[實用新型]一種平板探測器件

無效

• 申請號: 200920283460.4
• 申請日: 2009-12-18
• 公開（公告）號: CN201844983U
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 楊蘭蘭;屠彥;張雄;李青;王保平
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

技術領域

本實用新型涉及X射線探測領域，特別是一種應用于X射線探測的平板探測器，尤其涉及一種利用網格孔陣列板構成的平板裝置進行X射線探測。?

背景技術

X射線檢測是發展醫學影像、工業無損探傷、航空、航天以及工業設備制造技術中不可缺少的檢測手段。自1987年Papin?PJ首次報道可進行直接數字化攝影的平板探測器的研究后，探索各種不同類型、不同種類、不同工作機制的平板探測器成為近年來數字化X射線攝影技術的研究熱點。目前數字化X射線攝影技術采用的探測器主要有電荷耦合器件探測器(Charge?coupled?device，CCD)系統、直接轉換式TFT平板探測器和間接轉換式TFT平板探測器。就現行技術而言，CCD探測器僅僅是一項過渡技術，基于TFT的直接轉換和間接轉換式平板探測器是具有明顯的優勢。由于制作過程復雜，大面積使用非晶硒或非晶硅材料造價昂貴使得只有極少數醫院能夠采用X射線數字攝影技術。與屏片系統相比，基于平板探測器的DR系統具有更高的量子檢測效率。目前臨床應用的FPD主要有以非晶硒(a:SE)平板探測器為代表的直接轉換型和以非晶硅(a:S?i+Cs?I)為代表的間接轉換型兩種類型。前者X射線光子通過與非晶硒半導體作用直接產生正負離子對，后者X射線光子通過與碘化銫(CsI)作用產生熒光，熒光光子再與硅光電二極管陣列轉換為可測量的電荷信號。非晶硒直接轉化型平板探測器盡管分辨率高，但制作復雜，工作電壓高；而非晶硅間接轉換型平板探測器由于熒光體的擴散降低了圖像的銳利度和空間分辨率。由于制作過程復雜，大面積使用非晶硒或非晶硅材料造價昂貴使得只有極少數醫院能夠采用X射線數字攝影技術。?

發明內容

本實用新型目的是提供一種成本低、對工作環境要求低的X射線平板探測器。?

本實用新型的技術方案是：?

一種平板探測器件，包含前基板，后基板，及氣密封于前后基板之間的包含網格孔陣列的網格孔陣列板，所述的前基板包括前襯底玻璃板、在前襯底玻璃板上表面制作的第一電極組和在前襯底玻璃下表面蒸鍍的薄膜，所述的后基板包括后襯底玻璃板、在后襯底玻璃板下表面制作的第二電極組和在后襯底玻璃上表面蒸鍍的薄膜；在網格陣列板上涂覆有一層閃爍體材料。?

網格孔陣列板的網格孔為錐臺形通孔，錐臺形通孔的大底面位于網格孔陣列板的上表面，錐臺形通孔的小底面(10)位于絕網格孔陣列板的下表面，網格陣列板4的厚度為50μm-5mm，錐臺形通孔的大底面(9)的直徑在50μm-5mm，錐臺形通孔的小底面(10)的直徑在50μm-5mm。?

本實用新型所述的平板探測器包含，前基板，后基板，及置于前后基板之間的包含網格孔陣列的金屬板或絕緣板。所述的前基板包括前襯底玻璃板，及在其上表面制作的第一電極組，和在前襯底玻璃下表面蒸鍍的薄膜(氧化鎂，氧化鈣，或其它可提高二次電子發射系數的材料)。所述的后基板包括后襯底玻璃板，及在其下表面制作的第二電極組，和在后襯底玻璃上表面蒸鍍的薄膜。置于前后基板之間是包含網格孔陣列的金屬板或絕緣板，其材料可以為鐵、含鐵合金、其他金屬合金或表面鍍有導電材料膜的非金屬材料，也可以是各種絕緣材料加工而成的網格孔陣列板。在后基板四周用用低熔點玻璃制作的封接框，并將其與前基板、網格孔板一起放進真空腔體內進行抽氣，并充以一定氣壓的所需工作氣體后進行氣密封接，這就形成了本實用新型所提供的平板探測器件。?

本實用新型還采用了以下技術措施：?

(1)上述的平板探測器件中的前后玻璃板除了密封工作氣體作為探測器的外圍支撐外，還作為氣體放電的介質阻擋。玻璃不易被放電擊穿，起到了很好的保護作用。為了降低氣體放電的工作電壓和提高X射線的透過率，該玻璃的厚度不易過大，?比較好的厚度范圍在30-2000μm。?

(2)電極制作在密封的探測器玻璃板之外，可以在玻璃板上制作Ag電極或Al電極等金屬電極，也可采用ITO(銦錫氧化物半導體)薄膜或ZnO(氧化鋅)薄膜等透明電極材料與玻璃基板裝配形成平板探測器件。?

(3)前后基板間的網格孔板，可以為玻璃等絕緣材料制作，也可以為鐵、鐵合金或其他導電材料制作。網格孔的排布，網格孔上開孔和下開孔的形狀和大小可以為各種幾何形狀。比較好的是圓孔結構和各網格孔之間等間距分布。?

(4)該平板探測器件的抽氣、充氣及封接在真空腔體內完成。?