[發明專利]用于借助激光處理可運動襯底的方法和設備

有效

• 申請號: 200980102981.8
• 申請日: 2009-01-22
• 公開（公告）號: CN101925435A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: J·I·M·科本
• 申請（專利權）人: IAI工業系統有限責任公司
• 主分類號: B23K26/12
• 分類號: B23K26/12;B23K26/14
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張濤

1.一種用于借助激光處理可運動襯底的方法，其中該處理導致釋放從所述襯底分離的材料，其特征在于，在所述襯底的處理期間，所述襯底的被激光束射到一側上施加的壓力高于在所述襯底的另一側上的壓力。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述處理期間或者在所述處理之后，所述襯底受到彎曲。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述處理之后，所述襯底被推壓到彎曲的位置中。

4.根據權利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，在所述處理期間，所述襯底被推壓到彎曲的位置中。

5.根據以上權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述襯底的彎曲部的凹側朝向所述激光源。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，在所述處理期間，所述襯底彎曲成弧，所述弧的中心與可控制的偏轉鏡的轉動軸線重合，所述可控制的偏轉鏡在所述襯底的彎曲平面中偏轉激光束。

7.根據權利要求3、4、5或6所述的方法，其特征在于，所述激光在細長的操作區內處理所述襯底，并且所述彎曲部的軸線相對于所述操作區的最大尺寸橫向地延伸。

8.根據權利要求3至7中任一項所述的方法，其特征在于，所述彎曲部的軸線相對于所述襯底的運動方向橫向地延伸。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，在所述激光處理期間，在至少一個彎曲的導引件上導引所述襯底。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述導引件起空氣軸承的作用。

11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于，通過至少一個傳送帶將所述襯底推壓抵靠所述至少一個空氣軸承。

12.一種用于借助激光處理可運動襯底的設備，其中所述處理導致釋放從所述襯底分離的材料，其中，所述設備包括：

-用于導引所述襯底的導引裝置；

-激光處理裝置，其能夠將激光光斑投射到所述襯底上，所述激光光斑在激光處理區中處理所述襯底，其特征在于，用于在所述襯底的被激光束射到的一側上產生比所述襯底的另一側上的壓力更高的壓力的裝置。

13.根據權利要求12所述的設備，其特征在于，所述導引裝置能夠使所述襯底受到至少一個彎曲。

14.根據權利要求13所述的設備，其特征在于，所述導引裝置能夠使所述襯底在已經通過激光處理之后受到彎曲。

15.根據權利要求14所述的設備，其特征在于，所述導引裝置包括能夠導致所述彎曲的可轉動輥。

16.根據權利要求13所述的設備，其特征在于，所述導引裝置能夠使所述襯底在所述激光操作區中受到彎曲。

17.根據權利要求14、15或16所述的設備，其特征在于，所述導引裝置能夠使所述襯底的凹側朝向所述激光束。

18.根據權利要求17所述的設備，其特征在于，所述導引裝置能夠迫使所述襯底形成圓弧形式的彎曲部，并且偏轉鏡的轉動軸線位于所述圓弧的中心，所述偏轉鏡能夠在所述襯底的彎曲平面內偏轉激光束。

19.根據權利要求17或18所述的設備，其特征在于，激光能夠在細長的操作區內處理所述襯底，并且所述彎曲部的軸線相對于所述操作區的最大尺寸橫向地延伸。

20.根據權利要求19所述的設備，其特征在于，所述彎曲部的軸線相對于所述襯底的運動方向橫向地延伸。

21.根據權利要求12至20中任一項所述的設備，其特征在于，所述導引裝置包括至少一個可轉動的圓柱體，所述至少一個可轉動的圓柱體具有用于將所述襯底推壓抵靠所述可轉動的圓柱體的加壓裝置或者抽吸裝置。

22.根據權利要求17至20中任一項所述的設備，其特征在于，所述導引裝置包括至少一個具有彎曲導引面的空氣軸承。

23.根據權利要求21或22所述的設備，其特征在于，所述加壓裝置包括至少一個傳送帶，其中每個所述傳送帶都能夠將所述襯底壓靠在所述空氣軸承或者圓柱體中的一個上。