[實用新型]一種平板探測器件

無效

• 申請號: 200920283460.4
• 申請日: 2009-12-18
• 公開（公告）號: CN201844983U
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 楊蘭蘭;屠彥;張雄;李青;王保平
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

1.一種平板探測器件，其特征在于：包含前基板，后基板，及氣密封于前后基板之間的包含網格孔陣列的網格孔陣列板(4)，所述的前基板包括前襯底玻璃板(7)、在前襯底玻璃板上表面制作的第一電極組(8)和在前襯底玻璃下表面蒸鍍的薄膜(6)，所述的后基板包括后襯底玻璃板(2)、在后襯底玻璃板下表面制作的第二電極組(1)和在后襯底玻璃上表面蒸鍍的薄膜(3)；在網格陣列板(4)上涂覆有一層閃爍體(5)材料。

2.根據權利要求1所述的平板探測器件，其特征在于網格孔陣列板(4)的網格孔為錐臺形通孔，錐臺形通孔的大底面(9)位于網格孔陣列板的上表面，錐臺形通孔的小底面(10)位于網格孔陣列板的下表面，網格陣列板(4)的厚度為50μm-5mm。

3.根據權利要求1所述的平板探測器件，其特征在于：所述的錐臺為圓錐臺。

4.根據權利要求1所述的平板探測器件，其特征在于：所述的網格孔陣列板(4)為金屬板或絕緣板。

5.根據權利要求1所述的平板探測器件，其特征在于：所述的第一電極組(1)由銀、銅或鋁材料通過蒸鍍光刻工藝構成，或由銦錫氧化物半導體透明導電膜或氧化鋅透明導電薄膜構成，所述的第二電極組(8)銀、銅或鋁材料通過蒸鍍光刻工藝構成，或由銦錫氧化物半導體透明導電膜或氧化鋅透明導電薄膜構成。?