[實用新型]芯片凈化裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920306077.6 | 申請日： | 2009-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN201470635U | 公開（公告）日： | 2010-05-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 章峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 愛普科斯科技(無錫)有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 無錫盛陽專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顧吉云 |
| 地址： | 214028 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 芯片 凈化 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.芯片凈化裝置，其特征在于：其包括高度感應(yīng)器、氣壓電磁閥、噴氣嘴及氮氣源；所述高度感應(yīng)器與所述氣壓電磁閥電連接，所述高度感應(yīng)器采集的信號傳遞給所述氣壓電磁閥并控制所述氣壓電磁閥的開閉；所述氣壓電磁閥、噴氣嘴及氮氣源之間由輸氣管連接構(gòu)成氣路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片凈化裝置，其特征在于：所述氣路中設(shè)置有氣壓調(diào)節(jié)閥，所述氣壓調(diào)節(jié)閥安裝在所述氣壓電磁閥與所述噴氣嘴之間的管路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片凈化裝置，其特征在于：所述氣路中設(shè)置有氣壓表，所述氣壓表與所述氣壓調(diào)節(jié)閥相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片凈化裝置，其特征在于：所述氣路中設(shè)置有蜂鳴器，所述蜂鳴器與與所述氣壓表相連。
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