[實用新型]硅片切割專用周轉粘接臺無效
| 申請號: | 200920291113.6 | 申請日: | 2009-12-23 |
| 公開(公告)號: | CN201559261U | 公開(公告)日: | 2010-08-25 |
| 發明(設計)人: | 趙岳金;魏國華 | 申請(專利權)人: | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/00 | 分類號: | B28D5/00;H01L21/304 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
| 地址: | 213213 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 切割 專用 周轉 粘接臺 | ||
1.一種硅片切割專用周轉粘接臺,它包括機架(1)、頂板(2),頂板(2)固定在機架(1)上,其特征是:在頂板(2)上可拆御地固定有周轉板(3),所述周轉板(3)的截面形狀為中空的“工”字形,在周轉板(3)的上表面設有均勻分布的網紋槽(31),兩側面設有便于固定螺栓裝御的開口槽(32),在周轉板(3)的下端兩側設有固定耳板(33),在固定耳板(33)上設有安裝孔(34),安裝孔(34)的中心軸線距開口槽(32)的內邊(36)的距離大于固定螺栓的最小旋緊空間尺寸,在空腔(35)中設有加強筋(37)。
2.根據權利要求1所述硅片切割專用周轉粘接臺,其特征是:所述周轉板(3)的材質為鑄鐵,網紋槽(31)的截面形狀為V形、矩形或鋸齒形中的任一種。
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