張力的狀態(tài)下保持晶片板，第二元件能夠相對于第一元件旋轉(zhuǎn)地位移，該芯片供應(yīng)設(shè)備包括：

棘爪固定部，用于將第二元件固定到預定位置；芯片確認單元，用于確認粘附到晶片板的芯片的方向；和棘爪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力提供單元，用于向第一元件提供旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的芯片供應(yīng)設(shè)備，還包括：

限制單元，用于限制第一元件和第二元件的相對旋轉(zhuǎn)位移；和

限制解除單元，用于解除安裝芯片供應(yīng)棘爪時的限制。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4的芯片供應(yīng)設(shè)備，其中，棘爪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力提供單元包括主齒輪，該主齒輪與設(shè)置于第二元件的從動齒輪嚙合，并且主齒輪和從動齒輪在安裝芯片供應(yīng)棘爪時彼此嚙合。

6.一種芯片供應(yīng)設(shè)備，供應(yīng)由棘爪保持的晶片板上的芯片，用于將芯片供應(yīng)到芯片傳送設(shè)備，該芯片供應(yīng)設(shè)備包括：

棘爪容納部，在多個棘爪能夠在一個方向上來回移動的狀態(tài)下容納所述多個棘爪；

移動工作臺，連續(xù)地布置到棘爪容納部的所述一個方向的一側(cè)；

棘爪轉(zhuǎn)動機構(gòu)，布置在移動工作臺的棘爪容納部一側(cè)，用于通過在棘爪容納部的內(nèi)部保持棘爪并使棘爪在水平面中轉(zhuǎn)動而使棘爪設(shè)置在移動工作臺的中心部的上側(cè)；

棘爪固定機構(gòu)，布置于移動工作臺，用于固定通過棘爪轉(zhuǎn)動機構(gòu)而設(shè)置在移動工作臺的中心部的上側(cè)的棘爪；和

水平移動機構(gòu)，執(zhí)行通過使移動工作臺水平移動而使由棘爪固定機構(gòu)固定的棘爪的芯片定位在芯片傳送設(shè)備的預定拾取位置的操作，以及使由棘爪轉(zhuǎn)動機構(gòu)保持的棘爪沿所述一個方向進入棘爪容納部和離開棘爪容納部的操作。