[發(fā)明專利]壓電器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980101968.0
• 申請(qǐng)日: 2009-01-06
• 公開（公告）號(hào): CN101911485A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 工藤敬實(shí);高峰裕一;筏克弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): H03H9/25
• 分類號(hào): H03H9/25;H01L23/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張遠(yuǎn)

1.一種壓電器件，其特征在于，包括：

壓電基板；

在所述壓電基板的一個(gè)主表面上形成的、含IDT電極的導(dǎo)電圖案；

在所述壓電基板的所述一個(gè)主表面上，圍繞在形成有所述IDT電極的IDT形成區(qū)域的周圍、且具有比所述IDT電極的厚度更大厚度的支撐層；以及

在所述支撐層之上配置的、覆蓋所述IDT形成區(qū)域的覆蓋層；

在所述支撐層中，至少在靠近所述IDT形成區(qū)域的區(qū)域的多個(gè)部位，形成部分地去除了與所述壓電基板的所述一個(gè)主表面粘合的部分的去除部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

所述去除部是以從形成在所述支撐層與所述IDT區(qū)域?qū)χ玫膬?nèi)周表面上的開口向遠(yuǎn)離所述IDT形成區(qū)域的方向延伸的方式而形成的多個(gè)隙縫。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

所述去除部是四周由所述支撐層包圍的孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的壓電器件，其特征在于，

所述去除部貫通在支撐層與所述壓電基板和所述覆蓋層相連的兩主表面之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

使用感光性樹脂來形成所述支撐層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

使用感光性聚酰亞胺類樹脂來形成所述支撐層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

使用感光性硅酮樹脂來形成所述支撐層。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

使用感光性環(huán)氧類樹脂來形成所述支撐層。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

使用環(huán)氧類薄膜樹脂來形成所述覆蓋層。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

使用聚酰亞胺類薄膜樹脂來形成所述覆蓋層。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，還包括：

通過一并對(duì)所述支撐層和所述覆蓋層進(jìn)行激光加工而形成的通孔。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，還包括：

通過一并對(duì)所述支撐層和所述覆蓋層進(jìn)行噴砂加工而形成的通孔。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，還包括：

貫通所述支撐層及所述覆蓋層的通孔；和

在所述通孔內(nèi)通過電解電鍍Au/Ni形成的下凸起金屬。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電器件，其特征在于，包括選自以下組成的組中的2種以上：

使用感光性樹脂、感光性聚酰亞胺類樹脂、感光性硅酮類樹脂、感光性環(huán)氧類樹脂中的至少一種樹脂形成的所述支撐層；

使用環(huán)氧類薄膜樹脂、聚酰亞胺類薄膜樹脂中的至少一種樹脂形成的所述覆蓋層；和

通過一并對(duì)所述支撐層和所述覆蓋層進(jìn)行激光加工或噴砂加工而形成的通孔。