[發明專利]用于將多個分離成單件的半導體器件保持并定向在接線端支架的容納凹部中的裝置和方法

有效

• 申請號: 200980000446.1
• 申請日: 2009-02-12
• 公開（公告）號: CN101765784A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發明（設計）人: 托馬斯·霍夫曼;馬克斯·紹勒
• 申請（專利權）人: 綜合測試電子系統有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;田軍鋒

技術領域

本發明涉及一種用于將多個分離成單件(singulieren)的半導體器 件保持并定向在板式的接線端支架的容納凹部中的裝置和方法。

背景技術

半導體器件，例如BGAs(球柵陣列)、MLFs、QFNs，具有引腳的 半導體器件等，通常在其制造之后進行電和/或機械的功能測試。為此 采用自動操作裝置，也稱為“機械手(Handler)”，所述自動操作裝置 使半導體器件以高速度與測試裝置相接通并在執行功能測試之后重新 從測試裝置上取下，以便根據測試結果對半導體器件進行分揀。通常所 述功能測試在確定的溫度條件下進行，其中，從-60℃到+160℃的溫度 范圍就足夠了。

待測試的半導體器件通常以兩種不同的形式出現，即作為分離成單 件的器件或作為條狀的組合體(“Strips”)。分離成單件的器件相互間沒 有連接，從而每個器件在機械手中通常單個地或按小組被抽吸并被輸送 給一個或多個接觸座，所述接觸座與測試裝置的電子的計算單元相連。 當然，在對分離成單件的器件這種操作中必要的是，在接觸座之前，使 每個單個的器件之間對中，以便確保，使各器件的通常很小并且相互緊 密地設置的連接觸點精確地觸碰到接觸座的相應的觸點上。此外，由于 位置的原因，多數情況下只可以并排設置有限數量的吸附桿，從而能夠 同時測試的構件的數量是非常有限的。由此，相應地限制了機械手的處 理量。

以條的形式存在的半導體器件通常這樣來測試，即，將所述條置入 一個所謂的巢中，所述巢停靠在一測試頭上。由于所述條上的各單個器 件的位置和所述條在巢中的位置是精確確定的，因此，通過使巢相對于 測試頭對中可以確保，所有器件都處于正確的接觸位置。因此，在以條 的形式存在時可以同時測試的器件的數量明顯大于分離成單件的器件 的情況。這在機械手處理量上帶來了優點。

為了能將條式布置的優點也能轉用到分離成單件的半導體器件的 測試上，由US?7,258,703B2已知，將分離成單件的半導體器件容納在 接線端支架的相互分開的容納凹部中，在所述容納凹部中定向并接著將 整個接線端支架輸送給測試頭，以便接通各單個器件。這種已知的接線 端支架在容納凹部的側面區域具有小的彈簧片，所述彈簧片只在一個方 向(y方向)上將器件壓向相對的止擋面。為了也在x方向上對器件進 行定向，必須在這里移動構造復雜的滑塊，該滑塊形成容納凹部的底部 并且對于每個容納凹部具有抽吸頭，利用該抽吸頭將器件牢固地吸附在 容納凹部的內部。這種已知的裝置結構復雜并且需要很多空間。由于這 些原因，這種已知的接線端支架不適用于大的數量并且不適用于非常小 的器件。

發明內容

本發明的目的是，提供一種根據本發明所述的裝置，該裝置結構特 別簡單、節省空間并且節省成本，并且適合于容納多個半導體器件，以 及可以確保，使半導體器件在容納凹部中精確地定向并將其可靠地保 持。此外，提供一種與現有技術相比改進的方法。

根據本發明，所述目的通過本發明的裝置以及通過本發明的方法來 實現。在下文中說明了本發明有利的實施形式。

在根據本發明的裝置中，彈簧元件是彈簧板的一部分，所述彈簧板 具有多個相互并排設置孔口，用于形成相應多個用于半導體器件的容納 凹部，其中彈簧元件一體地由彈簧板形成。

根據本發明的接線端支架與已知的接線端支架相比可以更為簡單、 非常節省空間并且經濟地構成。特別有利的是，根據本發明的接線端支 架還適合于容納數量較大的半導體器件，所述半導體器件能夠快速并且 非常精確地在容納凹部內部定向，從而半導體器件占據精確確定的位 置。此外，彈簧元件不僅用于定向，而且還用于在所屬的容納凹部中將 半導體器件固定夾緊在精確定向的位置中，從而可以放棄其它的例如抽 吸頭形式的固定保持元件。整個接線端支架特別是可以設計成薄板，分 離成單件的半導體器件矩陣式地按精確確定的位置和定向固定保持在 所述薄板上。因此，盡管各所述半導體器件是分離成單件的模塊，各所 述半導體器件可以在與用于測試條的機械手結構相同或相似的機械手 中進行測試。

根據一個有利的實施形式，所述彈簧板由平的板組成，并且所述彈 簧元件由彈簧片組成，所述彈簧片設置在所述彈簧板的平面或平行于該 平面設置并且是(在該平面內或平行于該平面)可運動的。由此，彈簧 板具有非常小的例如只有0.1至1mm的高度。