[發明專利]用于借助激光處理可運動襯底的方法和設備

有效

• 申請號: 200980102981.8
• 申請日: 2009-01-22
• 公開（公告）號: CN101925435A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: J·I·M·科本
• 申請（專利權）人: IAI工業系統有限責任公司
• 主分類號: B23K26/12
• 分類號: B23K26/12;B23K26/14
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張濤

技術領域

本發明涉及一種用于借助激光處理可運動襯底的方法，其中該處理導致釋放從襯底分離的材料。

本發明還涉及一種用于借助激光處理可運動襯底的設備，其中該處理導致釋放從襯底分離的材料，其中該設備包括用于導引襯底的導引裝置和激光處理裝置，所述激光處理裝置適于將激光光斑投射到襯底上，所述激光光斑在激光處理區中處理襯底。

背景技術

當在襯底中切割孔時，產生分離的部件，所述分離的部件必須以受控的方式排出，以便防止該部件沿著朝向激光束的方向運動而從激光束吸收太多的能量以至于處理停止。僅被部分切除的部件也不能朝向激光束折疊起來而覆蓋襯底的仍然待處理的部件。

發明內容

本發明的目的是提供這樣一種避免這些缺點的方法和設備。

本發明的目的通過以下這樣而實現：在襯底的處理期間，在襯底中被激光束射到的一側上施加的氣體壓力高于在襯底的另一側上的氣體壓力。

本發明的目的還通過以下設備而實現，所述設備設有用于在襯底中被激光束射到的一側上產生比在襯底的另一側上的氣體壓力更高的氣體壓力的裝置。

由經驗知道，以上闡述的方法并非總是足以完全去除釋放的材料。

根據優選的實施例，在處理期間或者處理之后，迫使襯底進入彎曲的位置中。

由于材料的硬度，仍然部分地附裝到襯底的部件將不跟隨襯底的方向的改變。該部件由此更加容易地與襯底分離。該分離還由于部分附裝的部件的質量慣性而增強；這是因為這些部件趨向于沿其原始路徑行進，而襯底由于方向的改變而沿不同的路徑行進。

本發明同樣通過這種設備實施，其中導引裝置適于使襯底受到至少一個彎曲。

根據另一個優選的實施例，襯底在處理之后運動到彎曲的位置中。然后，可能切除的部件從襯底更加完全分離，從而使這些部件更加容易地從襯底分開。例如對于粗顆粒砂紙就是這樣的情況，其中顆粒阻止激光束在襯底中的有效性，并且襯底沒有沿著待切除的部件的周邊到處完全穿透。由于在處理之后(即，在分開盡可能多的待切除的部件之后)襯底被迫使進入的彎曲位置，待切除的部件受到額外的力，由此該部件更加容易地從襯底分開。該實施例也提供這樣的措施，即，導引裝置適于在襯底已經通過激光處理之后使襯底受到彎曲。

當導引裝置包括可轉動的輥時，這在結構上是吸引人的，所述可轉動的輥適于在襯底已經通過激光處理之后導致彎曲。

然而，也可以在處理期間使襯底受到彎曲。可以由此排出更小的已經全部切掉的部件。實際上在激光處理中還總必要的是，激光束在襯底的表面位置處或者在襯底的厚度內聚焦成光斑。除了為了操縱聚焦的目的而使用適當的光學裝置以外，襯底還必須被定位在限定的位置處。對于網或者連續的條形式的襯底，這通常通過在機械張力下沿著運動方向保持網并在激光操作區的任一側上在兩個輥上導引網而實現。由此在兩個輥之間張緊網，并且較好地限定該網的位置(尤其是沿著激光的主要方向的位置)。由于例如網的張力的改變、空氣壓差、和網形式的襯底的任一側上的變化，仍然可以在襯底的期望的位置中出現偏差。對于分離的頁或片形式的襯底，情況更是如此，其中前邊緣借助夾緊構件夾緊并且頁或者片的其余部分被拉靠著吸板。在兩種情況下，當激光操作區較大時變得更難以準確地維持襯底的位置。可以應用以上闡述的根據優選實施例的措施，以便也減小這些問題。這些措施利用通常易曲的襯底的硬度，當在該襯底中布置有彎曲部時所述硬度增大。換言之，彎曲的襯底與平坦的襯底相比更能抵抗垂直于襯底的偏轉。該實施例還提出適于使襯底在激光操作區中受到彎曲的導引裝置。