[實用新型]多晶硅還原爐無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920351434.0 | 申請日： | 2009-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN201746331U | 公開（公告）日： | 2011-02-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱青松 | 申請（專利權(quán)）人： | 朱青松 |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 上海市陜西北*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶 還原 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管及其他附屬部件組成，爐體主體采用不銹鋼材質(zhì)，以減少設(shè)備材質(zhì)對產(chǎn)品的污染，每對電極分正、負(fù)極均勻的設(shè)置在底盤上，混和氣進氣管分為數(shù)個噴口分布設(shè)置在底盤上，其特征是在還原爐底盤上均勻布置60對電極。?
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