[發明專利]環境氣氛凈化裝置

無效

• 申請號: 200980103595.0
• 申請日: 2009-04-13
• 公開（公告）號: CN101933120A
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發明（設計）人: 及川純史;田村明威;林輝幸
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3065
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;舒艷君

1.一種環境氣氛凈化裝置，其特征在于，具備：在被處理體所處的環境氣氛內形成下降流的機構；多個離子發生器，它們位于被處理體的上方位置，且在從上方所見的布局中隔著上述被處理體對稱地配置，對各上述下降流向橫向供給正或負的任一方的離子；向上述被處理體施加與施加到上述多個離子發生器的電極的電壓相同符號的直流電壓的機構，

上述對稱地配置的離子發生器配置成相互面對。

2.根據權利要求1所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，上述對稱地配置的離子發生器彼此的組構成為，沿被處理體的周圍設置多個組。

3.根據權利要求1或2所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，通過沿被處理體的周圍排列的多個離子發生器形成集團，該集團彼此在從上方所見的布局中隔著上述被處理體對稱地配置。

4.根據權利要求3所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，上述集團是多個離子發生器呈一橫列排列配置而成的集團。

5.根據權利要求1所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，

具備輸送被處理體的帶狀的輸送路，

在該輸送路的兩側分別將多個離子發生器在俯視的布局中呈一列排列地配置。

6.一種環境氣氛凈化裝置，其特征在于，具備：在被處理體所處的環境氣氛中形成下降流的機構；多個離子發生器，它們在被處理體的上方位置相互在橫向分離地配置，且對各上述下降流向下方供給正或負中的任一方的離子；向上述被處理體施加與施加到上述多個離子發生器的電極的電壓相同符號的直流電壓的機構。

7.根據權利要求6所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，

被處理體所處的環境氣氛是利用輸送裝置輸送被處理體的環境氣氛，

上述多個離子發生器沿被處理體的輸送方向配置。

8.根據權利要求7所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，多個離子發生器配置在被處理體的輸送路的正上方。

9.根據權利要求6所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，被處理體所處的環境氣氛是利用輸送裝置輸送被處理體的環境氣氛，

上述多個離子發生器，在從上方所見的布局中，配置在與將區域分割為相互大小相同的多個四邊形時各四邊形的頂點對應的位置。

10.根據權利要求6所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，被處理體所處的環境氣氛是利用輸送裝置輸送被處理體的環境氣氛，

上述多個離子發生器，在從上方所見的布局中，呈交錯狀配置。

11.根據權利要求9或者10所述的環境氣氛凈化裝置，其特征在于，上述多個離子發生器的布局是在水平面上相互正交的X方向和Y方向的任一方向上都形成有3列以上的離子發生器的列的布局。

12.一種環境氣氛凈化裝置，其特征在于，具備：在通過輸送裝置輸送被處理體的環境氣氛中形成下降流的機構；多個離子發生器，它們位于被處理體的輸送區域的上方位置，且在從上方所見的布局中配置有多個，對各上述下降流供給正或負任一方的離子；向上述被處理體施加與施加到這些多個離子發生器的電極的電壓相同符號的直流電壓的機構；根據被處理體的位置控制施加到上述離子發生器的電極上的電壓的大小的機構。